Experten für Substratheizung

Vakuum-Heizungen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Hohe Temperatur - hohe Gleichmäßigkeit - wassergekühlte Heizelemente

Auf dieser Seite finden Sie Informationen zu unseren Standard-Heizlösungen, die wir zusätzlich zu unseren Heizgeräten der Serien Versatile und Button anbieten. Dazu gehören:

  • 1000°C Graphit oder Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundwerkstoff (CCC) inertes und vakuumtaugliches keramisches Spitzenheizgerät
  • 1300°C, hohe Gleichmäßigkeit SiC3-beschichteter Graphit, inert, luft- und vakuumtauglich, keramikgekrönte Substratheizung
  • 1700°C CCC inerter und vakuumtauglicher keramischer Spitzenheizer (wassergekühlt)
  • 1900°C Alle Graphitheizungen sind inert und vakuumtauglich

Jede dieser Heizungen kann mit unseren Stufen integriert werden, um zu liefern:

  • Drehbarer Wafer
  • Z-Verschiebung
  • RF- oder DC-Vorspannung bis zu 1000W
  • Wasser- oder Gaskühlung

1000°c - sIc3 cOATED GRAPHITE OR ccc (iNERT & vACUUM)

FEATURES

  • Die Temperatur der oberen Platte beträgt 1000C, die Temperatur des Elements etwa 1200C.
  • Für den Einsatz in Hochvakuum, UHV, inerter Atmosphäre & O2-Umgebungen.
  • Kundenspezifische Größen sind auf Anfrage erhältlich.
  • Schnelle Rampenraten
  • Heizgerät mit interner Wärmeabschirmung
  • Der Heizsockel ist wassergekühlt, was die Wärmebelastung der Kammer und der empfindlichen Geräte reduziert.
  • Das Heizelement ist mit einem keramischen Mantelthermoelement vom Typ K ausgestattet.
  • Kann an Linear- und Drehantrieb oder in beliebiger Ausrichtung montiert werden.
  • Der Heizer kann freistehend oder angeflanscht sein.
  • Wasser-, Strom- und Thermoelementanschlüsse können an der Rückseite oder an der Seite des Heizsockels austreten.
  • Ø1" Heizelement passt durch den NW38CF-Flansch, vollständig montiert (mittleres Bild oben)

Produkt-Broschüren

200.06-A - 1000°C CCC-Element-Heizkopf Nur

Klicken Sie hier, um unsere Produktbroschüre für den Thermic Edge 1000°C Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundwerkstoff-Heizkörper (nur Kopf) herunterzuladen.

200.07-B - 1000°C CCC-Element-Heizung Flanschmontage

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SPEZIFIKATIONEN

1000°C SiC3-Element - Luft, O2, Inert, HV, UHV Nur Heizkopf
Teil-Nr.ØA - Heiße ZoneØB - Heizkörper o.d.C - Dicke des HeizelementsMontage*Spannung Max*Strom Max*Leistung Max
HTWM6-SiC-0126mm (1")36,6 mm52mmM6-Bolzen6v39a234w
HTWM6-SiC-01.538,1 mm (1,5")48,7 mm52mmM6-Bolzen10v39a390w
HTWM6-SiC-0250,8 mm (2")61,4mm52mmM6-Bolzen15v39a585w
1000°C CCC-Element - Nur Inert-, HV-, UHV-Heizkopf
Teil-Nr.ØA - Heiße ZoneØB - Heizkörper o.d.C - Dicke des HeizelementsMontage*Spannung Max*Strom Max*Leistung Max
HTWM6-CCC-0126mm (1")36,6 mm52mmM6-Bolzen6v39a234w
HTWM6-CCC-01.538,1 mm (1,5")48,7 mm52mmM6-Bolzen10v39a390w
HTWM6-CCC-0250,8 mm (2")61,4mm52mmM6-Bolzen15v39a585w

*Im Vakuum @ 1000°C (Elementtemp.)

1300°C Hohe Gleichmäßigkeit SiC3-beschichtete Graphit-Substratheizungen (Inert, Luft, Vakuum)

Unsere sauerstoffbeständigen Heizelemente für hohe Temperaturen verwenden massives Siliziumkarbid (SiC) oder SiC-beschichtete Graphitelemente

FEATURES

  • Die Temperatur der oberen Platte beträgt 1300C, die Temperatur des Elements ca. 1500C.
  • Hohe Temperaturgleichmäßigkeit von <2% auf der oberen Platte.
  • Schnelle Rampenraten, bis zu 1300C pro Minute (abhängig von der verwendeten Stromversorgung)
  • 1300°C Temperatur der keramischen Deckplatte (1500°C Elementtemperatur)
  • Kann kurzzeitig auf 1600C gedrückt werden
  • Begrenzt auf 1000°C obere Plattentemperatur im Hochvakuum
  • Temperaturgleichmäßigkeit ±1,0%
  • Integriertes Thermoelement (Typ abhängig von Einsatztemperatur und Umgebung)
  • Getestet mit mehreren Thermoelementen und FLIR Wärmebildkamera
  • Kann in beliebiger Ausrichtung montiert werden
  • Probe kann direkt auf die Keramikplatte des Heizers gelegt werden
  • Bestimmte Proben können direkt auf das Element gelegt werden
  • Standardgrößen von Ø1" bis Ø8"
  • Für den Einsatz in Hochvakuum, inerter Atmosphäre und O2 / Luft
  • Kundenspezifische Formen und Größen auf Anfrage erhältlich
  • Wasserkühlung als Standard
  • Normalerweise auf einem Basisflansch mit integrierten Strom- und Wasserkühldurchführungen montiert, kann aber auch kundenspezifisch gestaltet werden

