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Experten für Substratheizung

Keramiken

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Bornitrid- & Aluminiumnitrid-Keramik

Bornitrid ist ein Werkstoff für Hochtemperaturanwendungen mit hervorragender Wärmeleitfähigkeit, hohem elektrischen Widerstand und geringer Wärmeausdehnung. Je nach gewünschter Anwendung werden sie als Präzisionsbauteile, Beschichtungen, Pulver und Schmiermittelzusätze in verschiedenen Hochtemperaturanwendungen und zahlreichen Branchen eingesetzt: Halbleiter, LED, Photovoltaik, Vakuumöfen, Zerstäubung, Horizontalgießen. PVD, Plasmaanlagen, Sintern und Pulvermetallurgie, Schmiermittel und Aluminiumguss.

 

BN50 

BN100 

BN200

BN300 

BNS26 

BNS40 

ZBN1000 

ABN1000 

PBN 

Macor 

kristalline Phase 

Sechseckig BN 

Sechseckig BN 

Sechskant BN 99% 

Sechskant BN> 99% 

BN-60% SiO2-40% 

BN-40% SiO2 60% 

BN-45% ZrO2-45% 

BN-72% Aln-23% Yttriumoxid-5% 

N / A 

N / A 

Bindemittelphase / Bindemitteltyp 

Bor-Oxid 

Calciumborat 

Bor-Oxid 

Selbstklebend 

SiO2 

SiO2 

Borosilikate 

n / A 

CVD-Verfahren 

Glimmerflocken 

Farbe 

Weiß 

Weiß 

Weiß 

Weiß 

Weiß 

Weiß 

Gray 

Gray 

Creme 

weiß 

Typische Anwendungen 

Allgemeiner Zweck 

Hervorragende Feuchtigkeitsbeständigkeit, Feuerfestigkeit, Durchschlagfestigkeit 

Hohe Temperatur und Reinheit. Durchschlagfestigkeit, geringe Ausdehnung, hohe Wärmeleitfähigkeit 

Extreme Korrosionsbeständigkeit, hohe Reinheitstemperatur, Wärmeleitfähigkeit 

Extreme Wärmeleitfähigkeit, Feuchtigkeitsbeständigkeit, Durchschlagfestigkeit 

Extreme Wärmeleitfähigkeit, Feuchtigkeitsbeständigkeit, Durchschlagfestigkeit 

Extreme Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit bei Anwendungen mit geschmolzenem Metall 

Extrem hohe Wärmeleitfähigkeit und Biegefestigkeit vergleichbar mit Aluminiumoxid 

Anspruchsvolle Anwendungen, bei denen es auf höchste Reinheit und Temperatur ankommt, wie z. B. MBE 

Geringe Wärmeleitfähigkeit, Strahlungsbeständigkeit, kann auch metallisiert werden 

Richtungsabhängigkeit  

Parallel / Senkrecht 

Parallel / Senkrecht 

Parallel / Senkrecht 

Parallel / Senkrecht 

Parallel / Senkrecht 

Parallel / Senkrecht 

Parallel / Senkrecht 

Parallel / Senkrecht 

Richtung A&C 

n / A 

 

BN50 

BN100 

BN200

BN300 

BNS26 

BNS40 

ZBN1000 

ABN10000 

PBN 

Macor 

Biegefestigkeit 

94/65 

59/45 

14/30 

22/21 

62/34 

103/76 

144/107 

300 

27500 PSI 

n / A 

Elastizitätsmodul 

47/74 

40/60 

n / A 

17/71 

N / A 

94/106 

71/71 

34.1 / 75.20 

n / A 

66,9 gpa 

RT-Kompression 

143/186 

96 

n / A 

25. 

N / A 

317/289 

218/253 

1070 

37000 A Richtung 48.000 C Richtung Einheiten PSI 

345 mpa 

Offene Porosität 

2.84 

N / A 

15. 

19.3 

6.7 

6.88 

1,066 

0 

0 

0 

Dichte (g / cc mm2) 

2 

2 

1.9 

1.9 

2.1 

2.3 

2.9 

2.9 

1.95 – 2.19 

2.52 

Härte Knoop (KG / mm2) 

20. 

