Experten für Substratheizung

Vakuum-Öfen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Benchtop-Vakuumöfen

Der 2000˚c-Benchtop-Vakuumofen bietet eine leistungsstarke und kostengünstige Lösung für die Erwärmung kleinerer Probengrößen. Unser Standard-Tischvakuumofen heizt einen Probenwafer oder einen Tiegel auf bis zu 2000˚c. Als besondere Option bieten wir auch eine 3000 ˚c-Version an.

Thermic Edge liefert eine Reihe von Benchtop-Öfen für den Einsatz in kleineren Laboratorien für den Einsatz auf kleine Probe Prüfung, thermische Verarbeitung, Vakuum-Sintern und Wärmebehandlung in einer extrem hohen Reinheit und saubere Umgebung.

Das Benchtop bietet eine kleine Stellfläche, ein geringes Gewicht und eine einfache Ein-Tasten-Bedienung über ein HMI-Touchscreen-Display mit integrierter Stromversorgung, Rotationspumpe und manueller Durchflussregelung. Die Temperaturregelung und Datenaufzeichnung erfolgt über einen Eurotherm Nanodac-Regler mit Option für PC-Fernsteuerung und Datenanalyse.

Merkmale

  • Temperaturen bis zu 2000˚c
  • Rampenrate ≈ 100˚c/min
  • Basisdruck <5×10 ̄²mBar
  • Automatische Pumpenspülsequenz zur Entfernung von Restsauerstoff
  • Rampenrate ≈ 60˚c/min (Kann mit größerer Spannungsversorgung schneller sein)
  • Verarbeitung im Vakuum & Atmosphärendruck
  • Von oben beschickbare Ofenkammer
  • Vollständig wassergekühlter Ofen, Kammer und Deckel aus Edelstahl
  • Elektrisch angetriebener Deckel mit Verriegelungssensoren
  • Tiegel- & Wafer- / Flachprobenheizung
  • Einfache und sichere Bedienung mit Vollschutzverriegelung, ideal für Universitäten oder unerfahrene Bediener
  • Vollständig verriegeltes System, das sowohl für den Benutzer als auch für das System Sicherheit bietet
  • Halbautomatische Steuerung über HMI-Touchscreen
  • Leichte DC-Schaltnetzteile (keine sperrigen Transformatoren)
  • DC-Stromversorgung geregelt über Eurotherm Nanodac
  • Hohe Leistung und reaktionsschnelle Steuerung
  • Manuelle Druck- und Gasdurchflussregelung mit automatischem Überdruckablassventil
  • Kompaktes Design, geringes Gewicht und kleine Stellfläche
    Optionen

Standardbereich

KRAFTWERKSTOFFMÖBEL

2000˚c Graphit-Tiegelofen 1,5kW DC-Netzteil - Ø20 x 30mm, Ø30 x 40mm, Ø40 x 50mm

3000˚c Graphit-Tiegelofen 6kW DC-Netzteil - Ø20 x 30mm, Ø30 x 40mm, Ø40 x 50mm

3000˚c TiCᶾ Tiegelofen 6kW DC PSU - Ø20 x 30mm, Ø30 x 40mm, Ø40 x 50mm

WAFER-MÖBEL

2000˚c Graphit-Wafer-Ofen 1,5kW DC-Netzteil - 1", 2" & 3"

2000˚c Wolfram-Wafer-Ofen 1,5kW DC-Netzteil - 1", 2" & 3"

Zusätzliche Optionen

  • Turbopumpe (Ultimatives Vakuum 5×10 ̄⁸mBar)
  • Zusätzliche Prozessgasoptionen
  • 3000˚c TiC-beschichteter Graphit heiße Zone
  • Laptop-PC für vollständige Datenaufzeichnung und mehrstufige programmierbare thermische Prozesssteuerung
  • Pyrometer - Automatische Umschaltung
  • Kaltwassersatz
  • Thermoelemente der heißen Zone
  • Sauerstoffverträglich bis 1400c mit SiC-beschichteter Graphit-Heißzone und Aluminiumoxid-Isolierung

Gasaufbereitung

Der Benchtop-Ofen bietet Flexibilität bei den Prozessgasoptionen durch die Verwendung der Gasversorgungsbox, an die mehrere Gase angeschlossen werden können, während nur ein einziges Gas in die Rückseite des Ofens geleitet wird. Die Kammer hat eine einzige Gaszufuhr in die heiße Zone mit einer manuellen Durchflussregelung, aber mit der Gaszufuhrbox kann der Benutzer während des Heizprozesses zwischen verschiedenen Prozessgasen umschalten, die alle über den HMI-Touchscreen gesteuert werden.

Serviceanforderungen

Alle Benchtop-Laborvakuumöfen benötigen eine elektrische Versorgung, Kaltwasserzufuhr und -abfluss, Argon-Gas zur Entlüftung, Prozessgaszufuhr und Abgasleitung.

Spezifikationen

  • Gesamtversorgungsleistung : 2,0kva, 220v einphasig 13A
  • Wasseranschlüsse: - ¾" BSPT-Gewinde an Vor- und Rücklauf.
  • Durchflussmenge min: 6 Liter / min Wasser bei Umgebungstemperatur
  • Prozessgaseinlass: ¼ Swagelok-Leitung mit VCR-Swagelok-Ventil
  • Entlüftungseingang: ¼ Swagelok-Leitung mit VCR Swagelok-Ventil.
  • Für Pneumatik (falls vorhanden) - 60 - 80 psi. Druckluft - 6mm Steckanschluss.
  • N2/Ar-Versorgung für Entlüftung/Verarbeitung - <40 psi - ¼" Swagelok-Verschraubung
  • Größe des Pumpenanschlusses: 2,75" CF - Adapter KF25
de_DEDeutsch

Kontakt

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