Produkt-Broschüren

200.06-A - 1000°C CCC-Element-Heizkopf Nur

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200.07-B - 1000°C CCC-Element-Heizung Flanschmontage

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SPEZIFIKATIONEN

Teil-Nr.Ø WafergrößeØA - Heiße ZoneØB - Heizkörper o.d.C - Dicke des Heizelements*Spannung Max*Strom Max*Leistung Max
HTSW-CCC-0377mm (3")901494260251500
HTSW-CCC-04102mm (4")1161754260402400
HTSW-CCC-05128mm (5")1412004260603600
HTSW-CCC-06153mm (6")1662254260804800
HTSW-CCC-07179mm (7")19225142601106600
HTSW-CCC-08204mm (8")21827742601408400

*Im Vakuum @ 1200°C



1700°C Keramik im Vakuum Heizer mit SiC3 beschichtetem Graphit oder Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundstoff (CCC) Substrat Heizer Inert und Vakuum

Unsere höchsten Standard-Heizungen arbeiten mit einer Temperatur der oberen Platte von 1700°C. Die Größe des Heizers kann je nach Bedarf erhöht werden. 

FEATURES

  • 1700°C Temperatur der keramischen Deckplatte
  • Integriertes Thermoelement Typ C
  • Kann in beliebiger Ausrichtung montiert werden
  • Die abgebildete Ø1"-Version ist CF40-geflanscht und passt komplett montiert durch einen Ø38mm-Anschluss
  • Wassergekühlte Durchführungen und Gehäuse als Standard
  • Erhitzt die obere Platte in 3 Minuten auf 1700 °C und benötigt 530 W zum Halten der Temperatur
  • Probe kann direkt auf die Keramikplatte des Heizers gelegt werden
  • Standardgrößen von Ø1" bis Ø6"
  • Für den Einsatz im Hochvakuum oder in inerter Atmosphäre
  • Kundenspezifische Formen und Größen auf Anfrage erhältlich
  • Normalerweise auf einem Basisflansch mit integrierten Strom- und Wasserkühldurchführungen montiert, kann aber auch kundenspezifisch angepasst werden

Produkt-Broschüren

200.11-A - 1700°C Heizer mit CCC-Element und wassergekühltem Gehäuse

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SPEZIFIKATIONEN

1700°C - Inert, HV, UHV - Erhitzerkopf wassergekühlt
Teil-Nr.ØA - Heiße ZoneØB - Heizkörper o.d.C - Dicke des HeizelementsMontageSpannung MaxStrom MaxLeistung Max
HTWM6-CCC-0126mm (1")36,6 mm52mmM6-Bolzen17 Volt33 Ampere561 Watt
HTWM6-CCC-01.538,1 mm (1,5")48,7 mm52mmM6-Bolzen40 Spannungen30 Ampere1200 Watt
HTWM6-CCC-0250,8 mm (2")61,4mm52mmM6-Bolzen60 Volt35 Ampere2100 Watt

*Im Vakuum @ 1900°C (Elementtemp.)

1700°C - Inert, HV, UHV - Erhitzerkopf wassergekühlt
Teil-Nr.Ø WafergrößeØA - Heiße ZoneØB - Heizkörper o.d.C - Dicke des HeizelementsSpannung MaxStrom MaxLeistung Max
HTSW-CCC-0377mm (3")901494260251500
HTSW-CCC-04102mm (4")1161754260402400
HTSW-CCC-05128mm (5")1412004260603600
HTSW-CCC-06153mm (6")1662254260804800
HTSW-CCC-07179mm (7")19225142601106600
HTSW-CCC-08204mm (8")21827742601408400

*Im Vakuum @ 1200°C

Vollgraphitgekühltes oder ungekühltes Heizgerät mit Graphit- oder Keramik-Abdeckplatte und CCC-Element

Das fortschrittliche Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundelement und die technische Keramik mit hoher Wärmeleitfähigkeit sowie Graphitqualitäten ermöglichen Top-Plate-Temperaturen von bis zu 1900°C mit einer sehr schnellen Rampenrate.

FEATURES

  • 1700°C Temperatur der keramischen Deckplatte
  • Integriertes Thermoelement Typ C
  • Kann in beliebiger Ausrichtung montiert werden
  • Die abgebildete Ø1"-Version ist CF40-geflanscht und passt komplett montiert durch einen Ø38mm-Anschluss
  • Wassergekühlte Durchführungen und Gehäuse als Standard
  • Erhitzt die obere Platte in 3 Minuten auf 1700 °C und benötigt 530 W zum Halten der Temperatur
  • Probe kann direkt auf die Keramikplatte des Heizers gelegt werden
  • Standardgrößen von Ø1" bis Ø6"
  • Für den Einsatz im Hochvakuum oder in inerter Atmosphäre
  • Kundenspezifische Formen und Größen auf Anfrage erhältlich
  • Normalerweise auf einem Basisflansch mit integrierten Strom- und Wasserkühldurchführungen montiert, kann aber auch kundenspezifisch angepasst werden

Alle Heizungen werden mit Stromkabeln und internen Thermoelementen geliefert und können mit Netzteilen und Reglern geliefert werden.

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Kontakt

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