Experten für Substratheizung

Vakuum Produkte

Thermic Edge entwickelt und produziert Ultrahochvakuum (UHV)-Lösungen mit marktführender Qualität und unübertroffener Leistung.

Vakuum-Produkte Übersicht

Unsere umfangreiche Branchenerfahrung und unser Team aus qualifizierten Physikern und Ingenieuren bieten weltweit anerkannte kundenspezifische Produktlösungen für UHV-Heizung, -Manipulation und -Systeme, während wir gleichzeitig unser Standardangebot an UHV-Komponenten und -Zubehör kontinuierlich erweitern. Alle Prozesse innerhalb des Produktlebenszyklus werden intern durchgeführt und gemäß ISO:9001 kontrolliert.

Jede Stufe wird mit den erforderlichen Strom-, Thermoelement- und Wasserdurchführungen geliefert, so dass Sie nur noch die Leitungen anschließen müssen und sie ist einsatzbereit. Heizungssteuerungen und Stromversorgungen sind ebenfalls von Thermic Edge erhältlich.

VISION: Unsere Produkte durch Evolution und Innovation kontinuierlich weiterzuentwickeln und gleichzeitig durch Sorgfalt, Qualität und Zuverlässigkeit eine fundierte Beziehung zu unseren Kunden aufzubauen.

WERTE: Hochwertige Produkte und unvergleichliche Leistung bei voller Kundenzufriedenheit ist das, was wir bei Thermic Edge am meisten schätzen

PHILOSOPHIE: Unsere Kunden wissen mehr über ihren eigenen Prozess als jeder andere. Deshalb sind wir bestrebt, auf ihr Feedback zu hören und daraus zu lernen, damit wir unsere Designs perfekt auf die Spezifikationen unserer Kunden abstimmen und unsere Produkte nach den höchsten Standards in Industrie und Wissenschaft entwickeln können, was uns zum Partner der Wahl in unseren gewählten Sektoren macht.

Standard-Linearmanipulatoren

Unser Standard-Linearmanipulator wird aus einem Paar Conflat-Flanschen hergestellt, die durch kantengeschweißte Bälge verbunden sind. Aluminiumbälge bieten Festigkeit und Stabilität, während die Baugruppe leicht bleibt. Im Gegensatz zu vielen anderen umfasst die Konstruktion zwei Führungsschienen, die Spreizung der Faltenbalgbaugruppe. Dadurch wird die Biegebewegung am beweglichen Flanschjoch reduziert und die Verdrehbeanspruchung der Leitspindel bei Belastung vermindert, so dass sich der bewegliche Flansch in einer kontrollierten, präzisen Bewegung auf den festen Flansch zubewegen kann und die Parallelität zwischen den beiden Flanschen sowie der minimale Verschleiß der Leitspindel erhalten bleiben.

Oben abgebildet: DN35/40CF mit 50mm Hub

Alle manuellen Standard-Linearmanipulatoren sind mit einem metrischen/imperialen digitalen Linearmaßstab mit 100 µm Auflösung ausgestattet. Die Konstruktion umfasst Halterungen für digitale Encoder oder Endschalter, die auf Anfrage hinzugefügt werden können.

Die Verwendung von hochwertigen Edelstahl-Linearlagern (niedrige Reibwerte) und Igus® -Führungen sorgen für höchste Laufruhe bei gleichzeitig langer Lebensdauer.

Zu den Standardflanschgrößen und -hüben gehören DN35/40CF oder DN63CF mit 50, 100 oder 250 mm Hub.

Auf Wunsch kann unser hauseigenes Konstruktions- und Ingenieurteam größere Flanschgrößen und/oder größere Hublängen berücksichtigen, um Ihren individuellen Anforderungen gerecht zu werden.

Der Standard-Linearmanipulator wird durch ein Handrad oder einen digitalen Schrittmotor (Option) betätigt und kann in jeder Orientierung arbeiten.

