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基层加热专家

真空加热器

在Thermic Edge，我们为自己处于真空炉行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务，我们定制的多功能范围为您提供任何应用所需的工具。

高温 - 高均匀度 - 水冷加热器

在这个页面上，你会发现除了我们的Versatile和Button加热器系列之外，我们还提供标准的加热解决方案的信息。这些方案包括。

  • 1000°C石墨或碳碳复合(CCC)惰性和真空兼容的陶瓷顶部加热器
  • 1300°C高均匀性SiC3涂层石墨惰性、空气和真空兼容的陶瓷顶部基板加热器
  • 1700°C CCC 惰性和真空兼容的陶瓷顶部加热器（水冷）。
  • 1900°C 所有石墨加热器都是惰性和真空兼容的

这些加热器中的任何一个都可以与我们的阶段相结合，以提供。

  • 可旋转的晶圆
  • Z-shift
  • 高达1000W的射频或直流偏压
  • 水或气体冷却

1000°C - sIc3 涂层石膏或CCC (iNERT & VACUUM)

特点

  • 顶板温度为1000C，元件温度约为1200C。
  • 适用于高真空、超高真空、惰性气体和氧气环境。
  • 可根据要求定制尺寸。
  • 快速升温率
  • 加热器包括内部热屏蔽
  • 加热器底座是水冷的，减少了室和敏感设备的热负荷。
  • 加热器安装有K型陶瓷护套热电偶。
  • 可以安装在线性和或旋转执行器上，或以任何方向安装。
  • 加热器可以是独立的，也可以是法兰式安装。
  • 水、电源和热电偶服务可以从加热器底座的后部或侧面出去。
  • Ø1 "加热器可通过NW38CF法兰完全组装（上图中间）。

产品手册

200.06-A - 1000°C CCC元件加热头（仅适用）。

点击下载Thermic Edge 1000°C碳-碳复合元件加热器的产品手册（仅头部）。

200.07-B - 1000°C CCC元件加热器法兰安装

点击下载Thermic Edge 1000°C碳-碳复合元件加热器（法兰安装）的产品手册。

规格参数

1000°C SiC3元件 - 空气、O2、惰性、HV、UHV 仅限加热头
零件编号ØA - 热区ØB - 加热器外径C - 加热器厚度安装*最大电压*目前最大*最大功率
HTWM6-SiC-0126mm (1")36.6毫米52mmM6螺栓6v39a234w
HTWM6-SiC-01.538.1mm (1.5")48.7mm52mmM6螺栓10v39a390w
HTWM6-SiC-0250.8毫米（2英寸61.4mm52mmM6螺栓15v39a585w
1000°C CCC 元件 - 惰性、HV、UHV 加热器头，仅有
零件编号ØA - 热区ØB - 加热器外径C - 加热器厚度安装*最大电压*目前最大*最大功率
HTWM6-CCC-0126mm (1")36.6毫米52mmM6螺栓6v39a234w
HTWM6-CCC-01.538.1mm (1.5")48.7mm52mmM6螺栓10v39a390w
HTWM6-CCC-0250.8毫米（2英寸61.4mm52mmM6螺栓15v39a585w

*在真空中@1000°C（元件温度）。

1300°C 高均匀度 SiC3 涂层石墨基片加热器（惰性、空气、真空）。

我们的高温抗氧加热器使用固体碳化硅（SiC）或SiC涂层石墨元素

特点

  • 顶板温度为1300C，元件温度约为1500C。
  • 顶板上的温度均匀性高达<2%。
  • 快速的升温速度，每分钟高达1300C（取决于使用的电源）。
  • 1300℃的陶瓷顶板温度（1500℃的元件温度）。
  • 可以在短时间内推到1600℃。
  • 在高真空条件下，顶板温度限制在1000℃。
  • 温度均匀性±1.0%
  • 集成热电偶（类型取决于使用温度和环境）。
  • 用多个热电偶和FLIR热成像仪进行测试
  • 可以在任何方向安装
  • 样品可以直接放在加热器的陶瓷顶板上
  • 某些样品可以直接放在元件上
  • 标准尺寸从Ø1 "到Ø8"
  • 用于高真空、惰性气氛和O2/空气中
  • 可根据要求定制形状和尺寸
  • 水冷为标准配置
  • 通常安装在基座法兰上，带有集成的电源和水冷穿透装置，但也可以由客户来定义。

