Calentadores versátiles

Expertos en calentamiento de sustratos

Calentadores de vacío

En Thermic Edge, nos enorgullecemos de estar a la vanguardia de la industria de los hornos de vacío. Proporcionando un servicio completo, nuestras gamas versátiles a medida le proporcionan las herramientas necesarias para cualquier aplicación.

En Thermic Edge, hemos desarrollado una gama de calentadores de muestras rentables que pueden personalizarse fácilmente con extras opcionales, como la refrigeración por agua, la rotación de muestras y varias opciones de montaje de muestras.

El calentador Thermic Edge Versatile es también de muy alto rendimiento, con una alta densidad de potencia (que permite tiempos de rampa muy rápidos), con un cuerpo de baja masa (que reduce los tiempos de enfriamiento) y una alta uniformidad térmica en toda la zona caliente.

Nuestros calentadores de muestras se fabrican con diferentes materiales de cuerpo y elementos para adaptarse a una amplia gama de aplicaciones y temperaturas, y están disponibles de forma estándar con diámetros de dos a seis pulgadas.

Características

Tamaños de zona caliente estándar que van desde Ø2" (51 mm) hasta Ø6" (152 mm)
Configuraciones para alto vacío, UHV y aire (compatible con oxígeno)
Los materiales estándar de los elementos son Inconel, compuesto de carbono-carbono (CCC), puro carburo de silicio (SiC³) Grafito recubierto por CVD y tungsteno
Rápida rampa y eficiente
Se suministra con un termopar interno adecuado para medir y controlar la temperatura (también hay disponibles lectores y controladores de temperatura)
Montaje libre o con brida

Puede funcionar en cualquier orientación
Área de calentamiento de muestras de alta uniformidad como estándar (<2%)
Refrigeración por agua disponible para minimizar la carga térmica de la cámara
Totalmente personalizable con soluciones completas a medida
Se puede montar en un escenario donde se requiera rotación, desplazamiento Z y/o polarización RF o DC
Conjuntos de cables en vacío incluidos
Construido y probado en el Reino Unido

Personalice su calefactor

Contacta con nuestro equipo técnico de ventas hoy si necesita ayuda o un tamaño de calentador más grande. Las opciones adicionales incluyen, pero no se limitan a:

Refrigeración por agua para minimizar la carga térmica de la cámara y otros equipos
Clips, máscaras o retenedores de soporte de muestras
Brida o etapa de calentamiento (para la rotación y la transferencia de la muestra)
Sesgo de la muestra (DC o RF hasta 1000W)

Segundo termopar
Fuente de alimentación
Controlador de temperatura
Elementos de repuesto

La placa de la muestra gira por encima del elemento estático. En este ejemplo, se utilizan clips para asegurar los sustratos

Thermic Edge suministra placas con aberturas para sujetar y proporcionar enmascaramiento a las muestras si es necesario.

Los calentadores pueden utilizarse con el elemento expuesto, y en algunos casos las muestras pueden colocarse directamente sobre los elementos

Especificaciones

Temperatura de la placa superior de cerámica de 800°C con elemento de Inconel. Para su uso en alto vacío, O2, N2, H2 ambiente o aire.

Nº de pieza	Zona caliente Ø	D.O. (aprox.)	Placa superior de cerámica	Tipo de TC
VH-2-800-IN-O2	2″	100 mm	ABN1000	K
VH-3-800-IN-O2	3″	125 mm	ABN1000	K
VH-4-800-IN-O2	4″	160 mm	ABN1000	K
VH-6-800-IN-O2	6″	190 mm	ABN1000	K

Temperatura de la placa superior cerámica de 1000°C con grafito y SiC³ Elemento con recubrimiento CVD. Para su uso en entornos de alto vacío, O2, N2, H2 o aire.

Nº de pieza	Zona caliente Ø	D.O. (aprox.)	Placa superior de cerámica	Tipo de TC
VH-2-1000-CCC-HV	2″	100 mm	ABN1000	K
VH-3-1000-CCC-HV	3″	125 mm	ABN1000	K
VH-4-1000-CCC-HV	4″	160 mm	ABN1000	K
VH-6-1000-CCC-HV	6″	190 mm	ABN1000	K

Temperatura de la placa superior de cerámica de 1000°C con elemento CCC. Para uso en alto vacío, N2 o atmósfera inerte.

Nº de pieza	Zona caliente Ø	D.O. (aprox.)	Placa superior de cerámica	Tipo de TC
VH-2-1000-GS-O2	2″	100 mm	ABN1000	K
VH-3-1000-GS-O2	3″	125 mm	ABN1000	K
VH-4-1000-GS-O2	4″	160 mm	ABN1000	K
VH-6-1000-GS-O2	6″	190 mm	ABN1000	K

Temperatura de la placa superior de cerámica de 1600°C con elemento CCC. Para uso en alto vacío, N2 o atmósfera inerte.

Nº de pieza	Zona caliente Ø	D.O. (aprox.)	Placa superior de cerámica	Tipo de TC
VH-2-1600-CCC-HV	2″	100 mm	PBN	C
VH-3-1600-CCC-HV	3″	125 mm	PBN	C
VH-4-1600-CCC-HV	4″	160 mm	PBN	C
VH-6-1600-CCC-HV	6″	190 mm	PBN	C

Temperatura de la placa superior de cerámica de 1600°C con elemento de tungsteno. Para uso en alto vacío, N2, H2 o atmósfera inerte. Bueno para UHV con la placa superior retirada

Nº de pieza	Zona caliente Ø	D.O. (aprox.)	Placa superior de cerámica	Tipo de TC
VH-2-1600-TU-UHV	2″	100 mm	PBN	C
VH-3-1600-TU-UHV	3″	125 mm	PBN	C
VH-4-1600-TU-UHV	4″	160 mm	PBN	C
VH-6-1600-TU-UHV	6″	190 mm	PBN	C

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