Darüber hinaus ist der Standard-Linearmanipulator so konstruiert, dass er vor Ort auf eine motorisierte Betätigung umgerüstet werden kann, wobei die Installation ca. 15 Minuten in Anspruch nimmt.

Standard-Linearmanipulatoren werden üblicherweise in Anwendungen eingesetzt, die keine höhere Auflösung der Bewegung erfordern, wie z. B:

  • Manipulation von Probenheizquellen.
  • Laden und/oder Übertragen von Proben
  • Manipulation von Abscheide-/Sputterquellen (PVD)
  • Manipulation von Quarzoszillatoren/Piezoelektrischen Geräten.

Erweiterte Linear-Manipulatoren

Unser Advanced Linear Manipulator wird aus einem Paar Conflat-Flanschen gefertigt, die durch kantengeschweißte Faltenbälge verbunden sind. Aluminiumbälge bieten Festigkeit und Stabilität, während die Baugruppe leicht bleibt. Seine Konstruktion umfasst drei Führungsschienen, die ihn selbsttragend machen und daher nicht auf die Leitspindel für die Steifigkeit (Anti-Durchbiegung/Drehung) angewiesen sind. Dies ermöglicht eine noch präzisere und kontrolliertere Bewegung als unsere Standard-Linearmanipulatoren, die Aufrechterhaltung der Parallelität zwischen der beweglichen Plattform (Dotter) und dem Basis-/Montageflansch und verlängert die Lebensdauer der Leitspindel und der abhängigen Komponenten.

Die große, verfahrbare Plattform kann eine einzelne Balggröße bis zu ø93,0 mm (interne, durchgehende Bohrung) oder mehrere Bälge DN16-35/40CF (max. 3x) für unterschiedliche Durchführungen aufnehmen. Dies verleiht dem Advanced Linear Manipulator die beispiellose Vielseitigkeit, mit Proben-/Wiege-Rotation (manuell/motorisch/pneumatisch), Hochleistungs-, Flüssigkeits-/Gas- und/oder HF-Durchführungen gekoppelt zu werden. Die Führungsschienen mit einem Durchmesser von 18-25 mm sind mehr als ausreichend für die hohen Lasten, die für alle oben genannten Optionen in Kombination erforderlich sind, und sorgen gleichzeitig für eine reibungslose und präzise lineare Bewegung.

Die Verwendung von hochwertigen Edelstahl-Linearlagern (niedrige Reibwerte) und Igus® -Führungen sorgen für höchste Laufruhe bei gleichzeitig langer Lebensdauer.

Die Advanced Linear Manipulatoren können auf Wunsch mit unterschiedlichen Wegmesssystemen und Maßstäben ausgestattet werden. Sie können mit Montageflanschen von DN2022-350CF (Conflat) oder ISO200-400K/F (ISO geklemmt/geschraubt) und Standardhüben von entweder 50, 100 oder 250 mm konfiguriert werden.

Auf Anfrage kann unser hauseigenes Konstruktions- und Ingenieurteam größere Flanschgrößen und/oder größere Hublängen (bis zu 1000 mm) sowie eine X-Ausrichtung des oberen Flansches und Kippkonfigurationen entsprechend Ihren individuellen Anforderungen realisieren.

Drehdurchführungen / Lineardurchführungen

Unsere Dreh- / Lineardurchführungen bestehen aus einer mit Viton®-Dichtungen abgedichteten Zentralwelle, die mit Igus®-Lagern abgestützt und von einem robusten Edelstahl-Flanschgehäuse umschlossen ist.

Das Profil der Viton-Dichtungen stellt sicher, dass eine sichere Vakuumdichtung sowohl für rotierende als auch für lineare Bewegungen mit minimaler Kompression gebildet wird, was sie sowohl äußerst vielseitig als auch zuverlässig macht. Darüber hinaus fängt das Profil Hochvakuumfett ein und stellt sicher, dass sie kontinuierlich geschmiert werden.

