Eksperci w dziedzinie ogrzewania podłoża

Piece próżniowe

Firma Thermic Edge szczyci się tym, że jest liderem w branży pieców próżniowych. Zapewniamy kompleksową obsługę, a nasze dostosowane do potrzeb klienta, wszechstronne asortymenty dają narzędzia niezbędne do każdego zastosowania.

Piece próżniowe do grafitu

Grafitowe laboratoryjne piece próżniowe z tyglem grafitowym lub strefami gorącymi do przetwarzania termicznego, obróbki cieplnej, wyżarzania i spiekania próżniowego.

Laboratoryjne piece próżniowe Thermic Edge oferują szeroki wybór grafitowych stref gorących, dostosowanych do różnych zastosowań. Nasz standardowy średni piec próżniowy z tyglem o wymiarach Ø102 x 51 mm ma maksymalną temperaturę 2100˚c. Oferujemy również alternatywnie głębszą średnią gorącą strefę o wymiarach Ø60,5 x 75 mm, większą o wymiarach Ø 150 x 75 mm oraz bardzo dużą gorącą strefę o wymiarach Ø180 x 140 mm. Oferujemy również płaskie strefy gorące do wafli dla próbek o rozmiarach Ø 4", Ø 6" i Ø 8".

Cylindryczne elementy grafitowe są niezwykle wydajne i pozwalają na szybkie rampy, są niezwykle stabilne, a zastosowanie podwójnej strefy gorącej poprawia jednorodność temperatury, odchylenie < +/- 1%.

Cechy

  • Temperatury do 2600˚c
  • Ciśnienie bazowe <5×10 ̄²mBar
  • Automatyczna sekwencja odmulania pompy w celu usunięcia resztek tlenu
  • Szybkość narastania ≈ 120˚c/min
  • Obróbka w próżni i pod ciśnieniem atmosferycznym
  • Laptop PC do pełnej rejestracji danych i wieloetapowego, programowalnego sterowania procesem termicznym
  • Komora pieca ładowana od góry
  • Piec w pełni chłodzony wodą, komora i pokrywa ze stali nierdzewnej
  • Elektrycznie napędzana pokrywa z czujnikami blokującymi
  • Ogrzewanie tygli i płytek/płaskich próbek
  • Prosta i bezpieczna obsługa z pełną blokadą zabezpieczającą, idealna dla początkujących lub niedoświadczonych operatorów
  • W pełni zablokowany system zapewniający bezpieczeństwo zarówno dla użytkownika jak i systemu
  • Półautomatyczne sterowanie za pomocą ekranu dotykowego HMI
  • Kolorowy wyświetlacz połączony z mikrometrem Piraniego/piezoelektrycznym
  • Lekkie zasilacze impulsowe DC (bez nieporęcznych transformatorów)
  • Zasilanie prądem stałym sterowane przez Eurotherm Nanodac
  • Wysoka wydajność i czułe sterowanie
  • Ręczna regulacja ciśnienia i natężenia przepływu gazu z automatycznym zaworem upustowym nadciśnienia
  • Kompaktowa konstrukcja, niewielki ciężar i mała powierzchnia podstawy, ale duża strefa gorąca

Zakres standardowy

PIECE TYGLOWE

2000°c Średni laboratoryjny piec próżniowy z grafitem Gorąca strefa tygla pieca, 5kW DC PSU.
Grafit Hot Zone - Ø60.5 x 75mm LUB Ø102mm x 51mm


2000°c Duży laboratoryjny piec próżniowy z grafitem Gorąca strefa tygla pieca, 15kW DC PSU.
Grafit Hot Zone - Ø150 x 75mm


2000°c Bardzo duży laboratoryjny piec próżniowy z tyglem grafitowym z gorącą strefą, 20kW DC PSU.
Grafit Hot Zone - Ø180 x 140mm

PIECE WAFER

Grafitowa strefa gorąca Ø 4", zasilacz 5kW DC

Grafitowa strefa gorąca Ø 6", zasilacz 10kW DC

Ø 8" Grafitowa strefa gorąca, zasilacz 15kW DC

Opcje dodatkowe

  • Pompa próżniowa Diffusion High Vacuum Pump (Ultimate Vacuum 5×10 ̄⁷mBar)
  • Turbo Pump (Ultimate Vacuum 5×10 ̄⁸mBar)
  • Dodatkowe opcje gazów procesowych
  • Pirometr - automatyczna zmiana
  • Chłodnia wodna
  • Termoelementy strefy gorącej

Strefy gorących próbek płytek półprzewodnikowych

Do testowania próbek wafli nasze laboratoryjne piece próżniowe wykorzystują element CCC zamknięty w grafitowej strefie gorącej do podgrzewania zarówno pojedynczych próbek o dużej średnicy, jak i mniejszych próbek umieszczonych na płycie susceptora.

