热边加热器阶段

Thermic Edge为所有沉积系统的应用提供完整的热台样品加热器。Thermic Edge在我们的加热器平台上提供的一个重要功能是水冷，它有许多好处，包括。

• 与客户系统整合
• 确定的压力和流速，以确保足够的冷却
• 用于所有加热器类型，包括旋转式加热器头
• 与样品偏置一起使用
• 冷却电源馈通，允许更高的电流
• 减少对试验室和其他设备的热负荷

水冷加热器可以安装在任何方向，并与我们全系列的操纵器和偏压系统一起使用。Thermic Edge还在需要时提供与我们的水冷阶段一起的冷却器。

如果需要快速冷却样品，Thermic Edge提供了一个气体冷却选项。惰性气体在样品上流动，快速冷却样品，减少过程时间。我们与客户合作，为您的应用提供合适的阀门和配件。

该图显示了带有气体冷却的Thermic Edge加热器阶段的实际数据。红线显示的是没有气体流动时的阶段性冷却曲线。蓝线显示的是气体冷却的曲线。在气体流动的情况下，加热器需要4分10秒才能达到安全的排气温度（本阶段为300℃）。如果没有气体流动，则需要将近20分钟。