16 

5 

4. 

N / A 

N / A 

100 

342 

n / A 

250 Knöpfe 

 

BN50 

BN100 

BN200

BN300 

BNS26 

BNS40 

ZBN1000 

ABN10000 

PBN 

Macor 

Wärmeleitfähigkeit @ 25 deg CW / mK 

30/34 

27/29 

21 

78/130 

12/29

12/14

24/34 

92.6 

0,25 "A" / 0,004 "C" 

1.46 

Koeffizient Wärmeausdehnung (10-6) 

          

25-400 C. 

3/3 

0.6 / 0.4  

n / A 

-2.3 / -0.7 

3.0 / 0.4 

1.5 / 0.2  

4.1 / 3.4 

n / A 

n / A 

93 x 10-7 

400-800 C. 

2 / 1.4 

1.1 / 0.8 

n / A 

-2.5 / 1.1 

2.5 / 0.1 

1.2 / 0.4 

5.6 / 4.3 

n / A 

0,001 "A" / 0,013 "C" 

n / A 

800 - 1200 C 

1.9 / 1.8 

1.5 / 0.9 

5.5 / 1 

1.6 / 0.4 

3.0 / 0.1 

1.2 / 0.4 

7.2 / 5.2 

n / A 

n / A 

n / A 

1200-1600 C. 

5 / 4.8 

2.8 / 2.7 

n / A 

0.9 / 0.3 

n / A 

n / A 

4.6 / 3.4 

0.57 / 0.46 

0,0025 "A" / 0,27 "C" 

n / A 

1600-1900 C. 

7.2 / 6.1 

n / A 

n / A 

0.5 / 0.9 

n / A 

n / A 

n / A 

n / A 

n / A 

n / A 

Spezifische Wärme bei 25 ° CJ / gK 

8.60E-01 

8.10E-01 

n / A 

0.81 

0.77 

0.76 

0.64 

1.5 

0,2 cal / g * deg C 

n / A 

Maximale Temperatur oxidierend / inert 

850/1200 C 

850 / 1150C 

850/1900 

850/2000 C. 

1000 C + 

1000 C + 

850/1600 C. 

1020/1900 

1900 

800-1000 

 

BN50 

BN100 

BN200 

BN300 

BNS26 

BNS40 

ZBN1000 

ABN10000 

PBN 

Macor 

Dieletrische Konstante a @ 1 Mhz 

4.6 / 4.2 

4.3 / 4 

n / A 

4/4 

4.5 / 3.8 

3.4 / 3 3.7 

n / A 

7.1 

"C" 3.7 

6. 

Verlustfaktor @ 1 Mhz 

1,2E-03 / 3,4E-03 

1,5E-03 / 2,1E-03 

n / A 

1,2E-03 / 3,0E-03 

1,7E-03 / 6,7E-03 

3,0E-03 / 3,1E-03 

n / A 

n / A 

n / A 

 

Durchschlagfestigkeit Kv / mm 

88 

> 10 

> 70 

79 

66 

> 10 

n / A 

40 

"C" 230 

9.4 

RT-Widerstand (Ohm cm) 

> 10 13> 10 14 

> 10 13> 10 13 

n / A 

> 10 13> 10 14 

> 10 13> 10 14 

> 10 14> 10 14 

> 10 13> 10 14 

n / A 

1 x 10 15 

> 10 16 

Bornitrid-Keramik

ÜBERSICHT

BN kann in vielen Formen angeboten werden, einschließlich Pulver, Farbe, Paste, Aerosol und in heißgepresster fester Form.

Heißgepresstes Bornitrid hat eine hexagonale Struktur, ähnlich der von Graphit.

Obwohl HPBN ein Isolator mit hervorragenden Eigenschaften in Bezug auf Temperatur, Dielektrizitätskonstante, Temperaturschock, Wärmeleitfähigkeit ist.

