Experts en chauffage des substrats

Fours à vide

Chez Thermic Edge, nous sommes fiers d'être à l'avant-garde de l'industrie des fours à vide. Fournissant un service complet, nos gammes polyvalentes sur mesure vous donnent les outils nécessaires pour toute application.

Fours à vide en graphite

Fours de laboratoire sous vide en graphite avec zones chaudes pour creuset en graphite ou échantillon de plaquette pour le traitement thermique, le traitement thermique, le recuit et le frittage sous vide.

Les fours sous vide de laboratoire Thermic Edge offrent une gamme de zones chaudes en graphite pour répondre à une variété d'utilisations. Notre four sous vide moyen standard avec une taille de creuset de Ø102 x 51mm a une température maximale de 2100˚c. Nous proposons également une autre taille de zone chaude moyenne plus profonde de Ø60,5 x 75mm, une taille plus grande de Ø 150 x 75mm et une taille de zone chaude extra large de Ø180 x 140mm. Nous proposons également des zones chaudes pour gaufrettes plates pour des échantillons de Ø 4", Ø 6" et Ø 8".

Les éléments cylindriques en graphite sont extrêmement efficaces et permettent des rampes rapides, extrêmement stables et l'utilisation d'une double zone chaude améliore l'uniformité de la température : une déviation de < +/- 1%.

Caractéristiques

  • Températures jusqu'à 2600˚c
  • Pression de base <5×10 ̄²mBar
  • Séquence de purge automatique de la pompe pour éliminer l'oxygène résiduel
  • Taux de rampe ≈ 120˚c/min.
  • Traitement sous vide et sous pression atmosphérique
  • Ordinateur portable pour l'enregistrement complet des données et le contrôle du processus thermique programmable à plusieurs étapes.
  • Chambre de four à chargement par le haut
  • Four entièrement refroidi à l'eau, chambre et couvercle en acier inoxydable
  • Couvercle à commande électrique avec capteurs de verrouillage
  • Chauffage de creusets et de plaquettes / échantillons plats
  • Fonctionnement simple et sûr avec des verrouillages de protection complets, idéal pour les universités ou les opérateurs inexpérimentés.
  • Système entièrement verrouillé assurant la sécurité de l'utilisateur et du système.
  • Contrôle semi-automatique via l'écran tactile de l'IHM
  • Afficheur couleur combiné à une jauge Micro Pirani/piezo
  • Alimentations à découpage en courant continu légères (pas de transformateurs encombrants)
  • Alimentation en courant continu contrôlée par Eurotherm Nanodac
  • Haute performance et contrôle réactif
  • Régulation manuelle de la pression et du débit de gaz avec soupape de décharge automatique de la surpression.
  • Conception compacte, légèreté et faible encombrement, mais grandes zones chaudes.

Gamme standard

FOURS À CREUSET

Four sous vide de laboratoire à température moyenne de 2000°c avec four à creuset à zone chaude en graphite, alimentation en courant continu de 5kW.
Zone chaude en graphite - Ø60.5 x 75mm OU Ø102mm x 51mm


Grand four de laboratoire sous vide à 2000°c avec four à creuset à zone chaude en graphite, alimentation en courant continu de 15kW.
Zone chaude en graphite - Ø150 x 75mm


Four sous vide de laboratoire de très grande taille à 2000°c avec four à creuset à zone chaude en graphite, alimentation en courant continu de 20kW.
Zone chaude en graphite - Ø180 x 140mm

FURNACES WAFER

Ø 4" Graphite Hot Zone, 5kW DC PSU

Zone chaude en graphite Ø 6", alimentation en courant continu 10kW

Zone chaude en graphite Ø 8", bloc d'alimentation 15kW DC

Options supplémentaires

  • Pompe à haut vide à diffusion (vide ultime 5×10 ̄⁷mBar)
  • Turbo Pump (Ultimate Vacuum 5×10 ̄⁸mBar)
  • Options supplémentaires pour les gaz de traitement
  • Pyromètre - Changement automatique
  • Refroidisseur d'eau
  • Thermocouples de zone chaude

Zones chaudes pour les échantillons de plaquettes

Pour tester les échantillons de plaquettes, nos fours à vide de laboratoire utilisent un élément CCC enfermé dans une zone chaude en graphite pour chauffer à la fois des échantillons individuels de grand diamètre et des échantillons plus petits maintenus dans une plaque de suscepteur.

