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基层加热专家

加热器级数

在Thermic Edge，我们为自己处于真空炉行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务，我们定制的多功能范围为您提供任何应用所需的工具。

标准加热器阶段

Thermic Edge为所有沉积系统的应用提供完整的热台样品加热器。加热器和样品可以安装在任何方向，我们的操纵器系列为样品旋转、加热器旋转、样品转移和样品/加热器定位提供了成本效益的选择。

这种大型游动平台设计可容纳单个波纹管尺寸达ø93.0mm（内部，通孔）或多个DN16-35/40CF波纹管（最多3个），用于不同的馈通。

这种类型的线性机械手可以根据要求安装不同的位置编码器和刻度。它们可以配置的安装法兰范围为DN2022-350CF（孔板）或ISO200-400K/F（ISO夹紧/螺栓），标准行程为50、100或250mm。

根据要求，我们的内部设计和工程团队可以适应更大的法兰尺寸和/或增加的冲程长度（高达1000毫米），以及顶部法兰的X形对准和倾斜配置，以满足您的个性化需求。

特点

  • 标准线性移位，行程可达250毫米（10英寸）。更长的可作为特制产品。
  • 样品通过中心轴或外摇篮旋转。
  • 样品偏压（射频或直流）高达1000W。
  • 水冷，以保护馈入件和/或减少腔体的热负荷。
  • 用于高真空、超高真空、氧气、空气和腐蚀性环境的配置。
  • 标准温度高达1800°C（根据要求可达到更高的温度）。
  • 配有合适的内部热电偶，用于测量控制温度。
  • 包括真空内和空气侧电缆组件 .
  • 在英国建造和测试。

规格

标准功能SMF01SMF02SMF03SMF04SMF05SMF06
最高工作温度100010001000180018001200
旋转头没有没有没有没有是没有
旋转轴样品架是是是是没有是
旋转摇篮式样品架没有没有没有没有没有是
中央竖井是是是是是是
电机 - 皮带驱动是是没有没有是是
电机 - 直接驱动没有没有是是没有没有
电源馈通是没有是可选没有没有
T/C馈通是没有是可选没有没有

可选功能

可选功能SMF01SMF02SMF03SMF04SMF05SMF06
水冷 - 基础是没有是是是是
水冷--散热罩是是是是是是
进水口是没有是是没有没有
射频/直流偏压是是没有是是是
用于样品转移的Z字形移动是是是是没有是
Z档移动加热器头是是是是是是
Z档移动样品架是是是是是是
销钉提升的线性运动没有没有没有是没有没有

我们的使命

在Thermic Edge，我们为自己处于真空加热技术行业的最前沿而自豪。我们提供完整的服务，我们的定制和多功能系列为您提供任何惰性、高压或超高压应用的必要工具。

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