Experten für Substratheizung

Heizungsstufen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Probe Vorspannung

Thermic Edge liefert Heizstufen mit RF-Probenvorspannung bis zu 1000W und DC-Probenvorspannung bis zu 1000W für die Probenpräparation und zur Verbesserung der Qualität und Reinheit von Dünnschichten.
Wo die Möglichkeit der HF- oder DC-Vorspannung erforderlich ist, bietet Thermic Edge auch luftseitig HF-geschirmte Verkabelung und Filterung an.

Die Option der Vorspannung ist mit allen unseren anderen Tischoptionen erhältlich, die Folgendes umfassen: Probenrotation, Kippen, Z-Verschiebung, Kühlung und automatischer oder manueller Probentransfer.

Der Anschluss erfolgt typischerweise mit einem N-Typ oder einem 7/16-Koaxialstecker.

Heizer und Tisch sind intern vollständig abgeschirmt, um unerwünschte Plasmen von der Probe fernzuhalten.

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Kontakt

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