Les fours d'échantillonnage de plaquettes vont de 4 à 8 pouces de diamètre, avec une option de double zone sur le 8 pouces.

Four sous vide à haute température

Le four de laboratoire 3000˚c utilise le même encombrement que le four standard mais intègre quelques modifications.

  • Zone chaude tout graphite.
  • Au-dessus de 2100˚c, il faut un traitement dans un environnement inerte à la pression atmosphérique.
  • Des alimentations plus importantes sont nécessaires tout en s'intégrant dans un cadre standard.
  • Utilisation d'un pyromètre pour la mesure de hautes températures avec auto-changement

Opérations et fonctions du système

La gamme de fours sous vide de laboratoire de Thermic Edge offre une interface conviviale favorisant leur facilité d'utilisation grâce à un écran tactile HMI moderne qui permet de contrôler toutes les fonctions de pompage, de traitement des gaz et d'évacuation du four. Avec plusieurs écrans pour le fonctionnement, les affichages de verrouillage et la simulation des états des vannes.

L'IHM permet à l'utilisateur de contrôler la séquence de pompage automatique qui est conçue pour éliminer l'oxygène résiduel de la chambre et de l'interne, augmentant ainsi la durée de vie de la zone chaude et évitant le risque d'oxydation.

Deux entrées de gaz indépendantes sont également contrôlées par l'IHM montée sur le bras et leurs débits individuels sont réglés manuellement, par des vannes à pointeau, selon les besoins de l'utilisateur. Les vitesses de pompage sont également régulées manuellement par une vanne Speedi à vide montée à l'avant du four à vide, permettant un contrôle manuel de la pression de la chambre et des débits de gaz.

La température et l'enregistrement des données sont contrôlés par un régulateur de température Eurotherm Nanodac PID / enregistreur de données qui peut être connecté à un PC distant pour l'analyse des données. Un logiciel est fourni pour permettre la programmation de cycles de traitement à plusieurs étapes, ce qui permet de répéter les tests et d'ajuster facilement les programmes.

La chambre à vide entièrement refroidie à l'eau et les traversées d'alimentation maintiennent l'extérieur de la chambre à température ambiante et empêchent toute surchauffe, ce qui permet des périodes de fonctionnement prolongées.

Exigences de service

Tous les fours à vide de laboratoire nécessitent une alimentation électrique, une alimentation et une évacuation d'eau réfrigérée, du gaz Argon pour la ventilation, des alimentations en gaz de traitement et une ligne d'échappement.

Spécifications

  • Puissance d'alimentation totale : 6kva, 415v 3 phase
  • Connexions d'eau : - Extrémités filetées ¾" BSPT à l'aller et au retour.
  • Débit min : 6 litres / min d'eau à température ambiante
  • Entrée du gaz de process : ¼ de ligne Swagelok avec vanne Swagelok VCR
  • Entrée de l'évent : ¼ de ligne Swagelok avec vanne Swagelok VCR.
  • Pour le système pneumatique (si installé) - air comprimé 60 - 80 psi. - 6mm push fit.
  • Alimentation en N2/ Ar pour la ventilation/le traitement - <40 psi - raccord ¼" Swagelok
  • Taille de l'orifice de pompage : 2.75" CF - adaptateur KF25
  • Hauteur du système (couvercle fermé) : 1140mm
  • Largeur du système : 1120mm
  • Profondeur du système : 720 mm (mesurée entre les boutons du rotamètre et les tuyaux d'alimentation en eau).
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