真空加热器
在Thermic Edge，我们为自己处于真空炉行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务，我们定制的多功能范围为您提供任何应用所需的工具。
在Thermic Edge，我们为研究和工业界提供具有成本效益、高均匀性的晶圆加热器、真空加热器和样品加热器，用于薄膜沉积和样品处理。我们的样品加热器可以提供固定器或夹子，以固定一系列半导体晶圆或样品。
所有加热器都要经过全面测试。我们的内部测试能力包括氦气泄漏检查、使用真空测试系统的全温度测试和使用FLIR热成像仪的均匀性测试。Thermic Edge通过了ISO 9001认证。
Thermic Edge的设计团队与客户紧密合作，提供。
所有加热器都要经过全面测试。我们的内部测试能力包括氦气泄漏检查、使用真空测试系统的全温度测试和使用FLIR热成像仪的均匀性测试。Thermic Edge已获得ISO 9001:2015注册。
Thermic Edge提供了一个完整的样品加热系列 热门阶段 用于所有薄膜沉积系统的应用。加热器和样品可以以任何方向安装，Thermic Edge系列机械手为样品旋转、加热器旋转、样品转移和样品/加热器定位提供了成本效益的选择。
可以提供带有样品偏压（射频或直流）的样品加热平台，功率最高可达1000W，并配有温度控制器和电源。对于带有射频偏压的加热器和平台，可以提供全屏蔽和电源/热电偶线路过滤。水冷式加热器可提供冷却器。
Thermic Edge专门为使用标准加热器和阶段无法满足的加热应用提供定制解决方案。Thermic Edge的设计团队与客户紧密合作，提供。
详细介绍安装、规格和操作说明的手册
如果您需要任何帮助或更大的加热器尺寸，请立即联系我们的技术销售团队。
其他选项包括，但不限于。
点击下载我们的产品手册，了解所有热边缘元件材料。
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