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Experten für Substratheizung

Vakuum-Heizungen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Halogenlampen-Heizungen

FEATURES

Berührungslose Substratheizung

  • 900°C Probentemperatur
  • Integriertes Thermoelement Typ K
  • Kann in beliebiger Ausrichtung montiert werden
  • Standardgrößen Ø2", Ø3" und Ø4"
  • Für den Einsatz im Hochvakuum, in inerter Atmosphäre oder Luft
  • Speziell entwickelt für einen einfachen Zugang zu den Glühlampen durch Entfernen der äußeren Abschirmung
  • Kundenspezifische Formen und Größen auf Anfrage erhältlich
  • Sauerstoff-kompatibel
  • Sehr schnelle Heiz-/Kühlrampe durch geringe Masse wie unten rechts
  • Optionale Upgrades: drehbarer Wafer, z-Shift, RF DC Bias und wassergekühltes Gehäuse.

Unser Auftrag

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Spitze der Vakuum-Heiztechnologie-Industrie zu stehen. Wir bieten einen kompletten Service, unsere maßgeschneiderten und vielseitigen Produktreihen geben Ihnen die notwendigen Werkzeuge für jede Inert-, HV- oder UHV-Anwendung.

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