Experten für Substratheizung

Vakuum-Öfen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Graphit-Vakuumöfen

Graphit-Labor-Vakuumöfen mit Graphit-Tiegeln oder Wafer-Proben-Heizzonen für die thermische Bearbeitung, Wärmebehandlung, Glühen & Vakuumsintern.

Die Labor-Vakuumöfen von Thermic Edge bieten eine Reihe von Graphit-Heißzonen, die für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet sind. Unser mittlerer Standard-Vakuumofen mit einer Tiegelgröße von Ø102 x 51mm hat eine maximale Temperatur von 2100˚c. Wir bieten auch eine alternative tiefere mittlere Heiße Zone mit Ø60,5 x 75mm, eine größere Größe mit Ø150 x 75mm und eine extra große Heiße Zone mit Ø180 x 140mm. Wir bieten auch flache Wafer-Heizzonen für Ø 4", Ø 6" und Ø 8" Probengrößen an

Die zylindrischen Graphitelemente sind äußerst effizient und ermöglichen schnelle Rampen, sind extrem stabil und die Verwendung einer doppelten Heizzone verbessert die Temperaturgleichmäßigkeit eine Abweichung von < +/- 1%.

Merkmale

  • Temperaturen bis zu 2600˚c
  • Basisdruck <5×10 ̄²mBar
  • Automatische Pumpenspülsequenz zur Entfernung von Restsauerstoff
  • Rampenrate ≈ 120˚c/min
  • Verarbeitung im Vakuum & Atmosphärendruck
  • Laptop-PC für vollständige Datenaufzeichnung und mehrstufige programmierbare thermische Prozesssteuerung
  • Von oben beschickbare Ofenkammer
  • Vollständig wassergekühlter Ofen, Kammer und Deckel aus Edelstahl
  • Elektrisch angetriebener Deckel mit Verriegelungssensoren
  • Tiegel- & Wafer- / Flachprobenheizung
  • Einfache und sichere Bedienung mit Vollschutzverriegelung, ideal für Universitäten oder unerfahrene Bediener
  • Vollständig verriegeltes System, das sowohl für den Benutzer als auch für das System Sicherheit bietet
  • Halbautomatische Steuerung über HMI-Touchscreen
  • Farbdisplay kombiniertes Micro-Pirani-/Piezo-Messgerät
  • Leichte DC-Schaltnetzteile (keine sperrigen Transformatoren)
  • DC-Stromversorgung geregelt über Eurotherm Nanodac
  • Hohe Leistung und reaktionsschnelle Steuerung
  • Manuelle Druck- und Gasdurchflussregelung mit automatischem Überdruckablassventil
  • Kompaktes Design, geringes Gewicht und kleine Stellfläche, aber große heiße Zonen

Standardbereich

TIEGELÖFEN

2000°c Medium Labor-Vakuumofen mit Graphit-Heißzonen-Tiegelofen, 5kW DC-Netzteil.
Graphit Hot Zone - Ø60,5 x 75mm ODER Ø102mm x 51mm


2000°c Großer Labor-Vakuum-Ofen mit Graphit-Heißzonen-Tiegelofen, 15kW DC-Netzteil.
Graphit Hot Zone - Ø150 x 75mm


2000°c Extra großer Labor-Vakuumofen mit Graphit-Heißzonen-Tiegelofen, 20kW DC-Netzteil.
Graphit Hot Zone - Ø180 x 140mm

WAFER-MÖBEL

Ø 4" Graphit Hot Zone, 5kW DC-Netzteil

Ø 6" Graphit Hot Zone, 10kW DC-Netzteil

Ø 8" Graphit Hot Zone, 15kW DC-Netzteil

Zusätzliche Optionen

  • Diffusions-Hochvakuumpumpe (Endvakuum 5×10 ̄⁷mBar)
  • Turbopumpe (Ultimatives Vakuum 5×10 ̄⁸mBar)
  • Zusätzliche Prozessgasoptionen
  • Pyrometer - Automatische Umschaltung
  • Kaltwassersatz
  • Thermoelemente der heißen Zone

Wafer Probe Hot Zones

Für das Testen von Wafer-Proben verwenden unsere Labor-Vakuumöfen ein CCC-Element, das in einer heißen Zone aus Graphit eingeschlossen ist, um sowohl einzelne Proben mit großen Durchmessern als auch kleinere Proben, die in einer Suszeptorplatte gehalten werden, zu erhitzen.

