基层加热专家

真空产品

在Thermic Edge,我们开发和制造的核心超高真空(UHV)解决方案具有市场领先的质量和无与伦比的性能。

真空产品概述

我们丰富的行业经验和熟练的物理学家和工程师团队提供世界知名的特高压加热、操纵和系统的定制产品解决方案,同时不断扩大我们的特高压部件和配件的标准范围。确保整个产品生命周期内的所有过程都在内部进行,并按照ISO:9001标准进行控制,以确保卓越。

每个阶段都有必要的电源、热电偶和水的馈通,所以你所需要做的就是连接服务,它就可以使用了。加热器控制器和电源也可从Thermic Edge获得。

愿景。 通过进化和创新不断推进我们的产品,同时通过关怀、质量和可靠性与我们的客户发展良好的关系。

价值。 高质量的产品和无与伦比的性能,以及完全的客户满意度是我们在Thermic Edge最看重的。

哲学。 我们的客户比任何人都更了解自己的工艺,因此我们努力倾听并学习他们的反馈意见,以便我们可以根据客户的规格完美地进行设计,并按照工业和学术界的最高标准开发产品,使我们成为所选行业的首选合作伙伴。

标准线性机械手

我们的标准线性机械手是由一对Conflat法兰制造的,通过边缘焊接的波纹管连接。铝蛋提供了强度和稳定性,同时保持了组件的轻质。与其他许多产品不同,它的设计包括两根导杆,它们是 跨越 波纹管组件。这减少了行进中的法兰盘的弯曲运动,减轻了负载时对导螺杆的扭曲应力,使行进中的法兰盘以可控的、精确的运动向固定的法兰盘移动,并保持两个法兰盘之间的平行度,使导螺杆的磨损降到最低。

上面显示的是。DN35/40CF,行程50mm

所有手动标准线性机械手都安装了一个公制/英制数字线性刻度,分辨率为100微米。该设计包括数字编码器或限位开关的支架,可根据要求添加。

使用高质量的不锈钢直线轴承(低摩擦系数)和Igus®导轨确保了最流畅的操作和更长的使用寿命。

标准法兰尺寸和行程包括DN35/40CF或DN63CF,行程为50、100或250mm。

根据要求,我们的内部设计和工程团队可以适应更大的法兰尺寸和/或增加的冲程长度,以满足您的个人要求。

标准线性机械手由手轮或数字步进电机(选项)驱动,可以在任何方向工作。

此外,标准线性机械手的设计允许在原地转换为电动驱动,安装大约需要15分钟完成。

标准线性机械手通常用于不需要更高的运动分辨率的应用,其中包括。

  • 操控样品加热源。
  • 样品装载和/或转移
  • 沉积/溅射源的操纵(PVD)。
  • 操纵石英振荡器/压电装置。

先进的线性操纵器

我们的高级线性机械手是由一对Conflat法兰盘制成的,通过边缘焊接的波纹管连接。铝蛋提供了强度和稳定性,同时保持了组件的轻量化。它的设计包括三根导杆,使其能够自我支撑,因此不依赖于导螺杆的刚性(防偏转/旋转),提供比我们的标准线性机械手更精确和可控的运动,保持移动平台(蛋黄)和底座/安装法兰之间的平行,并延长导螺杆和相关部件的使用寿命。

大型移动平台的设计可以容纳单个波纹管尺寸达ø93.0mm(内部,通孔)或多个DN16-35/40CF波纹管(最多3个),用于不同的馈通。这使高级线性机械手具有前所未有的多功能性,可与样品/支架旋转(手动/电动/气动)、高功率、液体/气体和/或射频馈入装置相结合。ø18-25毫米的导杆完全能够满足上述所有选项的高负荷要求,同时保持平稳和精确的直线运动。

使用高质量的不锈钢直线轴承(低摩擦系数)和Igus®导轨确保了最流畅的操作和更长的使用寿命。

高级线性机械手可以根据要求安装不同的位置编码器和刻度。它们可以配置的安装法兰范围为DN2022-350CF(孔板)或ISO200-400K/F(ISO夹紧/螺栓),标准行程为50、100或250mm。

