Expertos en calentamiento de sustratos

Hornos de vacío

En Thermic Edge, nos enorgullecemos de estar a la vanguardia de la industria de los hornos de vacío. Proporcionando un servicio completo, nuestras gamas versátiles a medida le proporcionan las herramientas necesarias para cualquier aplicación.

Hornos de vacío de tungsteno

Hornos de vacío de laboratorio con crisol de tungsteno o zonas calientes de muestras planas para procesamiento térmico, tratamiento térmico, recocido y sinterización al vacío en entornos de vacío, nitrógeno o hidrógeno.

Los hornos de vacío de laboratorio de Thermic Edge ofrecen una gama de zonas calientes de tungsteno que se adaptan a una gran variedad de usos. Utilizando la misma configuración que los hornos de grafito, la gama de hornos de tungsteno tiene un vacío final de 5×10 ̄²mBar y puede funcionar a presión atmosférica en una atmósfera inerte.

Los hornos de crisol de tungsteno también están disponibles con elementos de estilo de malla en dos tamaños:

  • Crisol grande Ø150 x 75mm
  • Crisol extra grande Ø80 x 140mm

Características

  • Temperaturas de hasta 2600˚c
  • Presión base <5×10 ̄²mBar
  • Secuencia de purga automática de la bomba para eliminar el oxígeno residual
  • Velocidad de rampa ≈ 120˚c/min
  • Procesamiento en vacío y presión atmosférica
  • PC portátil para el registro completo de datos y el control del proceso térmico programable en varios pasos
  • Cámara del horno de carga superior
  • Horno totalmente refrigerado por agua, cámara y tapa de acero inoxidable
  • Tapa de accionamiento eléctrico con sensores de enclavamiento
  • Calentamiento de crisoles y obleas / muestras planas
  • Funcionamiento sencillo y seguro con enclavamientos de protección total, ideal para Universidades u operadores sin experiencia
  • Sistema totalmente enclavado que proporciona seguridad tanto al usuario como al sistema
  • Control semiautomático mediante pantalla táctil HMI
  • Pantalla en color combinada Micro Pirani/piezo calibre
  • Fuentes de alimentación conmutadas de CC ligeras (sin transformadores voluminosos)
  • Fuente de alimentación de CC controlada a través de Eurotherm Nanodac
  • Alto rendimiento y control de respuesta
  • Regulación manual de la presión y el caudal de gas con válvula automática de liberación de sobrepresión
  • Diseño compacto, ligero y con poco espacio, pero con grandes zonas calientes

Gama estándar

HORNOS DE CRISOL

Horno de vacío de laboratorio grande de 2000°c con horno de crisol de zona caliente de tungsteno, 5kW DC PSU.
Zona caliente de tungsteno - Ø150 x 75mm


Horno de vacío de laboratorio extra grande de 2000°c con horno de crisol de zona caliente de tungsteno, 20kW DC PSU.
Zona caliente de grafito - Ø80 x 140mm

WAFER FURNACES

Zona caliente de tungsteno de 4", fuente de alimentación de 5kW DC

Zona caliente de tungsteno de 6", fuente de alimentación de 10kW DC

Zona caliente de tungsteno de 8", fuente de alimentación de CC de 15kW

Opciones adicionales

  • Bomba de alto vacío de difusión (vacío máximo 5×10 ̄⁷mBar)
  • Bomba turbo (Vacío máximo 5×10 ̄⁸mBar)
  • Opciones adicionales de gas de proceso
  • Pirómetro - Cambio automático
  • Enfriador de agua
  • Termopares de zona caliente

Zonas calientes

Los hornos de vacío de laboratorio de tungsteno están disponibles con calentamiento de muestras de crisol o de obleas. Para el calentamiento de muestras de obleas, se aloja un elemento plano simple en un cuerpo de tungsteno con blindaje térmico radial. Para el calentamiento del crisol, la zona caliente se calienta mediante un elemento de malla de tungsteno con blindaje térmico proporcionado por láminas de tungsteno.

Operaciones y funciones del sistema

La gama de hornos de vacío de laboratorio de Thermic Edge ofrece una interfaz fácil de usar que promueve su facilidad de uso a través de una moderna pantalla táctil HMI que permite el control de todas las funciones de bombeo, procesamiento de gas y ventilación del horno. Con múltiples pantallas para el funcionamiento, pantallas de enclavamiento y estados de las válvulas.

La HMI permite al usuario controlar la secuencia automatizada de bombeo hacia abajo, que está diseñada para eliminar el oxígeno residual de la cámara y el interno aumentando la vida de la zona caliente y evitando la posibilidad de que se produzca la oxidación.

También se controlan dos entradas de gas independientes a través de la HMI montada en el brazo con sus caudales individuales ajustados manualmente a las necesidades del usuario. Las velocidades de bombeo también se regulan manualmente mediante una válvula Speedi montada en la parte delantera del horno de vacío.

La temperatura y el registro de datos se controlan a través de un controlador de temperatura / registrador de datos Eurotherm Nanodac PID que puede conectarse a un PC remoto para el análisis de datos. Se proporciona un software que permite programar ciclos de proceso de varios pasos, lo que facilita la repetición de las pruebas y el ajuste de los programas.

La cámara de vacío totalmente refrigerada por agua y los conductos de alimentación mantienen el exterior de la cámara a temperatura ambiente y evitan el sobrecalentamiento, lo que permite prolongar los periodos de funcionamiento.

Requisitos del servicio

Todos los hornos de vacío de laboratorio requieren un suministro eléctrico trifásico, suministro de agua fría y drenaje, gas argón para la ventilación, suministros de gas de proceso y línea de escape.

Especificaciones

  • Potencia total de suministro : 6kva, 415v 3 fases
  • Conexiones de agua: - Extremos roscados de ¾" BSPT tanto para el flujo como para el retorno.
  • Caudal mínimo: 6 litros / min de agua a temperatura ambiente
  • Entrada de gas de proceso: ¼ de línea Swagelok con válvula VCR Swagelok
  • Entrada de aire: ¼ de línea Swagelok con válvula VCR Swagelok.
  • Para la neumática (si está instalada) - aire comprimido de 60 - 80 psi. - ajuste a presión de 6 mm.
  • Suministro de N2/ Ar para ventilación/procesamiento - <40 psi - Racor Swagelok de ¼"
  • Tamaño del puerto de bombeo: 2,75" CF - adaptador KF25
  • Altura del sistema (tapa cerrada): 1140mm
  • Anchura del sistema: 1120 mm
  • Profundidad del sistema: 720 mm (medido desde los pomos del rotámetro hasta las tuberías de suministro de agua
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Contacto

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