Experten für Substratheizung

Elemente

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Spitze der Vakuumheizungsindustrie zu stehen. Unsere maßgeschneiderten, vielseitigen Baureihen bieten einen kompletten Service und geben Ihnen die notwendigen Werkzeuge für jede Anwendung.

Elemente Übersicht

Um den Bedürfnissen unserer Kunden gerecht zu werden, bietet Thermic Edge eine große Auswahl an Widerstandsheizelementen für Hochtemperaturheizungen an. Diese Elemente sind verfügbar, um von unseren Standarddesigns gekauft zu werden oder maßgeschneiderte Designs zu produzieren, um Ihren spezifischen Anforderungen zu entsprechen.

Wenn Sie Hilfe bei der Auswahl benötigen oder Ihre Anforderungen besprechen möchten, nehmen Sie bitte Kontakt mit uns auf, wir helfen Ihnen gerne weiter.

Element Typ Masse Luft Inerte Gasumgebung Korrosive Umgebung Hochvakuum Ultrahochvakuum
Graphit-Elemente Niedrig Nicht geeignet 2100°C Ja 2100°C 1600°C
SiC-beschichtete Elemente Niedrig 1500°C 1600°C Ja 1500°C 1200°C
PG-PBN-Elemente Niedrig 500°C 1500°C Ja 1300°C 1100°C

Elemente im Keramikgehäuse

Thermic Edge bietet für jedes Element die Option, ein keramisches Isoliergehäuse für das Element zu verwenden. Dies bietet sowohl Schutz als auch elektrische Isolierung für Widerstandselemente, wenn diese in das System des Kunden integriert werden. Dies ist von besonderem Nutzen, wenn der Platz im Prozess des Kunden begrenzt ist oder wenn die Beheizung in zwei Richtungen über und unter dem Element erforderlich ist.

Das Gehäuse wird passend zum Element aus Keramik gefertigt, das unter Berücksichtigung der Umgebung, des Vakuumniveaus, der maximalen Temperatur und der erforderlichen Rampenrate auf den Prozess des Kunden abgestimmt ist.

Graphit-Elemente

Element TypMasseLuftInerte UmgebungKorrosive UmgebungHochvakuumUltrahochvakuum
GraphitNiedrigNicht geeignet2100°CJa2100°C1600°C

Graphit mit hoher Dichte ist ideal für Vakuum-Heizelemente.

Die Graphitelemente sind hochgradig inert, und das Material nimmt mit zunehmender Hitze tatsächlich an Festigkeit zu. Ein weiteres Merkmal des Materials ist, dass es einen niedrigen Ausdehnungskoeffizienten hat und gegen Degradation durch ständige Wärmezyklen resistent ist, daher hat es in dieser Hinsicht eine gute Lebensdauer und eine relativ schnelle Rampenrate.

Die Elemente werden aus Blöcken von hochreinem Graphit hergestellt. Mit der richtigen Materialauswahl kann der Graphit in detaillierte Formen für Einzelstücke oder Kleinserien bearbeitet werden. Wenn Sie Ihre Anforderung nicht in den unten aufgeführten Lagerartikeln oder in der Galerie finden, nehmen Sie bitte Kontakt mit uns auf, um Ihre Anforderung weiter zu besprechen. Die Entwürfe können 3D sein, um einen röhrenförmigen Heizer oder eine flache Form zu produzieren.

Alternativ können wir auch Elemente entwerfen oder nach vorhandenen Zeichnungen arbeiten. Thermic Edge kann mit Siliziumkarbid beschichtete Elemente oder eine Titankarbidbeschichtung liefern, um diese Elemente in Bezug auf Reinheit und die Verwendung von Graphit in Luft weiter zu verbessern.

Siliziumkarbid-Elemente

Element TypMasseLuftInerte UmgebungKorrosive UmgebungHochvakuumUltrahochvakuum
SiC-beschichteter GraphitNiedrig1600°C1600°CJa1600°C1100°C

Thermic Edge hat eine Reihe von standardmäßig mit Siliziumkarbid (SiC) beschichteten Graphitelementen entwickelt, die eine kostengünstige Lösung für Hochtemperaturheizungen in O2 und korrosiven Umgebungen darstellen. Die SiC-Beschichtung ist für den Einsatz in Sauerstoffumgebungen bis zu 1600°C und im Hochvakuum bis zu 1000°C geeignet. Die SiC-Beschichtung ist voll kompatibel mit Wasserstoff- und Inertgasumgebungen.