Durch die Verwendung von hochwertigen Igus®-Führungen und -Lagern ist er für den Einsatz im Hochvakuum geeignet und gewährleistet gleichzeitig höchste Laufruhe und Langlebigkeit.

Die Konstruktion der Dreh-/Lineardurchführungen ermöglicht eine vollständige Austauschbarkeit, um die Wartung und den Austausch von Dichtungen zu erleichtern.

Standardmäßig werden die Dreh- / Lineardurchführungen mit der Durchführungsbaugruppe (Gehäuse), Zentralwelle, mit luftseitiger Wellenklemmung, oder Kappenrohr geliefert.

Unser wachsendes Standardprogramm an Dreh- / Lineardurchführungen, die sich ideal für den Einsatz in Probenrotationstischen und im Hochvakuum eignen, umfasst derzeit:

  • Ø6,0mm massive Zentralwelle mit Flanschgehäuse DN16CF.
  • Ø6,0 oder 8,0mm massiv zentral mit DN40CF Flanschgehäuse.
  • Ø19mm O.D. gekapptes Rohr mit DN40CF Flanschgehäuse.

Alle Durchführungen können wie folgt konfiguriert werden;

  • Griffe/Knöpfe für die manuelle Manipulation
  • Pneumatischer Drehantrieb für Rotation
  • Schrittmotor für Rotation
  • Pneumatische, motorische oder magnetische Aktoren für lineare Manipulation

Auf Anfrage kann unser erfahrenes internes Konstruktions- und Engineering-Team größere Flansch- und Stab- bzw. Rohrgrößen für Ihre individuellen Anforderungen berücksichtigen.
Alle Durchführungen werden vor dem Versand mit Helium auf eine Leckrate von 1×10-9 mbar l/s getestet, um ein Höchstmaß an Qualität und Langlebigkeit zu gewährleisten.

Hochspannungsdurchführungen

Unsere High-Power-Durchführungen werden ausschließlich zur Übertragung von Hochspannung und / oder Hochstrom in eine hermetische Kammer verwendet. Unsere Technik der Kopplungslötung und des Verbindens der keramischen Unterbrechungen stellt sicher, dass die Leiter in Hoch- und Ultrahochvakuum, hohen Temperaturen und/oder reaktiven Umgebungen elektrisch isoliert und leckfrei bleiben. Unser Standardprogramm an Hochstromdurchführungen bietet übertragbare Spannungen von bis zu 70 kV und Ströme von bis zu 800 A.

Oben abgebildet:

- DN60CF Grundflansch
- (2x) Molybdän-Leiter mit nickelfreiem Lötmaterial.
- Wasserkühlung

Auf Anfrage können Hochstromdurchführungen mit flüssigkeitsgekühlten Leitern, die für Ströme bis zu 1000A geeignet sind, geliefert werden. Diese werden üblicherweise mit geschlossenen Kühlkreisläufen und nicht leitenden Kühlmitteln verwendet.

Unsere Standard-Hochleistungsdurchführungen sind für Temperaturen von -150°C (-238°F) bis 450°C (842°F) ausgelegt, jedoch können auf Anfrage auch kryogene oder höhere Temperaturen realisiert werden.

Zu den Standardleitermaterialien gehören Kupfer oder Edelstahl für höhere Spannungen. Auf Anfrage bieten wir jedoch auch eine Vielzahl anderer Leitermaterialien wie Molybdän, Nickel und Tellurkupfer an. Die Leiter können vergoldet oder versilbert und mit nickelfreiem Silber-Kupfer-Eutektikum für die Beständigkeit gegen aggressive Prozesschemikalien wie Schwefel hartgelötet werden.

Alle Durchführungen werden vor dem Versand mit Helium auf eine Leckrate von 1×10-9 mbar l/s getestet, um ein Höchstmaß an Qualität und Langlebigkeit zu gewährleisten.

