Experten für Substratheizung

Vakuum-Heizungen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Vielseitige Heizungen

Bei Thermic Edge haben wir eine Reihe von kostengünstigen Probenheizern entwickelt, die mit optionalen Extras wie Wasserkühlung, Probendrehung und verschiedenen Probenbefestigungsoptionen leicht angepasst werden können.

Der Thermic Edge Versatile Heizer ist ebenfalls sehr leistungsstark, mit hoher Leistungsdichte (ermöglicht sehr schnelle Hochlaufzeiten), mit geringem Massenkörper (reduziert die Abkühlzeiten) und hoher thermischer Gleichmäßigkeit über die gesamte heiße Zone.

Unsere Probenheizer werden unter Verwendung verschiedener Körper- und Elementmaterialien hergestellt, um eine breite Palette von Anwendungen und Temperaturen abzudecken, und sind standardmäßig von zwei bis sechs Zoll Durchmesser erhältlich.

Merkmale

  • Standard-Heißzonengrößen von Ø2" (51 mm) bis zu Ø6" (152 mm)
  • Konfigurationen für Hochvakuum, UHV und Luft (sauerstoffkompatibel)
  • Standard-Elementwerkstoffe sind Inconel, Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbund (CCC), rein Siliziumkarbid (SiC3) CVD-beschichteter Graphit und Wolfram
  • Schnelles Hochfahren und effizient
  • Lieferung mit geeignetem internen Thermoelement zur Messung und Regelung der Temperatur (Temperaturleser und -regler ebenfalls erhältlich)
  • Freistehend oder angeflanscht

 

  • Kann in jeder Orientierung arbeiten
  • Hohe Gleichmäßigkeit der Probenheizfläche als Standard (<2%)
  • Wasserkühlung verfügbar, um die Wärmebelastung der Kammer zu minimieren
  • Vollständig anpassbar mit kompletten, maßgeschneiderten Lösungen
  • Tischmontage möglich, wenn Rotation, Z-Verschiebung und/oder RF- oder DC-Vorspannung erforderlich sind
  • Inklusive In-Vakuum-Kabelgarnituren
  • Gebaut und getestet in Großbritannien

Passen Sie Ihr Heizgerät an

Kontakt zu unserem technisches Vertriebsteam heute, wenn Sie Hilfe oder eine größere Heizungsgröße benötigen. Zusätzliche Optionen umfassen, sind aber nicht beschränkt auf:

  • Wasserkühlung zur Minimierung der Wärmebelastung der Kammer und anderer Geräte
  • Sampe-Halter-Clips, -Masken oder -Halterungen
  • Flansch- oder Heizstufenmouting (für Rotation und Probentransfer)
  • Probenvorspannung (DC oder RF bis zu 1000W)
  • Zweites Thermoelement
  • Spannungsversorgung
  • Temperaturregler
  • Ersatz-Elemente

Probenteller rotiert über statischem Element. In diesem Beispiel werden Clips zur Befestigung der Substrate verwendet

Thermic Edge liefert Platten mit Öffnungen zur Aufnahme und Maskierung von Proben, falls erforderlich.

Heizelemente können mit freiliegendem Element verwendet werden, und in einigen Fällen können Proben direkt auf die Elemente gelegt werden

Spezifikationen

1000°C Temperatur der keramischen Deckplatte mit Graphit und SiC3 CVD-beschichtetes Element. Für den Einsatz im Hochvakuum, O2, N2, H2 Umgebung oder Luft
Art.-Nr.Heiße Zone ØAußendurchmesser (ca.)Keramische DeckplatteTC-Typ
VH-2-1000-CCC-HV2″100 mmABN1000K
VH-3-1000-CCC-HV3″125 mmABN1000K
VH-4-1000-CCC-HV4″160 mmABN1000K
VH-6-1000-CCC-HV6″190 mmABN1000K
 
1000°C Keramik-Oberplatte Temperatur mit CCC-Element. Für den Einsatz in Hochvakuum, N2 oder inerter Atmosphäre
Art.-Nr.Heiße Zone ØAußendurchmesser (ca.)Keramische DeckplatteTC-Typ
VH-2-1000-GS-O22″100 mmABN1000K
VH-3-1000-GS-O23″125 mmABN1000K
VH-4-1000-GS-O24″160 mmABN1000K
VH-6-1000-GS-O26″190 mmABN1000K
1600°C Keramik-Oberplatte Temperatur mit CCC-Element. Für den Einsatz in Hochvakuum, N2 oder inerter Atmosphäre.
Art.-Nr.Heiße Zone ØAußendurchmesser (ca.)Keramische DeckplatteTC-Typ
VH-2-1600-CCC-HV2″100 mmPBNC
VH-3-1600-CCC-HV3″125 mmPBNC
VH-4-1600-CCC-HV4″160 mmPBNC
VH-6-1600-CCC-HV6″190 mmPBNC
 

Zeichnung Downloads

VH-X-1000-GS-O2

Ø2″          PDF
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VH-X-1000-CCC-HV

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VH-X-1600-CCC-O2

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Broschüre zur Produktpalette

200.15-D - A3 - Thermic Edge Vielseitige Heizgeräte-Reihe

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Kontakt

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