Experten für Substratheizung

Heizungsstufen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Probe übertragen

Thermic Edge bietet Lösungen für den Probentransfer für alle Anwendungen von Beschichtungssystemen. Wir arbeiten eng mit unseren Kunden zusammen, um unsere Probenheiztische in ihre Ladesysteme zu integrieren. Die Bühnen können oben oder unten montiert werden, mit manueller oder automatischer Probenbeladung / Wafer-Transfer.

Diese große, verfahrbare Plattform kann eine einzelne Balggröße bis zu ø93,0 mm (interne, durchgehende Bohrung) oder mehrere Faltenbälge DN16-35/40CF (max. 3x) für unterschiedliche Durchführungen aufnehmen.

Linearmanipulatoren dieser Bauart können auf Wunsch mit unterschiedlichen Wegmesssystemen und Maßstäben ausgestattet werden. Sie können mit Montageflanschen von DN2022-350CF (Conflat) oder ISO200-400K/F (ISO geklemmt/geschraubt) und Standardhüben von entweder 50, 100 oder 250 mm konfiguriert werden.

Auf Anfrage kann unser hauseigenes Konstruktions- und Ingenieurteam größere Flanschgrößen und/oder größere Hublängen (bis zu 1000 mm) sowie eine X-Ausrichtung des oberen Flansches und Kippkonfigurationen entsprechend Ihren individuellen Anforderungen realisieren.

Merkmale

  • Heizelemente und Proben können in beliebiger Ausrichtung montiert werden
  • Unser Standardangebot an Z-Shifts oder Pin-Lift bietet kostengünstige Lösungen für den Probentransfer
  • Standard-Linearverschiebungen mit Verfahrwegen bis zu 250 mm (10")
  • Äußere Wiege Probenrotation für hohe Temperaturgleichmäßigkeit über die Probe
  • Hochpräzise Servo-/Schrittmotoren ermöglichen die Home-Positionierung zum Be- und Entladen
  • Näherungssensoren und Mikroschalter zur Definition der Z-Position und der Drehposition (erforderlich für Schrittmotoren)
  • Konfigurationen für Hochvakuum, UHV, Sauerstoff, Luft und korrosive Umgebungen
  • Temperaturen bis 1600°C als Standard (höhere Temperaturen können auf Anfrage erreicht werden)
  • Vollständig anpassbar mit kompletten, maßgeschneiderten Lösungen
  • Gebaut und getestet in Großbritannien

Siehe unser Heizungsstufen Broschüre für weitere Informationen zum Probentransfer.

de_DEDeutsch

Kontakt

Kontaktieren Sie unser Vertriebsteam unten für weitere Informationen.

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