Unser erfahrenes internes Konstruktions- und Ingenieurteam berät Sie gerne bei der Konfiguration Ihrer High-Power-Durchführung für Ihre Anwendung. Wir sind uns bewusst, dass die richtigen hermetischen Durchführungen für Ihren spezifischen Prozess entscheidend für die Aufrechterhaltung der Systemintegrität und Sicherheit sind.

Vakuumkammern und Anfertigungen

Auf Anfrage entwirft und konfiguriert unser erfahrenes internes Design- und Ingenieurteam kundenspezifische Kammern, die Ihrem Prozess und Ihrer Anwendung, Ihrem Budget und Ihren Platzverhältnissen entsprechen.

Wir entwickeln derzeit ein Standardsortiment von Vakuumkammern aus Edelstahl und Aluminium. Details dazu werden in Kürze auf unserer Website veröffentlicht.

Die aktuellen Möglichkeiten von Thermic Edge können eine Vielzahl von Kammertypen, -größen und -materialien aufnehmen, darunter

  • Zylindrische/Rohr-, Kugel- und Kastentypen
  • Größen von kleinen Vakuumgehäusen bis hin zu großen Vakuumkammern (Platte-zu-Platte-Bauweise) mit einer Grundfläche von bis zu 200×300 cm.
  • Hergestellt/gefertigt in Edelstahl 304L/ 316L & 316LN.
  • Massiv bearbeitete/Monocoque-Kammern aus Aluminium 5000/6000 Billet.

Bei Thermic Edge wird Exzellenz durch die interne Kontrolle des gesamten Prozesses von der Konzeption, dem Design und der Zeichnungserstellung über die Herstellung, Fertigung und Montage bis hin zur Prüfung und Inspektion und zum Aftermarket-Support gewährleistet. Alle Prozesse werden in Übereinstimmung mit den ISO9001-Standards durchgeführt und kontrolliert.

Wir streben danach, an der Spitze der Innovation zu stehen, wenn es um Vakuumkammern und -geräte geht, und nehmen daher die Ultrahochvakuum (UHV)-Revolution aus Aluminium an. Aluminiumkammern bieten im Vergleich zu Kammern aus Edelstahl (SS) eine Reihe von überlegenen Eigenschaften, wenn sie im Vakuum eingesetzt werden, darunter:

  • Hervorragende Maschinengängigkeit und geringes Gewicht für einfache Verarbeitung und Handlichkeit.
  • Durch die niedrige magnetische Permeabilität ist es besser geeignet für Prozesse, die Magnetismus und/oder geladene Teilchen nutzen.
  • Der niedrige Elastizitätsmodul verleiht dem Aluminium eine höhere Schwingungsdämpfungsqualität für eine erhöhte Absorption.
  • Geringe Neutronenaktivierung für weniger Restradioaktivität, wodurch die Abklingzeit minimiert wird.
  • Die inhärente Passivierungsschicht von Aluminium bietet im Vergleich zu Edelstahl eine geringere Diffusion und Desorption von Verunreinigungen.
  • Optional können die Aluminiumkammern für eine höhere Korrosionsbeständigkeit und geringere chemische Reaktivität eloxiert werden.
  • Aluminium gaset mit einer Rate von weniger als 1×10 aus-13Torr Liter/sec cmDamit ist es für UHV-Anwendungen mehr als geeignet.
  • Höhere Wärmeleitfähigkeit und Diffusivität für schnelleres und gleichmäßigeres Ausheizen des Systems bei niedrigeren erforderlichen Temperaturen.
de_DEDeutsch

Kontakt

Kontaktieren Sie unser Vertriebsteam unten für weitere Informationen.

Diese Website verwendet Cookies, um Ihnen das beste Erlebnis zu bieten. Bitte lesen Sie unsere Datenschutzerklärung für weitere Informationen.