Expertos en calentamiento de sustratos

Elementos

En Thermic Edge, nos enorgullecemos de estar a la vanguardia de la industria del calentamiento por vacío. Proporcionando un servicio completo, nuestras gamas versátiles a medida le dan las herramientas necesarias para cualquier aplicación.

Resumen de los elementos

Para satisfacer las necesidades de nuestros clientes, Thermic Edge ofrece una amplia gama de elementos calefactores de resistencia para calentadores de alta temperatura. Estos elementos están disponibles para ser comprados desde nuestros diseños estándar o producir diseños a medida para satisfacer sus necesidades específicas.

Si necesita ayuda en la selección o quiere hablar de sus necesidades, póngase en contacto con nosotros y estaremos encantados de ayudarle.

Tipo de elemento Masa Aire Entorno de gas inerte Entorno corrosivo Alto vacío Ultravacío
Elementos de grafito Bajo No es adecuado 2100°C 2100°C 1600°C
Elementos recubiertos de SiC Bajo 1500°C 1600°C 1500°C 1200°C
Elementos PG-PBN Bajo 500°C 1500°C 1300°C 1100°C

Elementos en carcasa de cerámica

Thermic Edge ofrece, para cada elemento, la opción de incluir una carcasa aislante de cerámica para que el elemento se asiente en ella. Esto proporciona tanto protección como aislamiento eléctrico para los elementos de resistencia cuando se integran en el sistema del cliente. Esto es especialmente útil cuando el espacio es limitado dentro del proceso del cliente, o cuando se requiere el calentamiento en dos direcciones por encima y por debajo del elemento.

La carcasa se hace a medida del elemento y se fabrica con cerámica, que se adapta al proceso del cliente, teniendo en cuenta el entorno, el nivel de vacío, la temperatura máxima y la velocidad de rampa requerida.

Elementos de grafito

Tipo de elementoMasaAireEntorno inerteEntorno corrosivoAlto vacíoUltravacío
GrafitoBajoNo es adecuado2100°C2100°C1600°C

El grafito de alta densidad es ideal para las resistencias de vacío.

Los elementos de grafito son muy inertes y el material aumenta su resistencia a medida que se calienta. Otra característica del material es que tiene un bajo coeficiente de dilatación y es resistente a la degradación debido a los constantes ciclos de calor, por lo que tiene una buena vida útil en este sentido y una tasa de rampa relativamente rápida.

Los elementos se fabrican a partir de bloques de grafito de alta pureza y, con la selección correcta del material, el grafito puede mecanizarse en formas detalladas para lotes únicos o de bajo volumen. Si no encuentra su necesidad en los artículos en stock que aparecen a continuación o en la galería, póngase en contacto con nosotros para discutir su necesidad. Los diseños pueden ser de naturaleza 3D para producir un calentador tubular o plano según se requiera.

Alternativamente, podemos diseñar elementos o trabajar a partir de planos existentes. Thermic Edge puede proporcionar elementos recubiertos de carburo de silicio o recubrimiento de carburo de titanio para mejorar aún más estos elementos en términos de pureza y el uso de grafito en el aire.

Elementos de carburo de silicio

Tipo de elementoMasaAireEntorno inerteEntorno corrosivoAlto vacíoUltravacío
Grafito recubierto de SiCBajo1600°C1600°C1600°C1100°C

Thermic Edge ha desarrollado una gama de elementos de grafito con revestimiento de carburo de silicio (SiC) estándar para proporcionar una solución de bajo coste para el calentamiento a alta temperatura en entornos de O2 y corrosivos. El recubrimiento de SiC es adecuado para su uso en entornos de oxígeno hasta 1600°C y en alto vacío hasta 1000°C. El revestimiento de Sic es totalmente compatible con entornos de hidrógeno y gases inertes.

Los elementos de grafito son fáciles de montar, con dos secciones roscadas M14, que permiten aliviar la tensión del elemento principal. En cada pata de alimentación hay un orificio roscado hembra M5 para permitir la conexión a la fuente de alimentación del cliente, mediante terminales de anillo o barras colectoras. La conexión eléctrica se realiza en la base del elemento contra el grafito expuesto, que se mantiene fuera de la zona caliente del elemento, eliminando el riesgo de reacción entre la conexión de alimentación y el grafito expuesto.

Thermic Edge también puede ofrecer elementos recubiertos de SiC personalizados para adaptarse a los sistemas existentes. Para obtener más información o para discutir un requisito, por favor, póngase en contacto con nuestro equipo de ventas que será capaz de ayudar a identificar una solución adecuada.

Thermic Edge ofrece una gama de calentadores PB/PBN estándar junto con tamaños/diseños personalizados para adaptarse a las especificaciones del cliente.

ELEMENTO DE GRAFITO RECUBIERTO DE CARBURO DE SILICIO PLANO

Ref. del elementoDisponibilidadTamaños de la zona caliente (mm de diámetro)Tamaño (mm)Altura (mm)Distancia del punto de conexión (mm)Potencia estimada para el elemento blindado a 1000°C (vatios)
GS-FC-1.1Para pedir25,4mm30.02.127.9200
GS-FC-2.1Para pedir50,8mm67.02.168.4900
GS-FC-3.1Para pedir76,2mm95.02.192.51700
GS-FC-4.1Para pedir101,6mm134.43.1130.73500
GS-FC-5.1Para pedir127,0mm150.23.1146.84200
GS-FC-6.1Para pedir152,4mm166.03.1162.95100
GS-FC-7.1Para pedir177,8mm193.03.1176.26900
GS-FC-8.1Para pedir203,2mm220.03.1189.49000

CONJUNTO DE ELEMENTOS DE GRAFITO RECUBIERTOS DE CARBURO DE SILICIO

Ref. del elementoDisponibilidadTamaños de la zona caliente (mm de diámetro)Tamaño (mm)Altura (mm)Distancia del punto de conexión (mm)Potencia estimada para el elemento blindado a 1000°C (vatios)
GS-AC-1.1Para pedir25,4mm30.037.527.9200
GS-AC-2.1Stock50,8mm67.037.568.4850
GS-AC-3.1Stock76,2mm95.037.592.51700
GS-AC-4.1Para pedir101,6mm134.438.5130.73500
GS-AC-5.1Para pedir127,0mm150.238.5146.84200
GS-AC-6.1stock152,4mm166.038.5162.95100
GS-AC-7.1Para pedir177,8mm193.038.5176.27000
GS-AC-8.1Para pedir203,2mm220.038.518948800

 

Elementos pBN-PG-PBN

Tipo de elementoMasaAireMedio ambiente del gasEntorno corrosivoAlto vacíoUltravacío
PG PBNBajo500°C1500°C1600°C1200°C

Los calentadores CVD PG/PBN pueden funcionar hasta una temperatura máxima de 1500c, con velocidades de rampa muy rápidas, baja masa y químicamente muy inertes a los gases y líquidos corrosivos y pueden soportar la mayoría de los metales fundidos. Estos calentadores también son resistentes a los choques térmicos, mecánicamente duraderos y tienen una densidad de potencia muy alta, de hasta 35 vatios/cm² (225 vatios/pulgada). La estructura pirolítica CVD en capas también proporciona al elemento PG/PBN una uniformidad térmica muy alta, en el lado del sustrato PBN (lado opuesto a la pista del elemento). Las muestras pueden colocarse directamente sobre la superficie del elemento.

Adecuado para su uso en UHV, alto vacío o aire (PBN a 900C, almohadillas eléctricas PG expuestas a 500C) y adecuado para el proceso de deposición.

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