基层加热专家

真空炉

在Thermic Edge,我们为自己处于真空炉行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务,我们定制的多功能范围为您提供任何应用所需的工具。

石墨真空炉

石墨实验室真空炉带有石墨坩埚或硅片样品热区,用于热加工、热处理、退火和真空烧结。

Thermic Edge实验室真空炉提供一系列的石墨热区,以适应各种用途。我们的标准中型真空炉的坩埚尺寸为Ø102 x 51mm,最高温度为2100˚c。我们还提供另一种更深的中型热区尺寸,即Ø60.5 x 75mm,更大的尺寸为Ø150 x 75mm,超大的热区尺寸为Ø180 x 140mm。我们还提供适用于Ø 4"、Ø 6 "和Ø 8 "样品尺寸的扁平晶圆热区。

圆柱形石墨元件效率极高,可以实现快速升温,非常稳定,使用双热区可以提高温度均匀性,偏差< +/- 1%。

特点

  • 温度高达2600˚c
  • 基础压力<5×10 ²mBar
  • 自动泵的清洗程序,以清除残留的氧气
  • 斜率≈120˚c/min
  • 在真空和常压下加工
  • 笔记本电脑用于完整的数据记录和多步骤可编程的热过程控制
  • 顶部装载炉膛
  • 全水冷炉,不锈钢炉膛和盖子
  • 带联锁传感器的电驱动盖子
  • 坩埚和晶圆/平面样品加热
  • 操作简单、安全,具有全面的保护联锁功能,是大学或没有经验的操作员的理想选择。
  • 完全联锁的系统为用户和系统提供安全保障
  • 通过HMI触摸屏进行半自动控制
  • 彩色显示结合微型皮拉尼/压电计
  • 重量轻的直流开关电源(没有笨重的变压器
  • 通过Eurotherm Nanodac控制的直流电源
  • 高性能和反应灵敏的控制
  • 带有自动超压释放阀的手动压力和气体流速调节装置
  • 设计紧凑,重量轻,占地面积小,但热区大

标准范围

坩埚炉

2000°c中型实验室真空炉,带石墨热区坩埚炉,5kW直流电源。
石墨热区 - Ø60.5 x 75mm 或 Ø102mm x 51mm


2000°c大型实验室真空炉,带石墨热区坩埚炉,15kW直流电源。
石墨热区 - Ø150 x 75mm


2000°c超大型实验室真空炉,带石墨热区坩埚炉,20kW直流电源。
石墨热区 - Ø180 x 140mm

瓦夫炉

Ø 4 "石墨热区,5kW DC PSU

Ø 6 "石墨热区,10kW DC PSU

Ø 8" 石墨热区,15kW DC PSU

附加选项

  • 扩散式高真空泵(极限真空度5×10 ⁷mBar)。
  • 涡轮泵(终极真空5×10 ⁸mBar)
  • 额外的工艺气体选项
  • 高温计 - 自动转换
  • 冷水机
  • 热区热电偶

晶圆样品热区

对于晶圆样品测试,我们的实验室真空炉使用封闭在石墨热区中的CCC元件来加热单个大直径的样品和存放在受热板中的较小样品。

硅片取样炉的取样尺寸从4英寸到8英寸,8英寸的取样炉有双区选项。

高温真空炉

3000˚c实验室炉使用了与标准炉相同的占地面积,但加入了一些变化。

  • 全石墨热区。
  • 超过2100˚c需要在大气压下的惰性环境中加工。
  • 需要更大的电源,同时仍适合于标准框架。
  • 使用高温计进行自动转换的高温测量

系统操作和功能

Thermic Edge的实验室真空炉系列提供了一个用户友好的界面,通过现代的触摸屏HMI显示,可以控制所有炉子的抽气、气体处理和排气功能,促进其易用性。有多个屏幕用于操作、联锁显示和模仿阀门状态。

人机界面允许用户控制自动降压程序,该程序旨在清除炉膛内的残余氧气,并在内部增加热区的使用寿命,避免发生氧化的可能性。

两个独立的气体输入也可以通过安装在手臂上的人机界面进行控制,并通过针阀手动调节其流量,以满足用户的要求。抽气速度也可以通过安装在真空炉前面的真空速动阀手动调节,从而实现对炉膛压力和气体流量的手动控制。

温度和数据记录是通过欧热Nanodac PID温度控制器/数据记录器控制的,它可以连接到远程PC进行数据分析。提供的软件允许对多步骤的过程循环进行编程,允许简单的重复测试和对程序的简单调整。

完全水冷的真空室和电源馈入装置使真空室的外部保持在环境温度,防止过热,允许长时间的操作。

服务要求

所有的实验室真空炉都需要有电源、冷冻水供应和排放、用于通风的氩气、工艺气体供应和排气管。

规格

  • 总供电功率:6kva,415v 3相
  • 水的连接。- ¾"BSPT螺纹端,用于流动和返回。
  • 最小流量:6升/分钟的水 @ 环境温度
  • 工艺气体入口:¼个带VCR世伟洛克阀的世伟洛克管道
  • 排放口:1/4世伟洛克管线,带VCR世伟洛克阀门。
  • 对于气动装置(如果安装)--60-80磅/平方英寸的压缩空气--6毫米推入式。
  • 用于通风/处理的N2/Ar供应 - <40 psi - ¼" Swagelok接头
  • 抽水口尺寸:2.75" CF - KF25适配器
  • 系统高度(盖子关闭):1140毫米
  • 系统宽度: 1120mm
  • 系统深度:720毫米(从转子流量计旋钮到供水管道测量
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