Thermic Edge ofrece una gama completa de calentamiento de muestras etapas calientes para todas las aplicaciones de sistemas de deposición de películas finas. Los calentadores y las muestras pueden montarse en cualquier orientación y la gama de manipuladores Thermic Edge ofrece opciones rentables para la rotación de la muestra, la rotación del calentador, la transferencia de la muestra y el posicionamiento de la muestra/el calentador.

Las etapas de calentamiento de muestras pueden ofrecerse con polarización de muestras (RF o DC) hasta 1000W y completas con controlador de temperatura y fuente de alimentación. Para los calentadores y las etapas con polarización de RF, se puede suministrar un blindaje completo y un filtrado de la línea de alimentación/termopar. Los calentadores refrigerados por agua pueden suministrarse con refrigeradores.