Experten für Substratheizung

Vakuum-Öfen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Vakuumofen Zusätzliche Optionen und Anpassungen

Benutzerdefinierte Hot Zones & Kammern

Alle unsere Vakuumöfen sind individuell anpassbar, sodass wir auf die Bedürfnisse unserer Kunden und ihre genauen Anforderungen eingehen können. Wir können dies tun, indem wir die heißen Zonen unserer Standardgrößen so anpassen, dass sie zwei heiße Zonen enthalten oder eine Probe einer bestimmten Größe aufnehmen können. Wir können auch die wassergekühlte Kammer anpassen, indem wir Anschlüsse für zusätzliche Datenanalyse in Form von zusätzlichen Thermoelementen für die heiße Zone, internen Tiegelthermoelementen, Restgasanalysatoren (RGAs), Pyrometern und mehr hinzufügen.

Vakuumpumpe (Abpumpoptionen)

Der Standard-Laborvakuumofen ist mit einer Edwards RV8-Vakuumpumpe ausgestattet, die es ermöglicht, das System bis zu einem Grobvakuum von 5×10 ̄²mBar bei gutem Zustand abzupumpen.

Für Systeme, die ein höheres Vakuum benötigen, haben wir zwei der folgenden Optionen:

Option 1

  • Öl-Diffusion
  • Kühlfalle
  • Pneumatisch angetriebene Absperrklappe
  • Hochdruck, Farbdisplay, Vakuummeter mit automatischer Pumpenumschaltung des Sollwertes
  • Enddruck 5×10 ̄⁷mBar

Option 2

  • Turbo-Pumpe
  • Automatisch gesteuerte Faltenbalgventile
  • Hochdruck-Farbdisplay-Vakuummeter mit automatischer Pumpenumschaltung des Sollwerts
  • Enddruck 5×10 ̄⁸mBar

Optionen für die Gasversorgung

Unser Standard-Vakuum-Laborofen bietet zwei Gaszuführungen in die Kammer, die die Verwendung eines Entlüftungsgases, in die Oberseite der Kammer, sowie eines Prozessgases, das direkt in die heiße Zone geleitet wird, ermöglichen. Beide Gasströme werden manuell mit Durchflussmessern gesteuert, die an der Vorderseite der Kammer montiert sind. Typischerweise wird Argon für das Abpumpverfahren und die Entlüftung verwendet, während andere Gase für die Verarbeitung eingesetzt werden können. Unser Benchtop-Ofen verwendet einen einzigen Gaseingang in die heiße Zone, der sowohl als Entlüftungsgas als auch als Prozessgas dient, wobei der Durchfluss ebenfalls manuell gesteuert wird.

Um eine Vielzahl von Gasen in die "Prozessgas"-Leitung des Laborvakuumofens und die Einzelversorgung am Tischofen zu ermöglichen, bieten wir eine Gasversorgungsbox an, an die mehrere Gase angeschlossen werden können, während nur ein einziges Gas in die Rückseite des Ofens geleitet wird. Die Gasversorgungsbox verwendet weiterhin die manuelle Durchflussregelung an jedem Ofen und ermöglicht es dem Benutzer, während des Heizprozesses zwischen verschiedenen Prozessgasen umzuschalten - alles gesteuert über den HMI-Touchscreen.

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Kontakt

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