Vielseitige Heizungen

Experten für Substratheizung

Vakuum-Heizungen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Bei Thermic Edge haben wir eine Reihe von kostengünstigen Probenheizern entwickelt, die mit optionalen Extras wie Wasserkühlung, Probendrehung und verschiedenen Probenbefestigungsoptionen leicht angepasst werden können.

Der Thermic Edge Versatile Heizer ist ebenfalls sehr leistungsstark, mit hoher Leistungsdichte (ermöglicht sehr schnelle Hochlaufzeiten), mit geringem Massenkörper (reduziert die Abkühlzeiten) und hoher thermischer Gleichmäßigkeit über die gesamte heiße Zone.

Unsere Probenheizer werden unter Verwendung verschiedener Körper- und Elementmaterialien hergestellt, um eine breite Palette von Anwendungen und Temperaturen abzudecken, und sind standardmäßig von zwei bis sechs Zoll Durchmesser erhältlich.

Merkmale

Standard-Heißzonengrößen von Ø2" (51 mm) bis zu Ø6" (152 mm)
Konfigurationen für Hochvakuum, UHV und Luft (sauerstoffkompatibel)
Standard-Elementwerkstoffe sind Inconel, Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbund (CCC), rein Siliziumkarbid (SiC³) CVD-beschichteter Graphit und Wolfram
Schnelles Hochfahren und effizient
Lieferung mit geeignetem internen Thermoelement zur Messung und Regelung der Temperatur (Temperaturleser und -regler ebenfalls erhältlich)
Freistehend oder angeflanscht

Kann in jeder Orientierung arbeiten
Hohe Gleichmäßigkeit der Probenheizfläche als Standard (<2%)
Wasserkühlung verfügbar, um die Wärmebelastung der Kammer zu minimieren
Vollständig anpassbar mit kompletten, maßgeschneiderten Lösungen
Tischmontage möglich, wenn Rotation, Z-Verschiebung und/oder RF- oder DC-Vorspannung erforderlich sind
Inklusive In-Vakuum-Kabelgarnituren
Gebaut und getestet in Großbritannien

Passen Sie Ihr Heizgerät an

Kontakt zu unserem technisches Vertriebsteam heute, wenn Sie Hilfe oder eine größere Heizungsgröße benötigen. Zusätzliche Optionen umfassen, sind aber nicht beschränkt auf:

Wasserkühlung zur Minimierung der Wärmebelastung der Kammer und anderer Geräte
Sampe-Halter-Clips, -Masken oder -Halterungen
Flansch- oder Heizstufenmouting (für Rotation und Probentransfer)
Probenvorspannung (DC oder RF bis zu 1000W)

Zweites Thermoelement
Spannungsversorgung
Temperaturregler
Ersatz-Elemente

Probenteller rotiert über statischem Element. In diesem Beispiel werden Clips zur Befestigung der Substrate verwendet

Thermic Edge liefert Platten mit Öffnungen zur Aufnahme und Maskierung von Proben, falls erforderlich.

Heizelemente können mit freiliegendem Element verwendet werden, und in einigen Fällen können Proben direkt auf die Elemente gelegt werden

Spezifikationen

800°C Temperatur der keramischen Oberplatte mit Inconel-Element. Für den Einsatz in Hochvakuum, O2, N2, H2 Umgebung oder Luft

Art.-Nr.	Heiße Zone Ø	Außendurchmesser (ca.)	Keramische Deckplatte	TC-Typ
VH-2-800-IN-O2	2″	100 mm	ABN1000	K
VH-3-800-IN-O2	3″	125 mm	ABN1000	K
VH-4-800-IN-O2	4″	160 mm	ABN1000	K
VH-6-800-IN-O2	6″	190 mm	ABN1000	K

1000°C Temperatur der keramischen Deckplatte mit Graphit und SiC³ CVD-beschichtetes Element. Für den Einsatz im Hochvakuum, O2, N2, H2 Umgebung oder Luft

Art.-Nr.	Heiße Zone Ø	Außendurchmesser (ca.)	Keramische Deckplatte	TC-Typ
VH-2-1000-CCC-HV	2″	100 mm	ABN1000	K
VH-3-1000-CCC-HV	3″	125 mm	ABN1000	K
VH-4-1000-CCC-HV	4″	160 mm	ABN1000	K
VH-6-1000-CCC-HV	6″	190 mm	ABN1000	K

1000°C Keramik-Oberplatte Temperatur mit CCC-Element. Für den Einsatz in Hochvakuum, N2 oder inerter Atmosphäre

Art.-Nr.	Heiße Zone Ø	Außendurchmesser (ca.)	Keramische Deckplatte	TC-Typ
VH-2-1000-GS-O2	2″	100 mm	ABN1000	K
VH-3-1000-GS-O2	3″	125 mm	ABN1000	K
VH-4-1000-GS-O2	4″	160 mm	ABN1000	K
VH-6-1000-GS-O2	6″	190 mm	ABN1000	K

1600°C Keramik-Oberplatte Temperatur mit CCC-Element. Für den Einsatz in Hochvakuum, N2 oder inerter Atmosphäre.

Art.-Nr.	Heiße Zone Ø	Außendurchmesser (ca.)	Keramische Deckplatte	TC-Typ
VH-2-1600-CCC-HV	2″	100 mm	PBN	C
VH-3-1600-CCC-HV	3″	125 mm	PBN	C
VH-4-1600-CCC-HV	4″	160 mm	PBN	C
VH-6-1600-CCC-HV	6″	190 mm	PBN	C

1600°C Keramik-Oberplatte Temperatur mit Wolfram-Element. Für den Einsatz in Hochvakuum, N2, H2 oder inerter Atmosphäre. Gut für UHV mit entfernter Deckplatte

Art.-Nr.	Heiße Zone Ø	Außendurchmesser (ca.)	Keramische Deckplatte	TC-Typ
VH-2-1600-TU-UHV	2″	100 mm	PBN	C
VH-3-1600-TU-UHV	3″	125 mm	PBN	C
VH-4-1600-TU-UHV	4″	160 mm	PBN	C
VH-6-1600-TU-UHV	6″	190 mm	PBN	C

Zeichnung Downloads