基层加热专家

真空加热器

在Thermic Edge,我们为自己处于真空炉行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务,我们定制的多功能范围为您提供任何应用所需的工具。

卤素灯加热器

特点

非接触式基片加热器

  • 900°C样品温度
  • 集成K型热电偶
  • 可以在任何方向安装
  • 标准尺寸Ø2"、Ø3 "和Ø4"
  • 在高真空、惰性气体或空气中使用
  • 特别设计,通过移除外罩,可以方便地接触到灯泡
  • 可根据要求定制形状和尺寸
  • 氧气兼容
  • 由于质量低,热/冷升温非常快,如下图右图
  • 可选择的升级:可旋转的晶圆、Z型移动、射频直流偏压和水冷机身。
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