Experts en chauffage des substrats

Produits pour le vide

Chez Thermic Edge, nous développons et fabriquons des solutions de base pour l'ultravide (UHV) avec une qualité de pointe et des performances inégalées.

Aperçu des produits pour le vide

Notre vaste expérience du secteur et notre équipe de physiciens et d'ingénieurs qualifiés offrent des solutions personnalisées de renommée mondiale en matière de chauffage, de manipulation et de systèmes UHV, tout en élargissant continuellement notre gamme standard de composants et d'accessoires UHV. Nous garantissons l'excellence tout au long du cycle de vie de nos produits, avec tous les processus réalisés en interne et contrôlés conformément aux normes ISO:9001.

Chaque étage est livré avec l'alimentation, le thermocouple et les traversées d'eau nécessaires, de sorte que tout ce que vous avez à faire est de connecter les services et il est prêt à être utilisé. Les contrôleurs de chauffage et les alimentations sont également disponibles auprès de Thermic Edge.

VISION : Améliorer continuellement nos produits par l'évolution et l'innovation, tout en développant des relations solides avec nos clients grâce à l'attention, la qualité et la fiabilité.

VALEURS : Des produits de haute qualité et des performances inégalées, avec une satisfaction totale du client, voilà ce que nous apprécions le plus chez Thermic Edge.

PHILOSOPHIE : Nos clients en savent plus que quiconque sur leur propre processus. Nous nous efforçons donc d'écouter et d'apprendre de leurs réactions, afin de pouvoir adapter parfaitement nos conceptions aux spécifications de nos clients et de développer nos produits selon les normes les plus élevées de l'industrie et du monde universitaire, ce qui fait de nous le partenaire de choix dans les secteurs que nous avons choisis.

Manipulateurs linéaires standard

Notre manipulateur linéaire standard est fabriqué à partir d'une paire de brides Conflat, reliées par des soufflets à bords soudés. Les jaunes d'aluminium offrent force et stabilité tout en gardant l'ensemble léger. Sa conception, à la différence de beaucoup d'autres, comprend deux barres de guidage qui straddle l'assemblage du soufflet. Cela réduit le mouvement de flexion sur le jaune de la bride mobile et allège la contrainte de torsion sur la vis-mère lorsqu'une charge est appliquée, ce qui permet à la bride mobile de se déplacer vers la bride fixe dans un mouvement contrôlé et précis, tout en maintenant le parallélisme entre les deux brides et une usure minimale de la vis-mère.

Illustré ci-dessus : DN35/40CF avec course de 50 mm

Tous les manipulateurs linéaires standard manuels sont équipés d'une échelle linéaire numérique métrique/impériale avec une résolution de 100 µm. La conception inclut des supports pour des encodeurs numériques ou des interrupteurs de fin de course qui peuvent être ajoutés sur demande.

L'utilisation de roulements linéaires en acier inoxydable de haute qualité (faibles coefficients de friction) et de guides Igus® garantit un fonctionnement des plus fluides et une durée de vie plus longue.

Les tailles et courses standard des brides comprennent les DN35/40CF ou DN63CF avec des courses de 50, 100 ou 250 mm.

Sur demande, notre équipe interne de conception et d'ingénierie peut s'adapter à des tailles de brides plus grandes et/ou à des longueurs de course plus importantes, pour répondre à vos besoins individuels.

Le manipulateur linéaire standard est actionné par un volant ou un moteur pas à pas numérique (option) et peut travailler dans n'importe quelle orientation.

En outre, le manipulateur linéaire standard est conçu pour permettre une conversion in situ vers un actionnement motorisé, l'installation prenant environ 15 minutes.

Les manipulateurs linéaires standard sont couramment utilisés dans les applications qui ne nécessitent pas une résolution de mouvement plus élevée :

  • Manipulation des sources de chauffage de l'échantillon.
  • Chargement et/ou transfert des échantillons
  • Manipulation des sources de dépôt/sputter (PVD)
  • Manipulation d'oscillateurs à quartz/dispositifs piézoélectriques.

Manipulateurs linéaires avancés

Notre manipulateur linéaire avancé est fabriqué à partir d'une paire de brides Conflat, reliées par des soufflets à bords soudés. Les jaunes d'aluminium offrent force et stabilité tout en gardant l'ensemble léger. Sa conception comprend trois barres de guidage, qui le rendent autoporteur et ne dépendent donc pas de la vis-mère pour la rigidité (anti-déflexion/rotation), fournissant un mouvement encore plus précis et contrôlé que nos manipulateurs linéaires standard, maintenant le parallélisme entre la plate-forme de déplacement (jaune) et la bride de base/montage et prolongeant la durée de vie de la vis-mère et des composants dépendants.