Es kann auch leicht in komplizierte Formen bearbeitet werden, ohne dass ein Nachbrennen erforderlich ist. Heißgepresstes Bornitrid ist ein Pulver, das bei über 2000 Grad Celsius gesintert wird. Je nach Prozess können verschiedene Qualitäten für Ihren Bedarf ausgewählt werden. Ob extremes Hochtemperatur-Hochvakuum ohne Bindemittel durch thermische Extraktion oder Feuchtigkeitsbeständigkeit mit Calciumboratglas als Bindemittel. Für die meisten Anwendungen gibt es eine Sorte HPBN.

Thermic Edge bietet nicht nur Bornitrid und Verbundwerkstoffe an, sondern auch Mykroy, Aluminiumoxid-Silikat, Macor-Aluminiumoxid, Siliziumnitrid, Zirkoniumoxid, Aluminiumnitrid.

BN50
BN100
BN200
BN300
BNS26
BNS40
ZBN100
PBN

EIGENSCHAFTEN

  • Hoher elektrischer Widerstand
  • Material für hohe Temperaturen
  • Korrosionsbeständig
  • Hervorragende Schmiereigenschaften
  • Ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit
  • Gute chemische Inertheit
  • Hohe Durchschlagsfestigkeit
  • Hohe Wärmeleitfähigkeit
  • Geringe Dichte
  • Nicht benetzend
  • Gute Bearbeitbarkeit

ANWENDUNGEN

  • Elektrische Hochspannungsisolatoren
  • Wärmebehandlungsisolatoren und Halterung
  • Bruchringe für das Stranggießen von Metallen
  • Tiegel für hochreine Metallschmelzen
  • Schmiermittel für hohe Temperaturen
  • Hochtemperatur-Ventile
  • Zerstäuberdüsen
  • Feuerfeste Anwendungen
  • PVD-Isolatoren und Abschirmungen
  • Isolierende Abstandshalter
  • Vakuum-Ofenstützen

PYROLYTISCHES BORNITRID

PBN ist eine Keramik, die durch ein Chemical Vapor Deposition (CVD) hergestellt wird, was diesem Material einen sehr einzigartigen Charakter verleiht. Intrinsisch rein, ist es die ideale Wahl für Öfen, elektrische Komponenten, Mikrowellen- und Halbleiteranwendungen.

Tiegel nach Industriestandard wie VGF, LEC, Bridgman für die Galliumarsenid-Kristallproduktion und zusätzliche Hardware für Effusionszellen. PBN/PG-Heizungen können auch hergestellt werden, um extrem gleichmäßige Temperaturprofile sowohl für die Verbindungs- als auch für die Halbleiterherstellung zu liefern. Mit Massenverunreinigungen von weniger als 100 Teilen pro Million. PBN reagiert nicht mit Säuren, Laugen, organischen Lösungsmitteln, geschmolzenen Metallen sowie Graphiten.

sPeziFiKationen

Kristalline PhaseN/A
Binder Phase / Binder TypCVD-Verfahren
FarbeCreme
Typische AnwendungenAnspruchsvolle Anwendungen, bei denen es auf höchste Reinheit und Temperatur ankommt, wie z. B. MBE
RichtungsabhängigkeitA & C Richtung
 Mechanisch Eigenschaften
Biegefestigkeit27.500 PSI
ElastizitätsmodulN/A
RT-Komprimierung3700 A Richtung 48.000 C Richtung Einheiten PSI
Offene Porosität0
Dichte (kg/m³)1.95-2.19
Härte-Knoop (kg/mm2)N/A
 Thermische Eigenschaften
Wärmeleitfähigkeit @ 25°C W/mK0,25 "A" / 0,004 "C"
Wärmeausdehnungskoeffizient (10-62) 
25°C - 400°CN/A
400°C - 800°C0,001 "A" / 0,013 "C"
800°C - 1200°CN/A
1200°C - 1600°C0,0025 "A" / 0,27 "C"
Spezifische Wärme @ 25°C J/gK0,2 cal/g* deg C
Max Temperatur Oxidierend / Inert1900
 Elektrische Eigenschaften
Dieletrische Konstante @ 1 Mhz"C" 3.7
Verlustfaktor @ 1 Mhzk.A.
Durchschlagfestigkeit Kv/mm"C" 230
RT Spezifischer Widerstand (Ohm cm)1 x 1015
Dieletrische Konstante a@ 1 Mhz"C" 3.7
Verlustfaktor @ 1 Mhzk.A.
Durchschlagfestigkeit Kv/mm"C" 230
RT Spezifischer Widerstand (Ohm cm)1 x 1015

