Expertos en calentamiento de sustratos

Etapas del calentador

En Thermic Edge, nos enorgullecemos de estar a la vanguardia de la industria de los hornos de vacío. Proporcionando un servicio completo, nuestras gamas versátiles a medida le proporcionan las herramientas necesarias para cualquier aplicación.

Muestra de polarización

Thermic Edge suministra etapas de calentamiento con una polarización de muestra de RF de hasta 1000W y una polarización de muestra de DC de hasta 1000W para la preparación de muestras y para mejorar la calidad y la pureza de las películas finas.
Cuando se requiera la opción de polarización de RF o DC, Thermic Edge también proporcionará cableado blindado de RF en el lado aire y filtrado.

La opción de polarización está disponible con todas nuestras otras opciones de platina que incluyen: rotación de la muestra, inclinación, desplazamiento en Z, enfriamiento y transferencia automática o manual de la muestra.

La conexión se realiza normalmente con un conector coaxial tipo N o 7/16.

El calentador y la platina están totalmente blindados internamente para evitar plasmas no deseados lejos de la muestra.

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