Thermic Edge-Heizstufen

Thermic Edge bietet ein komplettes Sortiment an Heizelementen für alle Anwendungen von Depositionssystemen. Ein wichtiges Merkmal, das Thermic Edge bei unseren Heizstufen anbietet, ist die Wasserkühlung, die viele Vorteile hat, darunter:

• Integration mit Kundensystemen
• Definierte Druck- und Durchflussraten zur Sicherstellung einer ausreichenden Kühlung
• Einsatz bei allen Heizertypen einschließlich rotierender Heizköpfe
• Verwendung mit Probenvorspannung
• Kühldurchführung zur Ermöglichung höherer Ströme
• Verringerung der Wärmebelastung der Kammer und anderer Geräte

Wassergekühlte Heizelemente können in beliebiger Ausrichtung montiert und mit unserer gesamten Palette an Manipulatoren und Vorspannsystemen verwendet werden. Thermic Edge liefert bei Bedarf auch Kühler mit unseren wassergekühlten Stufen.

Wenn eine schnelle Abkühlung der Proben erforderlich ist, bietet Thermic Edge eine Gaskühloption. Inertes Gas strömt über die Probe, um sie schnell abzukühlen und die Prozesszeit zu verkürzen. Wir arbeiten mit dem Kunden zusammen, um geeignete Ventile und Fittings für Ihre Anwendung bereitzustellen.

Die Diagramme zeigen aktuelle Daten für eine Thermic Edge Heizstufe mit Gaskühlung. Die rote Linie zeigt das Profil der Stufenkühlung ohne Gasdurchfluss. Die blaue Linie zeigt das gasgekühlte Profil. Es dauert 4 Minuten und 10 Sekunden, bis das Heizgerät eine sichere Entlüftungstemperatur (300°C für diese Stufe) erreicht, wenn Gas strömt. Ohne Gasdurchfluss dauert es fast 20 Minuten.