基层加热专家

真空加热器

在Thermic Edge,我们为自己处于真空炉行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务,我们定制的多功能范围为您提供任何应用所需的工具。

多用途加热器

在Thermic Edge,我们已经开发了一系列具有成本效益的样品加热器,可以很容易地通过可选的附加功能进行定制,如水冷、样品旋转和各种样品安装选项。

Thermic Edge多功能加热器的性能也非常高,具有高功率密度(使升温时间非常快),具有低质量体(减少冷却时间)和整个热区的高热均匀性。

我们的样品加热器使用不同的主体和元件材料制造,以适应广泛的应用和温度,并有直径为2英寸至6英寸的标准产品。

特点

  • 标准热区尺寸从Ø2" (51 mm)到Ø6" (152 mm)。
  • 用于高真空、超高真空和空气(与氧气兼容)的配置
  • 标准元件材料是 铬镍铁合金, 碳-碳复合材料 (CCC)、纯 碳化硅(SiC3)CVD涂层石墨
  • 快速升温和高效
  • 提供合适的内部热电偶来测量和控制温度(也可提供温度读数器和控制器
  • 独立式或法兰式安装

 

  • 可以在任何方向操作
  • 高均匀度的样品加热区是标准配置(<2%
  • 可提供水冷,以最大限度地减少试验室的热负荷
  • 完全可定制,可提供完整的定制解决方案
  • 可在需要旋转、Z型移动和/或射频或直流偏压的地方安装平台
  • 包括真空中的电缆组件
  • 在英国建造和测试

定制你的加热器

联系我们的 技术销售团队 如果你需要任何帮助或需要更大的加热器尺寸,请今天就来。附加选项包括,但不限于。

  • 水冷却,以最大限度地减少室和其他设备的热负荷
  • Sampe支架夹子、面具或固定器
  • 法兰盘或加热器台口(用于旋转和样品传输)。
  • 样品偏置(直流或射频,最高1000W)。
  • 第二个热电偶
  • 电源
  • 温度控制器
  • 备用元件

样品板在静态元件上方旋转。在这个例子中,用夹子来固定基片

Thermic Edge提供的板子有开孔,可以容纳并在需要时为样品提供遮挡。

在使用加热器时,可将元件暴露在外,有些情况下,可将样品直接放在元件上。

规格

800°C陶瓷顶板温度,带英科诺尔元素。适用于高真空、O2、N2、H2环境或空气。
零件编号热区Ø外径(约)陶瓷顶板TC类型
VH-2-800-IN-O22″100毫米ABN1000K
VH-3-800-IN-O23″125毫米ABN1000K
VH-4-800-IN-O24″160毫米ABN1000K
VH-6-800-IN-O26″190毫米ABN1000K
带有石墨和SiC的1000℃陶瓷顶板温度3 CVD涂层元件。适用于高真空、O2、N2、H2环境或空气。
零件编号热区Ø外径(约)陶瓷顶板TC类型
VH-2-1000-CCC-HV2″100毫米ABN1000K
VH-3-1000-CCC-HV3″125毫米ABN1000K
VH-4-1000-CCC-HV4″160毫米ABN1000K
VH-6-1000-CCC-HV6″190毫米ABN1000K
 
1000°C陶瓷顶板温度,带CCC元件。适用于高真空、N2或惰性气氛。
零件编号热区Ø外径(约)陶瓷顶板TC类型
VH-2-1000-GS-O22″100毫米ABN1000K
VH-3-1000-GS-O23″125毫米ABN1000K
VH-4-1000-GS-O24″160毫米ABN1000K
VH-6-1000-GS-O26″190毫米ABN1000K
1600°C陶瓷顶板温度,带CCC元件。适用于高真空、N2或惰性气氛。
零件编号热区Ø外径(约)陶瓷顶板TC类型
VH-2-1600-CCC-HV2″100毫米PBNC
VH-3-1600-CCC-HV3″125毫米PBNC
VH-4-1600-CCC-HV4″160毫米PBNC
VH-6-1600-CCC-HV6″190毫米PBNC
 
1600°C陶瓷顶板温度,带钨元素。适用于高真空、N2、H2或惰性气氛。去掉顶板后,适用于超高真空
零件编号热区Ø外径(约)陶瓷顶板TC类型
VH-2-1600-TU-UHV2″100毫米PBNC
VH-3-1600-TU-UHV3″125毫米PBNC
VH-4-1600-TU-AHV4″160毫米PBNC
VH-6-1600-TU-UHV6″190毫米PBNC

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VH-X-800-IN-O2

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产品系列手册

200.15-E - A3 - Thermic Edge多功能加热器系列

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