HEISSGEPRESSTE BORNITRID-VERBUNDWERKSTOFFE

Heißgepresste Bornitrid-Verbundwerkstoffe verändern die Eigenschaften von Bornitrid. Die Zugabe von Zirkoniumdioxid für Anwendungen in geschmolzenem Metall, wie z. B. Bremsringe für den horizontalen Guss, oder Siliziumdioxid für eine unvergleichliche Temperaturwechselbeständigkeit und Beständigkeit gegen Feuchtigkeit und Aluminiumnitrid für hervorragende thermische Eigenschaften.

Aluminiumnitrid-Keramik

ÜBERSICHT

Mit seinen Eigenschaften der elektrischen Isolierung und der ausgezeichneten Wärmeleitfähigkeit ist Aluminiumnitridkeramik ideal für Anwendungen, bei denen eine Wärmeableitung erforderlich ist.

Da es außerdem einen Wärmeausdehnungskoeffizienten (WAK) nahe dem von Silizium und eine ausgezeichnete Plasmabeständigkeit bietet, wird es für Komponenten von Halbleiterverarbeitungsanlagen verwendet.

Leistungshalbleitergeräte - ideales Substrat für aktive Metalllötungen, Leistungstransistoren, Transformatoren mit hoher Kapazität und Metallisierung.

Opto-Elektronik - Hochleistungs- und Hochfrequenz-Mikroelektronik-Packages.

RF/Mikrowellen-Komponenten - Anforderungen an das Wärmemanagement, Kabelfernsehen, Digitalverstärker, etc.

Thermic Edge bietet nicht nur Bornitrid und Verbundwerkstoffe an, sondern auch Mykroy, Aluminiumoxid-Silikat, Macor-Aluminiumoxid, Siliziumnitrid, Zirkoniumoxid, Aluminiumnitrid.

ABN100

TONERDE-KERAMIK

Tonerde oder Aluminiumoxid, Al2O3 ist ein wichtiger technischer Werkstoff. Es bietet eine Kombination aus guten mechanischen Eigenschaften und elektrischen Eigenschaften, die zu einer Vielzahl von Anwendungen führen.

Tonerde kann in verschiedenen Reinheitsgraden mit Zusätzen zur Verbesserung der Eigenschaften hergestellt werden.

Eine Vielzahl von keramischen Verarbeitungsmethoden kann angewendet werden, einschließlich der maschinellen Bearbeitung oder der Nettoformgebung, um eine Vielzahl von Größen und Formen von Bauteilen herzustellen. Darüber hinaus kann es leicht mit Metallen oder anderen Keramiken durch Metallisierungs- und Löttechniken verbunden werden. Anwendungen wären Halbleiterisolatoren, verschleißfeste Komponenten und alles, was hervorragende mechanische, elektrische und thermische Eigenschaften erfordert.

SILIZIUMNITRID

Siliziumnitrid (Si3N4) ist 60% leichter als Stahl, aber stark genug, um einige der anspruchsvollsten Anwendungen in einer Vielzahl von Branchen zu überstehen. Dieses leichte, hochfeste Keramikmaterial wird als Alternative zu Edelstahl, Superlegierungen, Wolframkarbiden und Keramiken der ersten Generation wie Al2O3 und ZrO2 eingesetzt.

Es bietet eine ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit und hohe Bruchzähigkeit, Kompatibilität mit Nichteisenmetallschmelzen und eine verbesserte strukturelle Zuverlässigkeit im Vergleich zu anderen keramischen Materialien.