Piece do próbek wafli dostępne są w rozmiarach od 4" do 8" Dia, z opcją dwustrefową w przypadku 8".

Wysokotemperaturowy piec próżniowy

Piec laboratoryjny o temperaturze 3000˚c ma taką samą powierzchnię jak piec standardowy, ale wprowadzono w nim kilka zmian.

  • Wszystkie grafitowe strefy gorące.
  • Powyżej 2100˚c wymaga obróbki w środowisku obojętnym przy ciśnieniu atmosferycznym.
  • Wymagane są większe zasilacze, które nadal mieszczą się w standardowej ramie.
  • Zastosowanie pirometru do pomiaru wysokiej temperatury z automatycznym przełączaniem

Operacje i funkcje systemu

Seria laboratoryjnych pieców próżniowych firmy Thermic Edge wyposażona jest w przyjazny dla użytkownika interfejs, który ułatwia ich obsługę dzięki nowoczesnemu ekranowi dotykowemu HMI, umożliwiającemu sterowanie wszystkimi funkcjami pompowania, przetwarzania gazu i odpowietrzania pieca. Wyświetlacz zawiera wiele ekranów do obsługi, wyświetlacze blokad i mimikę stanów zaworów.

HMI pozwala użytkownikowi na sterowanie automatyczną sekwencją wyłączania pompy, która ma na celu usunięcie resztek tlenu z komory oraz wewnętrzne wydłużenie żywotności strefy gorącej i uniknięcie możliwości wystąpienia utleniania.

Dwa niezależne wejścia gazu są również sterowane za pośrednictwem panelu HMI zamontowanego na ramieniu, a ich indywidualne przepływy są regulowane ręcznie, za pomocą zaworów iglicowych, zgodnie z wymaganiami użytkownika. Prędkości pompowania są również regulowane ręcznie za pomocą zaworu Speedi zamontowanego z przodu pieca próżniowego, co umożliwia ręczne sterowanie ciśnieniem w komorze i natężeniem przepływu gazu.

Temperatura i rejestrowanie danych są kontrolowane przez regulator temperatury Eurotherm Nanodac PID / rejestrator danych, który może być podłączony do zdalnego komputera w celu analizy danych. Dostarczane jest oprogramowanie umożliwiające programowanie wieloetapowych cykli procesowych, co pozwala na proste powtarzanie testów i łatwe dostosowywanie programów.

W pełni chłodzona wodą komora próżniowa i przepusty zasilające utrzymują temperaturę zewnętrzną komory na poziomie temperatury otoczenia i zapobiegają przegrzaniu, co pozwala na wydłużenie okresów pracy.

Wymagania dotyczące usług

Wszystkie laboratoryjne piece próżniowe wymagają zasilania elektrycznego, doprowadzenia i spustu wody chłodzącej, gazu argonowego do odpowietrzania, doprowadzenia gazu technologicznego i linii wydechowej.

Specyfikacje

  • Całkowita moc zasilania: 6kva, 415v 3 fazy
  • Przyłącza wody: - ¾" BSPT gwintowane końcówki zarówno do przepływu jak i powrotu.
  • Przepływ min: 6 litrów / min wody w temperaturze otoczenia
  • Wlot gazu procesowego: ¼ linia Swagelok z zaworem VCR Swagelok
  • Wlot odpowietrznika: ¼ przewodu Swagelok z zaworem Swagelok VCR.
  • Dla pneumatyki (jeśli jest zamontowana) - 60-80 psi. sprężone powietrze - 6mm wciskane.
  • Zasilanie N2/ Ar do odpowietrzania/przetwarzania - <40 psi - złącze ¼" Swagelok
  • Wielkość króćca tłocznego: 2,75" CF - adapter KF25
  • Wysokość systemu (zamknięta pokrywa): 1140mm
  • Szerokość systemu: 1120mm
  • Głębokość systemu: 720 mm (mierzona od pokręteł rotametru do rur doprowadzających wodę)
pl_PLPolski

Skontaktuj się z nami

Aby uzyskać więcej informacji, skontaktuj się z naszym zespołem sprzedaży poniżej.

Ta strona używa plików cookie, aby zapewnić Ci najlepsze wrażenia. Więcej informacji można znaleźć w naszej Polityce Prywatności.