Wafer-Probenöfen reichen von 4" bis 8" Ø Probengröße, mit Dual-Zonen-Option bei 8".

Hochtemperatur-Vakuum-Ofen

Der Laborofen 3000˚c hat die gleiche Grundfläche wie der Standardofen, weist aber einige Änderungen auf.

  • Heiße Zone aus Vollgraphit.
  • Über 2100˚c ist eine Verarbeitung in einer inerten Umgebung bei Atmosphärendruck erforderlich.
  • Größere Stromversorgungen erforderlich, die dennoch in einen Standardrahmen passen.
  • Einsatz von Pyrometern zur Hochtemperaturmessung mit automatischer Umschaltung

Systembetrieb und Funktionen

Die Labor-Vakuumöfen von Thermic Edge bieten eine benutzerfreundliche Oberfläche, die ihre einfache Bedienung über ein modernes Touchscreen-HMI-Display fördert, das die Steuerung aller Funktionen für das Abpumpen des Ofens, die Gasverarbeitung und die Entlüftung ermöglicht. Mit mehreren Bildschirmen für den Betrieb, Verriegelungsanzeigen und Mimik mit Ventilzuständen.

Die HMI ermöglicht dem Benutzer die Steuerung der automatischen Abpumpsequenz, die dazu dient, Restsauerstoff aus der Kammer und dem Inneren zu entfernen, um die Lebensdauer der heißen Zone zu verlängern und die Möglichkeit des Auftretens von Oxidation zu vermeiden.

Zwei unabhängige Gaseingänge werden ebenfalls über das am Arm montierte HMI gesteuert, wobei ihre individuellen Durchflüsse manuell über Nadelventile an die Anforderungen des Benutzers angepasst werden. Die Pumpendrehzahlen werden auch manuell über ein Vakuum-Speedi-Ventil geregelt, das an der Vorderseite des Vakuumofens montiert ist und eine manuelle Steuerung des Kammerdrucks und der Gasflussraten ermöglicht.

Temperatur und Datenaufzeichnung werden über einen Eurotherm Nanodac PID-Temperaturregler / Datenlogger geregelt, der zur Datenanalyse an einen entfernten PC angeschlossen werden kann. Mit der mitgelieferten Software können mehrstufige Prozesszyklen programmiert werden, die eine einfache Wiederholungsprüfung und eine einfache Anpassung der Programme ermöglichen.

Die vollständig wassergekühlte Vakuumkammer und die Stromdurchführungen halten die Außenseite der Kammer auf Umgebungstemperatur und verhindern eine Überhitzung, so dass ein längerer Betrieb möglich ist.

Serviceanforderungen

Alle Labor-Vakuumöfen benötigen eine elektrische Versorgung, Kaltwasserzufuhr und -abfluss, Argon-Gas zur Entlüftung, Prozessgasversorgung und Abgasleitung.

Spezifikationen

  • Gesamtversorgungsleistung : 6kva, 415v 3 Phasen
  • Wasseranschlüsse: - ¾" BSPT-Gewinde an Vor- und Rücklauf.
  • Durchflussmenge min: 6 Liter / min Wasser bei Umgebungstemperatur
  • Prozessgaseinlass: ¼ Swagelok-Leitung mit VCR-Swagelok-Ventil
  • Entlüftungseingang: ¼ Swagelok-Leitung mit VCR Swagelok-Ventil.
  • Für Pneumatik (falls vorhanden) - 60 - 80 psi. Druckluft - 6mm Steckanschluss.
  • N2/Ar-Versorgung für Entlüftung/Verarbeitung - <40 psi - ¼" Swagelok-Verschraubung
  • Größe des Pumpenanschlusses: 2,75" CF - Adapter KF25
  • Systemhöhe (Deckel geschlossen): 1140mm
  • Systembreite: 1120mm
  • Systemtiefe: 720mm (Gemessen von den Rotameterknöpfen bis zu den Wasserzuleitungen
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Kontakt

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