根据要求,我们的内部设计和工程团队可以适应更大的法兰尺寸和/或增加的冲程长度(高达1000毫米),以及顶部法兰的X形对准和倾斜配置,以满足您的个性化需求。

旋转/线性馈通

我们的旋转/线性馈入件包括一个用Viton®密封圈密封的中心轴,用Igus®轴承支撑,并包含在一个坚固的不锈钢法兰式外壳中。

氟橡胶密封圈的外形确保在旋转和线性运动中形成安全的真空密封,并将压缩量降至最低,使其具有高度通用性和可靠性。此外,其轮廓能捕获高真空油脂,确保其持续润滑。

使用高质量的Igus®导轨和轴承使其适合在高真空环境下使用,同时确保最平稳的操作和使用寿命。

旋转/线性馈入件的设计允许完全互换,以方便维护和密封的更换。

作为标准配置,旋转/线性馈入件与馈入件组件(外壳)、中心轴(带空气侧轴夹)或盖管一起提供。

我们的旋转/线性馈入件的标准范围不断扩大,这些馈入件是用于样品旋转阶段和高真空的理想选择,目前包括。

  • Ø6.0mm实心中心轴,带DN16CF法兰盘的外壳。
  • Ø6.0或8.0mm实心中心,带DN40CF法兰盘的外壳。
  • Ø19mm外径的封顶管,带有DN40CF法兰盘的外壳。

所有的馈入件都可以通过以下方式进行配置。

  • 用于手动操作的手柄/旋钮
  • 用于旋转的气动旋转推杆
  • 用于旋转的步进电机
  • 用于线性操作的气动、电动或电磁执行器

根据要求,我们经验丰富的内部设计和工程团队可以容纳更大的法兰和杆/管尺寸,以满足您的个人要求。
所有贯穿件在发货前都经过氦气泄漏测试,泄漏率为1×10-9mbar l/s,以确保最高水平的质量和使用寿命。

高功率馈通装置

我们的大功率馈通件仅用于将高电压和/或高电流传输到密封室。我们的陶瓷断口耦合钎焊和粘接技术确保导体在高真空和超高真空、高温和/或反应性环境中保持电气隔离和无泄漏。我们的标准系列大功率穿通装置可提供高达70千伏的传输电压和高达800安的电流。

上面显示的是。

- DN60CF底座法兰
- (2x)钼导体,无镍钎焊材料。
- 水冷却

根据要求,可以提供带有液体冷却导体的高功率馈入件,其电流可高达1000A。这些产品通常与闭环冷却系统和非导电冷却剂一起使用。

我们的标准系列高功率馈入件可在-150°C (-238°F)至450°C (842°F)的温度下工作,但也可根据要求提供低温或更高温度的馈入件。

标准的导体材料包括铜或不锈钢,用于较高的电压,但我们根据要求提供各种其他导体材料,如钼、镍和碲铜。导体可以镀金或镀银,并与不含镍的银铜共晶钎焊,以达到耐腐蚀性的工艺化学反应,如硫磺。

所有贯穿件在发货前都经过氦气泄漏测试,泄漏率为1×10-9mbar l/s,以确保最高水平的质量和使用寿命。

我们经验丰富的内部设计和工程团队很乐意在为您的应用配置高功率馈入件时提供指导。我们知道,为您的特定工艺提供正确的密封式馈入件,对于保持系统的完整性和安全性至关重要。

真空室和制造

根据要求,我们经验丰富的内部设计和工程团队将设计和配置定制腔室,以适应您的工艺和应用、预算和空间限制。

我们目前正在开发不锈钢和铝制真空室的标准系列,细节将在不久的将来公布在网站上。

Thermic Edge目前的能力可以适应各种腔体类型、尺寸和材料,包括

  • 圆柱形/管状、球形和盒状类型
  • 尺寸从小型真空箱到大型真空室(板对板结构),占地面积可达200×300厘米。
  • 以不锈钢304L/316L和316LN制造/制作。
  • 由5000/6000铝坯制成的实心机加工/一体式腔体。

在Thermic Edge,通过对整个过程的内部控制,从构思、设计和图纸生产,到制造、加工和装配,到测试和检查,再到售后支持,都能保证卓越。所有过程都是按照ISO9001标准进行和控制的。

当涉及到真空室和设备时,我们努力站在创新的最前沿,因此正在拥抱超高真空(UHV)的铝革命。在真空中使用铝制真空室时,铝制真空室比不锈钢(SS)真空室具有许多优越的品质,其中包括。

  • 优异的可加工性和轻质,便于制造和管理。
  • 低磁导率使它更适合于利用磁性和/或带电粒子的过程。
  • 低弹性模量使铝具有更高的振动阻尼质量,以增加吸收能力。
  • 中子活化程度低,残留的放射性较少,最大限度地减少了衰变时间。
  • 与SS相比,铝的固有钝化层可减少污染物的扩散和解吸。
  • 可以选择对铝腔进行阳极氧化处理,以提高耐腐蚀性和降低化学反应性。
  • 铝的出气率低于1×10-13托尔 升/秒 厘米使其更适合于超高压应用。
  • 更高的导热性和扩散性,使系统在较低的要求温度下更快、更均匀地烘烤出来。
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