基层加热专家

真空炉

在Thermic Edge,我们为自己处于真空炉行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务,我们定制的多功能范围为您提供任何应用所需的工具。

高温真空炉概述

Thermic Edge提供了一系列标准的高温产品。 真空炉,加热到3000˚c。研究和工业的应用包括热加工。 退火在高纯度、清洁的环境下,进行真空烧结和真空热处理。

我们的半自动真空炉允许使用单一或多种气体,允许从常压到高真空的加工,石墨或钨的热区都通过一个简单的一键式人机界面触摸屏显示器控制,基于一个占地面积小、重量轻和可移动的框架。

Thermic Edge的设计团队与客户紧密合作,提供。

  • 从开始到结束的专业管理项目
  • 尽可能使用标准的Thermic Edge部件和组件的成本效益解决方案
  • 详细的技术图纸和书面规格
  • 三维CAD模型
  • 提供经过全面测试并准备与您的系统集成的加热解决方案
  • 详细介绍安装和操作说明的手册

实验室真空炉系列

Thermic Edge为所有沉积系统的应用提供样品传输的解决方案。我们与客户紧密合作,将我们的样品加热器平台与他们的装载系统相结合。平台可以是顶部或底部安装的,有手动或自动样品装载/晶圆传输。

这种大型游动平台设计可容纳单个波纹管尺寸达ø93.0mm(内部,通孔)或多个DN16-35/40CF波纹管(最多3个),用于不同的馈通。

这种类型的线性机械手可以根据要求安装不同的位置编码器和刻度。它们可以配置的安装法兰范围为DN2022-350CF(孔板)或ISO200-400K/F(ISO夹紧/螺栓),标准行程为50、100或250mm。

根据要求,我们的内部设计和工程团队可以适应更大的法兰尺寸和/或增加的冲程长度(高达1000毫米),以及顶部法兰的X形对准和倾斜配置,以满足您的个性化需求。

实验室炉子的选择

  • 石墨坩埚和硅片实验室真空炉
  • 钨坩埚和晶圆实验室真空炉
  • 石墨坩埚和硅片台式真空炉
  • 钨坩埚和晶圆台式真空炉

我们还专门满足客户的要求,为他们的系统提供专门为其需求和应用设计的定制选项。

坩埚炉(坩埚尺寸

  • 2000°c中型实验室真空炉,带石墨热区坩埚炉,5kW DC PSU。石墨热区 - Ø60.5 x 75mm 或 Ø102mm x 51mm
  • 2000°c大型实验室真空炉,带石墨热区坩埚炉,15kW直流电源。石墨热区 - Ø150 x 75mm
  • 2000°c超大型实验室真空炉,带石墨热区坩埚炉,20kW直流电源。石墨热区 - Ø80 x 140mm
  • 2000°c大型实验室真空炉,带钨热区坩埚炉,5kW DC PSU。钨热区 - Ø150 x 75mm
  • 2000°c超大型实验室真空炉,带钨热区坩埚炉,20kW直流电源。石墨热区 - Ø80 x 140mm

硅片加热(硅片尺寸

  • 4 "石墨热区,5kW直流PSU
  • 4 "钨钢热区,5kW直流PSU
  • 6 "石墨热区,10kW直流PSU
  • 6 "钨钢热区,10kW直流PSU
  • 8 "石墨热区,15kW直流PSU
  • 8 "钨钢热区,15kW直流PSU

台式炉(坩埚和晶圆尺寸

  • 2000˚c石墨坩埚炉 1.5kW直流电源 - Ø20 x 30mm, Ø30 x 40mm, Ø40 x 50mm
  • 3000˚c石墨坩埚炉 6kW直流电源 - Ø20 x 30mm, Ø30 x 40mm, Ø40 x 50mm
  • 3000˚c TiCᶾ坩埚炉 6kW直流电源 - Ø20 x 30mm, Ø30 x 40mm, Ø40 x 50mm
  • 2000˚c 石墨晶片炉 1.5kW DC PSU - 1", 2" & 3"
  • 2000˚c钨晶炉3kW直流电源 - 1", 2" & 3"
zh_CN简体中文

联系我们

请联系我们下面的销售团队,了解更多信息。

本网站使用cookies以确保你获得最佳体验。请参阅我们的隐私政策以了解更多信息。