Die Graphitelemente sind einfach zu montieren, mit zwei M14-Gewindeabschnitten, die eine Zugentlastung des Hauptelements ermöglichen. Eine M5-Innengewindebohrung ist an jedem Leistungsschenkel vorhanden, um den Anschluss an die kundenseitige Stromquelle über Ringkabelschuhe oder Stromschienen zu ermöglichen. Der elektrische Anschluss erfolgt an der Basis des Elements gegen freiliegenden Graphit, der außerhalb der heißen Zone des Elements gehalten wird, wodurch das Risiko einer Reaktion zwischen dem Stromanschluss und dem freiliegenden Graphit ausgeschlossen wird.

Thermic Edge ist auch in der Lage, kundenspezifische SiC-beschichtete Elemente anzubieten, die zu bestehenden Systemen passen. Für weitere Informationen oder um eine Anforderung zu besprechen, wenden Sie sich bitte an unser Vertriebsteam, das Sie bei der Identifizierung einer geeigneten Lösung unterstützen kann.

Thermic Edge bietet eine Reihe von Standard-PB/PBN-Heizungen sowie kundenspezifische Größen/Designs an.

SILIZIUMKARBID-BESCHICHTETES GRAPHITELEMENT FLACH

Element RefVerfügbarkeitHot Zone Größen (mm Durchmesser)Größe (mm)Höhe (mm)Abstand der Anschlusspunkte (mm)Geschätzte Leistung für geschirmtes Element bei 1000°C (Watt)
GS-FC-1.1Zum Bestellen25,4 mm30.02.127.9200
GS-FC-2.1Zum Bestellen50,8mm67.02.168.4900
GS-FC-3.1Zum Bestellen76,2mm95.02.192.51700
GS-FC-4.1Zum Bestellen101,6 mm134.43.1130.73500
GS-FC-5.1Zum Bestellen127,0mm150.23.1146.84200
GS-FC-6.1Zum Bestellen152,4 mm166.03.1162.95100
GS-FC-7.1Zum Bestellen177,8 mm193.03.1176.26900
GS-FC-8.1Zum Bestellen203,2 mm220.03.1189.49000

SILIZIUMKARBID-BESCHICHTETE GRAPHIT-ELEMENT-BAUGRUPPE

Element RefVerfügbarkeitGrößen der heißen Zone (mm Durchmesser)Größe (mm)Höhe (mm)Abstand der Anschlusspunkte (mm)Geschätzte Leistung für geschirmtes Element bei 1000°C (Watt)
GS-AC-1.1Zum Bestellen25,4 mm30.037.527.9200
GS-AC-2.1Lagerbestand50,8mm67.037.568.4850
GS-AC-3.1Lagerbestand76,2mm95.037.592.51700
GS-AC-4.1Zum Bestellen101,6 mm134.438.5130.73500
GS-AC-5.1Zum Bestellen127,0mm150.238.5146.84200
GS-AC-6.1Lager152,4 mm166.038.5162.95100
GS-AC-7.1Zum Bestellen177,8 mm193.038.5176.27000
GS-AC-8.1Zum Bestellen203,2 mm220.038.518948800

 

pBN-PG-PBN Elemente

Element TypMasseLuftGas UmgebungKorrosive UmgebungHochvakuumUltra-Hochvakuum
PG PBNNiedrig500°C1500°CJa1600°C1200°C

CVD-PG/PBN-Heizer können bis zu einer maximalen Temperatur von 1500 °C betrieben werden, mit sehr schnellen Rampenraten, geringer Masse und chemisch sehr inert gegenüber korrosiven Gasen und Flüssigkeiten und können den meisten geschmolzenen Metallen standhalten. Diese Heizer sind außerdem thermisch schockbeständig, mechanisch langlebig und haben eine sehr hohe Leistungsdichte von bis zu 35 Watt/cm² (225 Watt/in²). Die schichtweise CVD-Pyrolyse-Struktur verleiht dem PG/PBN-Element außerdem eine sehr hohe thermische Gleichmäßigkeit, und zwar auf der PBN-Substratseite (gegenüber der Elementbahn). Proben können direkt auf der Elementoberfläche platziert werden.

Geeignet für den Einsatz im UHV, Hochvakuum oder an Luft (PBN bis 900C, exponierte PG-Powerpads bis 500C) und geeignet für Abscheideprozesse.

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Kontakt

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