Expertos en calentamiento de sustratos

Etapas del calentador

En Thermic Edge, nos enorgullecemos de estar a la vanguardia de la industria de los hornos de vacío. Proporcionando un servicio completo, nuestras gamas versátiles a medida le proporcionan las herramientas necesarias para cualquier aplicación.

Etapas del calentador estándar

Thermic Edge ofrece una gama completa de calentadores de muestras de etapa caliente para todas las aplicaciones del sistema de deposición. Los calentadores y las muestras pueden montarse en cualquier orientación y nuestra gama de manipuladores ofrece opciones rentables para la rotación de la muestra, la rotación del calentador, la transferencia de la muestra y el posicionamiento de la muestra/el calentador.

Este diseño de plataforma móvil de gran tamaño puede alojar un solo fuelle de hasta ø93,0 mm (interno, a través de la perforación) o varios fuelles DN16-35/40CF (3 veces como máximo) para variar los pasos.

Los manipuladores lineales de este estilo pueden equiparse con diferentes codificadores posicionales y escalas bajo pedido. Pueden configurarse con bridas de montaje que van desde DN2022-350CF (Conflat) o ISO200-400K/F (ISO sujetado/atornillado) y carreras estándar de 50,100 o 250mm.

Si lo desea, nuestro equipo interno de diseño e ingeniería puede adaptar tamaños de brida más grandes y/o longitudes de carrera mayores (hasta 1.000 mm), así como configuraciones de alineación en X e inclinación de la brida superior, para satisfacer sus necesidades individuales.

Características

  • Desplazamientos lineales estándar con un recorrido de hasta 250 mm (10"). Más largo disponible como especial.
  • Rotación de la muestra a través del eje central o de la cuna exterior.
  • Puesta a punto de muestras (RF o DC) hasta 1000W.
  • Refrigeración por agua para proteger los conductos de alimentación y/o reducir la carga térmica de la cámara.
  • Configuraciones para alto vacío, UHV, oxígeno, aire y entornos corrosivos.
  • Temperaturas de hasta 1800°C como estándar (se pueden alcanzar temperaturas más altas a petición).
  • Se suministra con un termopar interno adecuado para medir la temperatura de control.
  • Se incluyen los conjuntos de cables del lado del aire y del vacío.
  • Construido y probado en el Reino Unido.

Especificaciones

Características estándarSMF01SMF02SMF03SMF04SMF05SMF06
Temperatura máxima de funcionamiento100010001000180018001200
Cabezal giratorioNoNoNoNoNo
Eje giratorio porta muestrasNo
Soporte de muestras con cuna giratoriaNoNoNoNoNo
Eje central
Motor - accionado por correaNoNo
Motor - Accionamiento directoNoNoNoNo
Pasarela de alimentaciónNoOpcional:NoNo
Paso de T/CNoOpcional:NoNo

Características opcionales

Características opcionalesSMF01SMF02SMF03SMF04SMF05SMF06
Refrigeración por agua - BaseNo
Refrigeración por agua - Heatshield
Alimentación de aguaNoNoNo
RF / DC BiasNo
Z-Shift para la transferencia de muestrasNo
Desplazamiento Z para mover el cabezal del calentador
Desplazamiento Z para mover el portamuestras
Movimiento lineal para la elevación de pasadoresNoNoNoNoNo
es_ESEspañol

Contacto

Para más información, póngase en contacto con nuestro equipo de ventas.

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