La conception de la grande plate-forme mobile peut accueillir un seul soufflet d'une taille allant jusqu'à ø93,0 mm (alésage interne, traversant) ou plusieurs soufflets DN16-35/40CF (3x max) pour différentes traversées. Cela confère au manipulateur linéaire avancé une polyvalence sans précédent qui lui permet d'être couplé à une rotation de l'échantillon/du berceau (manuelle/motorisée/pneumatique), à des traversées haute puissance, liquides/gazeuses et/ou RF. Les barres de guidage de ø18-25 mm sont plus que capables de supporter les charges élevées requises par toutes les options susmentionnées combinées, tout en maintenant un mouvement linéaire souple et précis.

L'utilisation de roulements linéaires en acier inoxydable de haute qualité (faibles coefficients de friction) et de guides Igus® garantit un fonctionnement des plus fluides et une durée de vie plus longue.

Les manipulateurs linéaires avancés peuvent être équipés de codeurs de position et d'échelles variables sur demande. Ils peuvent être configurés avec des brides de montage allant de DN2022-350CF (Conflat) ou ISO200-400K/F (ISO clampé/boulonné) et des courses standard de 50, 100 ou 250 mm.

Sur demande, notre équipe interne de conception et d'ingénierie peut s'adapter à des brides de plus grande taille et/ou à des longueurs de course plus importantes (jusqu'à 1000 mm), ainsi qu'à des configurations d'alignement en X et d'inclinaison de la bride supérieure, afin de répondre à vos besoins particuliers.

Passages rotatifs / linéaires

Nos traversées rotatives/linéaires comprennent un arbre central étanche avec des joints Viton®, supporté par des roulements Igus® et englobé dans un boîtier robuste à bride en acier inoxydable.

Le profil des joints Viton garantit un joint à vide sûr pour les mouvements rotatifs et linéaires, avec une compression minimale, ce qui les rend très polyvalents et fiables. En outre, le profil emprisonne les graisses sous vide élevé, ce qui garantit une lubrification permanente.

L'utilisation de guides et de roulements Igus® de haute qualité permet de l'utiliser dans le vide poussé tout en assurant un fonctionnement optimal et une grande longévité.

La conception des traversées rotatives/linéaires permet une interchangeabilité complète, ce qui facilite l'entretien et le remplacement des joints.

En standard, les traversées rotatives/linéaires sont fournies avec l'ensemble de traversée (boîtier), l'arbre central, avec le collier de serrage de l'arbre côté air, ou le tube bouché.

Notre gamme standard en pleine expansion de traversées rotatives / linéaires, idéales pour les étapes de rotation des échantillons et le vide poussé, comprend actuellement.. :

  • Arbre central plein Ø6.0mm avec boîtier à bride DN16CF.
  • Ø6.0 ou 8.0mm central solide avec boîtier à bride DN40CF.
  • Tube bouché Ø19mm O.D. avec boîtier à bride DN40CF.

Toutes les traversées peuvent être configurées avec les éléments suivants ;

  • Poignées/ boutons pour la manipulation manuelle
  • Actionneur rotatif pneumatique pour la rotation
  • Moteur pas à pas pour la rotation
  • Actionneurs pneumatiques, motorisés ou solénoïdes pour la manipulation linéaire

Sur demande, notre équipe interne de conception et d'ingénierie expérimentée peut réaliser des brides et des tiges ou des tubes de plus grande taille, afin de répondre à vos besoins particuliers.
Toutes les traversées sont soumises à un test de fuite à l'hélium à un taux de fuite de 1×10-9 mbar l/s avant d'être expédiées afin de garantir le plus haut niveau de qualité et de longévité.

Traversées de haute puissance

Nos traversées de haute puissance sont uniquement utilisées pour la transmission de haute tension et/ou de courant élevé dans une chambre hermétique. Notre technique de couplage par brasage et collage des ruptures céramiques garantit que les conducteurs restent électriquement isolés et sans fuite dans des environnements sous vide poussé et ultra-poussé, à haute température et/ou réactifs. Notre gamme standard de traversées de haute puissance offre des tensions transférables jusqu'à 70 kV, et des courants jusqu'à 800 A.