产品手册

200.06-A - 1000°C CCC元件加热头（仅适用）。

点击下载Thermic Edge 1000°C碳-碳复合元件加热器的产品手册（仅头部）。

200.07-B - 1000°C CCC元件加热器法兰安装

点击下载Thermic Edge 1000°C碳-碳复合元件加热器（法兰安装）的产品手册。

规格参数

零件编号Ø 晶片尺寸ØA - 热区ØB - 加热器外径C - 加热器厚度*最大电压*目前最大*最大功率
HTSW-CCC-0377毫米（3英寸901494260251500
HTSW-CCC-04102mm (4")1161754260402400
HTSW-CCC-05128mm (5")1412004260603600
HTSW-CCC-06153mm (6")1662254260804800
HTSW-CCC-07179mm (7")19225142601106600
HTSW-CCC-08204毫米（8英寸21827742601408400

*在真空中，1200°C



带有SiC3涂层石墨或碳碳复合材料（CCC）基片的1700°C陶瓷顶真空加热器 惰性和真空

我们最高标准的加热器将在1700℃的顶板温度下运行。 加热器的尺寸可以根据需要增加。 

特点

  • 1700°C 陶瓷顶板温度
  • 集成C型热电偶
  • 可以在任何方向安装
  • 所示的Ø1 "版本是CF40法兰盘安装，通过Ø38mm的端口完全装配好。
  • 水冷进气口和机身为标准配置
  • 在3分钟内加热到1700℃的顶板温度，需要530瓦的功率来维持温度
  • 样品可以直接放在加热器的陶瓷顶板上
  • 标准尺寸从Ø1 "到Ø6"
  • 用于高真空或惰性气体中
  • 可根据要求定制形状和尺寸
  • 通常安装在基座法兰上，有集成的电源和水冷穿透装置，但也可以定制。

产品手册

200.11-A - 带有CCC元件和水冷体的1700℃加热器

点击下载Thermic Edge 1000°C碳-碳复合元件加热器的产品手册（仅头部）。

规格参数

1700°C - 惰性，HV，UHV - 加热器头水冷
零件编号ØA - 热区ØB - 加热器外径C - 加热器厚度安装最大电压当前最大最大功率
HTWM6-CCC-0126mm (1")36.6毫米52mmM6螺栓17伏33安培561瓦特
HTWM6-CCC-01.538.1mm (1.5")48.7mm52mmM6螺栓40伏30安培1200瓦特
HTWM6-CCC-0250.8毫米（2英寸61.4mm52mmM6螺栓60伏35安培2100瓦特

*在真空中，1900°C（元件温度）。

1700°C - 惰性，HV，UHV - 加热器头水冷
零件编号Ø 晶片尺寸ØA - 热区ØB - 加热器外径C - 加热器厚度最大电压当前最大最大功率
HTSW-CCC-0377毫米（3英寸901494260251500
HTSW-CCC-04102mm (4")1161754260402400
HTSW-CCC-05128mm (5")1412004260603600
HTSW-CCC-06153mm (6")1662254260804800
HTSW-CCC-07179mm (7")19225142601106600
HTSW-CCC-08204毫米（8英寸21827742601408400

*在真空中，1200°C

带有石墨或陶瓷顶板和CCC元件的全石墨冷却或非冷却加热器

先进的碳-碳复合元素和高导热技术陶瓷和石墨牌号使顶板温度高达1900°C，而且升温速度非常快。

特点

  • 1700°C 陶瓷顶板温度
  • 集成C型热电偶
  • 可以在任何方向安装
  • 所示的Ø1 "版本是CF40法兰盘安装，通过Ø38mm的端口完全装配好。
  • 水冷进气口和机身为标准配置
  • 在3分钟内加热到1700℃的顶板温度，需要530瓦的功率来维持温度
  • 样品可以直接放在加热器的陶瓷顶板上
  • 标准尺寸从Ø1 "到Ø6"
  • 用于高真空或惰性气体中
  • 可根据要求定制形状和尺寸
  • 通常安装在基座法兰上，有集成的电源和水冷穿透装置，但也可以定制。

所有加热器都配有电源线和内部热电偶，并可提供电源和控制器。

我们的使命

在Thermic Edge，我们为自己处于真空加热技术行业的最前沿而自豪。我们提供完整的服务，我们的定制和多功能系列为您提供任何惰性、高压或超高压应用的必要工具。

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