真空炉
在Thermic Edge,我们为自己处于真空炉行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务,我们定制的多功能范围为您提供任何应用所需的工具。
实验室真空炉带有钨坩埚或平坦的样品热区,用于在真空、氮气或氢气环境下进行热加工、热处理、退火和真空烧结。
Thermic Edge实验室真空炉提供一系列的钨热区,以适应各种用途。使用与石墨炉相同的设置,钨炉系列具有5×10 ²mBar的极限真空,同时能够在惰性气氛中的大气压力下运行。
钨坩埚炉也可使用两种尺寸的网状元素。
2000°c大型实验室真空炉与钨热区坩埚炉,5kW直流电源。
钨热区 - Ø150 x 75mm
2000°c特大型实验室真空炉,带钨热区坩埚炉,20kW直流电源。
石墨热区 - Ø80 x 140mm
4 "钨钢热区,5kW直流PSU
6 "钨钢热区,10kW直流PSU
8 "钨钢热区,15kW直流PSU
钨质实验室真空炉可用于坩埚或晶圆样品加热。对于晶圆样品的加热,一个简单的平面元素被安置在一个具有径向热屏蔽的钨体内。对于坩埚加热,热区使用钨网元素进行加热,并由钨箔片提供热屏蔽。
Thermic Edge的实验室真空炉系列提供了一个用户友好的界面,通过现代触摸屏HMI显示器促进其易用性,可以控制所有炉子的抽气、气体处理和排气功能。有多个屏幕用于操作、联锁显示和阀门状态。
人机界面允许用户控制自动降压程序,该程序旨在清除炉膛内的残余氧气,并在内部增加热区的使用寿命,避免发生氧化的可能性。
两个独立的气体输入也通过安装在手臂上的HMI进行控制,其各自的流量可根据用户的要求进行手动调节。抽气速度也可以通过安装在真空炉前面的Speedi阀手动调节。
温度和数据记录是通过欧热Nanodac PID温度控制器/数据记录器控制的,它可以连接到远程PC进行数据分析。提供的软件允许对多步骤的过程循环进行编程,允许简单的重复测试和对程序的简单调整。
完全水冷的真空室和电源馈入装置使真空室的外部保持在环境温度,防止过热,允许长时间的操作。
所有的实验室真空炉都需要一个3相电源、冷冻水供应和排放、用于通风的氩气、工艺气体供应和排气管。