Experten für Substratheizung

Vakuum-Öfen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Wolfram-Vakuumöfen

Labor-Vakuumöfen mit Wolfram-Tiegel- oder Flachproben-Heizzonen für die thermische Bearbeitung, Wärmebehandlung, Glühen & Vakuumsintern in Vakuum-, Stickstoff- oder Wasserstoffumgebung.

Thermic Edge Labor-Vakuumöfen bieten eine Reihe von Wolfram heißen Zonen, um eine Vielzahl von Anwendungen gerecht zu werden. Unter Verwendung des gleichen Aufbaus wie die Graphitöfen hat die Wolfram-Ofenreihe ein Endvakuum von 5×10 ̄²mBar, während sie bei atmosphärischem Druck in einer inerten Atmosphäre arbeiten kann.

Wolfram-Tiegelöfen sind auch mit Mesh-Stil-Elementen in zwei Größen erhältlich:

  • Großer Tiegel Ø150 x 75mm
  • Extra großer Tiegel Ø80 x 140mm

Merkmale

  • Temperaturen bis zu 2600˚c
  • Basisdruck <5×10 ̄²mBar
  • Automatische Pumpenspülsequenz zur Entfernung von Restsauerstoff
  • Rampenrate ≈ 120˚c/min
  • Verarbeitung im Vakuum & Atmosphärendruck
  • Laptop-PC für vollständige Datenaufzeichnung und mehrstufige programmierbare thermische Prozesssteuerung
  • Von oben beschickbare Ofenkammer
  • Vollständig wassergekühlter Ofen, Kammer und Deckel aus Edelstahl
  • Elektrisch angetriebener Deckel mit Verriegelungssensoren
  • Tiegel- & Wafer- / Flachprobenheizung
  • Einfache und sichere Bedienung mit Vollschutzverriegelung, ideal für Universitäten oder unerfahrene Bediener
  • Vollständig verriegeltes System, das sowohl für den Benutzer als auch für das System Sicherheit bietet
  • Halbautomatische Steuerung über HMI-Touchscreen
  • Farbdisplay kombiniertes Micro-Pirani-/Piezo-Messgerät
  • Leichte DC-Schaltnetzteile (keine sperrigen Transformatoren)
  • DC-Stromversorgung geregelt über Eurotherm Nanodac
  • Hohe Leistung und reaktionsschnelle Steuerung
  • Manuelle Druck- und Gasdurchflussregelung mit automatischem Überdruckablassventil
  • Kompaktes Design, geringes Gewicht und kleine Stellfläche, aber große heiße Zonen

Standardbereich

TIEGELÖFEN

2000°c Großer Labor-Vakuum-Ofen mit Wolfram-Heißzonen-Tiegelofen, 5kW DC-Netzteil.
Wolfram Hot Zone - Ø150 x 75mm


2000°c Extra großer Labor-Vakuum-Ofen mit Wolfram-Heißzonen-Tiegelofen, 20kW DC-Netzteil.
Graphit Hot Zone - Ø80 x 140mm

WAFER-MÖBEL

4" Wolfram Hot Zone, 5kW DC-Netzteil

6" Wolfram Hot Zone, 10kW DC-Netzteil

8" Wolfram Hot Zone, 15kW DC-Netzteil

Zusätzliche Optionen

  • Diffusions-Hochvakuumpumpe (Endvakuum 5×10 ̄⁷mBar)
  • Turbopumpe (Ultimatives Vakuum 5×10 ̄⁸mBar)
  • Zusätzliche Prozessgasoptionen
  • Pyrometer - Automatische Umschaltung
  • Kaltwassersatz
  • Thermoelemente der heißen Zone

Heiße Zonen

Die Wolfram-Laborvakuumöfen sind entweder mit Tiegel- oder Waferprobenheizung erhältlich. Für die Wafer-Probenheizung wird ein einfaches flaches Element in einem Wolfram-Körper mit radialer Wärmeabschirmung untergebracht. Für die Tiegelbeheizung wird die heiße Zone mit einem Wolfram-Mesh-Element mit Hitzeschild durch Wolfram-Folienblätter beheizt.

Systembetrieb und Funktionen

Die Labor-Vakuumöfen von Thermic Edge bieten eine benutzerfreundliche Oberfläche, die ihre einfache Bedienung über ein modernes Touchscreen-HMI-Display fördert, das die Steuerung aller Funktionen für das Abpumpen, die Gasaufbereitung und die Entlüftung des Ofens ermöglicht. Mit mehreren Bildschirmen für Betrieb, Verriegelungsanzeigen und Ventilzustände.

Die HMI ermöglicht dem Benutzer die Steuerung der automatischen Abpumpsequenz, die dazu dient, Restsauerstoff aus der Kammer und dem Inneren zu entfernen, um die Lebensdauer der heißen Zone zu verlängern und die Möglichkeit des Auftretens von Oxidation zu vermeiden.

Zwei unabhängige Gaseingänge werden ebenfalls über das am Arm montierte HMI gesteuert, wobei ihre individuellen Durchflüsse manuell an die Anforderungen des Benutzers angepasst werden. Das Saugvermögen wird ebenfalls manuell über ein an der Vorderseite des Vakuumofens montiertes Speedi-Ventil geregelt.

Temperatur und Datenaufzeichnung werden über einen Eurotherm Nanodac PID-Temperaturregler / Datenlogger geregelt, der zur Datenanalyse an einen entfernten PC angeschlossen werden kann. Mit der mitgelieferten Software können mehrstufige Prozesszyklen programmiert werden, die eine einfache Wiederholungsprüfung und eine einfache Anpassung der Programme ermöglichen.

Die vollständig wassergekühlte Vakuumkammer und die Stromdurchführungen halten die Außenseite der Kammer auf Umgebungstemperatur und verhindern eine Überhitzung, so dass ein längerer Betrieb möglich ist.

Serviceanforderungen

Alle Labor-Vakuumöfen benötigen eine 3-Phasen-Stromversorgung, Kaltwasserzufuhr und -abfluss, Argon-Gas zur Entlüftung, Prozessgasversorgung und Abgasleitung.

Spezifikationen

  • Gesamtversorgungsleistung : 6kva, 415v 3 Phasen
  • Wasseranschlüsse: - ¾" BSPT-Gewinde an Vor- und Rücklauf.
  • Durchflussmenge min: 6 Liter / min Wasser bei Umgebungstemperatur
  • Prozessgaseinlass: ¼ Swagelok-Leitung mit VCR-Swagelok-Ventil
  • Entlüftungseingang: ¼ Swagelok-Leitung mit VCR Swagelok-Ventil.
  • Für Pneumatik (falls vorhanden) - 60 - 80 psi. Druckluft - 6mm Steckanschluss.
  • N2/Ar-Versorgung für Entlüftung/Verarbeitung - <40 psi - ¼" Swagelok-Verschraubung
  • Größe des Pumpenanschlusses: 2,75" CF - Adapter KF25
  • Systemhöhe (Deckel geschlossen): 1140mm
  • Systembreite: 1120mm
  • Systemtiefe: 720mm (Gemessen von den Rotameterknöpfen bis zu den Wasserzuleitungen
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Kontakt

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