Illustré ci-dessus :

- Bride de base DN60CF
- (2x) Conducteurs en molybdène avec brasure sans nickel.
- Refroidissement par eau

Sur demande, des traversées de haute puissance avec des conducteurs refroidis par liquide, capables de supporter des courants allant jusqu'à 1000A, peuvent être fournies. Elles sont généralement utilisées avec des systèmes de refroidissement en boucle fermée et des liquides de refroidissement non-conducteurs.

Notre gamme standard de traversées de haute puissance est conçue pour fonctionner à des températures allant de -150°C (-238°F) à 450°C (842°F), mais les traversées cryogéniques ou à plus haute température peuvent être adaptées sur demande.

Les matériaux standard des conducteurs sont le cuivre ou l'acier inoxydable pour les tensions élevées, mais nous proposons sur demande une variété d'autres matériaux tels que le molybdène, le nickel et le cuivre au tellure. Les conducteurs peuvent être plaqués or ou argent et brasés avec un cuivre eutectique argent sans nickel pour une résistance aux produits chimiques agressifs tels que le soufre.

Toutes les traversées sont soumises à un test de fuite à l'hélium à un taux de fuite de 1×10-9 mbar l/s avant d'être expédiées afin de garantir le plus haut niveau de qualité et de longévité.

Notre équipe interne de conception et d'ingénierie expérimentée sera heureuse de vous guider dans la configuration de votre traversée de haute puissance pour votre application. Nous sommes conscients qu'il est essentiel de disposer de traversées hermétiques adaptées à votre processus spécifique pour maintenir l'intégrité et la sécurité du système.

Chambres à vide et fabrications

Sur demande, notre équipe interne de conception et d'ingénierie expérimentée concevra et configurera des chambres personnalisées en fonction de votre processus et de votre application, de vos budgets et de vos contraintes d'espace.

Nous développons actuellement une gamme standard d'enceintes à vide en acier inoxydable et en aluminium, dont les détails seront publiés sur le site dans un avenir proche.

Les capacités actuelles de Thermic Edge peuvent s'adapter à une variété de types, de tailles et de matériaux de chambres, notamment

  • Types cylindrique/tube, sphérique et boîte
  • Les tailles vont des petits boîtiers à vide aux grandes chambres à vide (construction de type plaque à plaque) avec un encombrement allant jusqu'à 200×300 cm.
  • Fabriqué / fabriqué en acier inoxydable 304L/ 316L et 316LN.
  • Chambres solides usinées/monocoques en aluminium 5000/6000.

Chez Thermic Edge, l'excellence est assurée par le contrôle interne de l'ensemble du processus, depuis la conception, le design et la production de dessins, jusqu'à la fabrication et l'assemblage, en passant par les tests et l'inspection, jusqu'à l'assistance après-vente. Tous les processus sont réalisés et contrôlés conformément aux normes ISO9001.

Nous nous efforçons d'être à l'avant-garde de l'innovation en matière de chambres et d'équipements à vide, et c'est pourquoi nous nous engageons dans la révolution de l'aluminium pour l'ultravide (UHV). Les chambres en aluminium offrent un certain nombre de qualités supérieures à celles des chambres en acier inoxydable (SS) lorsqu'elles sont utilisées dans le vide, dont les suivantes

  • Une machinabilité supérieure et un poids léger pour faciliter la fabrication et la gestion.
  • Une faible perméabilité magnétique le rend plus adapté aux processus qui utilisent le magnétisme et/ou les particules chargées.
  • Un faible module d'élasticité confère à l'aluminium une qualité supérieure d'amortissement des vibrations pour une absorption accrue.
  • Faible activation neutronique pour une radioactivité résiduelle moindre, minimisant le temps de désintégration.
  • La couche de passivation inhérente à l'aluminium permet de réduire la diffusion et la désorption des contaminants par rapport à l'acier inoxydable.
  • En option, les chambres en aluminium peuvent être anodisées pour une plus grande résistance à la corrosion et une moindre réactivité chimique.
  • L'aluminium dégage des gaz à des taux inférieurs à 1×10-13Torr litres/sec cmce qui le rend tout à fait adapté aux applications UHV.
  • Une conductivité et une diffusivité thermiques supérieures pour une cuisson plus rapide et plus uniforme du système à des températures requises plus basses.
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