Bearbeitbare Glaskeramik

ÜBERSICHT

MACOR kann mit sich selbst und mit anderen Materialien verbunden oder abgedichtet werden. Metallisierte Teile können gelötet werden, und verschiedene Metalle werden durch Hartlöten mit MACOR verbunden. Versiegelungsglas erzeugt eine zuverlässige dichte Abdichtung, die für Hochvakuumumgebungen verwendet werden kann. Mit einer hohen maximalen Betriebstemperatur (1000°C im Leerlauf, 800°C bei Dauerbelastung) und der Flexibilität einer komplizierten Formgebung/Präzision bei der Herstellung; bietet MACOR eine höherwertige Lösung für die Anforderungen Ihrer technischen Industrie.

Mykroy hat viele Eigenschaften mit MACOR gemeinsam. Es ist eine sehr vielseitige Lösung für teure Keramiken und eine kostengünstigere Option für weniger wärmeabhängige Lösungen.

Hohe Durchschlagsfestigkeit Niedriger Verlustfaktor Hitzebeständig Nicht verlaufend, Niedriger Ausdehnungskoeffizient, Fest und steif; kriecht nicht und verformt sich nicht, im Gegensatz zu duktilen Materialien, Niedrige Wärmeleitfähigkeit; Hochtemperaturisolator, Elektrischer Isolator, besonders bei hohen Temperaturen, Hervorragend bei hohen Spannungen und einem breiten Spektrum von Frequenzen, Null Porosität, Strahlungsbeständig, Kein Ausgasen in Vakuumumgebungen beim Ausheizen

Macor

SPEZIFIKATIONEN

EIGENSCHAFTEN VON BEARBEITBAREM GLAS

 MYKROY MM500MACOR
Binder Phase/ Binder TypGlimmerflockenGlimmerflocken
FarbeHellgrauWeiß
Typische AnwendungenGeringe Wärmeleitfähigkeit und elektrische Eigenschaften. Brennt nicht und gaset nicht aus, eine günstigere Alternative zu Macor für Arbeiten bei hohen Temperaturen.Geringe Wärmeleitfähigkeit, Strahlungsbeständigkeit, kann auch metallisiert werden. Ein teurerer, aber vielseitigerer Werkstoff als Mykroy.
Mechanische Eigenschaften
Biegefestigkeit86,2 MPa94 MPa
E-Modul (Elastizitätsmodul)82,7 GPa66,9 GPa
RT-Komprimierung345 MPa345 MPa
Offene Porosität0%0%
Dichte (g/cc mm2)2.72.52
Härte90 / 46 Hv250 Knopp
Thermische Eigenschaften
Wärmeleitfähigkeit @ 25 deg C W/mK1.151.46
Koeffizient Wärmeausdehnung (10^-6)  
 @ 25°C - 11.57 x 10^-6@ -100-25°C - 81 x 10^-7
 @ 350°C - 10.53 x 10^-6@ 25-300°C - 90 x 10^-7
 N/A@ 25-600°C - 112 x 10^-7
 N/A@ 25-800°C - 123 x 10^-7
Spezifische Wärme bei 25°C J/gK0.120,79 kJ/kg°C
Max Temp Oxidierend / Inert500°C800°C - 1000°C
Elektrische Eigenschaften
Dieletrische Konstante, 25°C6,9 @ 1MHz

6,01 @ 1KHz

5.64 @ 8.5GHz

Durchschlagsfestigkeit Kv/mm20.945
RT-Widerstand (ohm.cm), 25°C>10^1410^17

MAKOR-ZUSAMMENSETZUNG

Material

Ungefähres Gewicht
Silizium - SiO246%
Magnesium - MgO17%
Aluminium - AL2O316%
Kalium - K2O10%
Bor - B2O37%
Fluor - F

4%

Unser Auftrag

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Spitze der Vakuum-Heiztechnologie-Industrie zu stehen. Wir bieten einen kompletten Service, unsere maßgeschneiderten und vielseitigen Produktreihen geben Ihnen die notwendigen Werkzeuge für jede Inert-, HV- oder UHV-Anwendung.

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