Experts en chauffage des substrats

Éléments

Chez Thermic Edge, nous sommes fiers d'être à l'avant-garde de l'industrie du chauffage par le vide. Fournissant un service complet, nos gammes polyvalentes sur mesure vous offrent les outils nécessaires à toute application.

Aperçu des éléments

Pour répondre aux besoins de ses clients, Thermic Edge propose une large gamme d'éléments chauffants à résistance pour les appareils de chauffage à haute température. Ces éléments peuvent être achetés à partir de nos conceptions standard ou produire des conceptions sur mesure pour répondre à vos besoins spécifiques.

Si vous avez besoin d'aide pour la sélection ou si vous souhaitez discuter de vos besoins, veuillez nous contacter et nous serons heureux de vous aider.

Type d'élément Masse Air Environnement de gaz inerte Environnement corrosif Vide poussé Ultra Haut Vide
Éléments en graphite Faible Ne convient pas 2100°C Oui 2100°C 1600°C
Éléments revêtus de SiC Faible 1500°C 1600°C Oui 1500°C 1200°C
Éléments PG-PBN Faible 500°C 1500°C Oui 1300°C 1100°C

Éléments dans un boîtier en céramique

Thermic Edge offre, pour chaque élément, l'option d'inclure un boîtier isolant en céramique dans lequel l'élément est placé. Ce boîtier assure à la fois la protection et l'isolation électrique des éléments de résistance lorsqu'ils sont intégrés au système du client. Ceci est particulièrement utile lorsque l'espace est limité dans le processus du client, ou lorsque le chauffage est nécessaire dans deux directions au-dessus et au-dessous de l'élément.

Le boîtier, fabriqué en céramique, est adapté au processus du client, compte tenu de l'environnement, du niveau de vide, de la température maximale et du taux de rampe requis.

Éléments en graphite

Type d'élémentMasseAirEnvironnement inerteEnvironnement corrosifVide pousséUltra Haut Vide
GraphiteFaibleNe convient pas2100°COui2100°C1600°C

Le graphite haute densité est idéal pour les éléments chauffants sous vide.

Les éléments en graphite sont très inertes et le matériau gagne en résistance à mesure qu'il se réchauffe. Une autre caractéristique du matériau est qu'il a un faible coefficient de dilatation et qu'il résiste à la dégradation due à un cycle thermique constant ; il a donc une bonne durée de vie à cet égard et un taux de rampe relativement rapide.

Les éléments sont fabriqués à partir de blocs de graphite de haute pureté et, en sélectionnant correctement le matériau, le graphite peut être usiné dans des formes détaillées pour des lots uniques ou de faible volume. Si vous ne trouvez pas votre besoin dans les articles en stock ci-dessous ou dans la galerie, veuillez nous contacter pour en discuter plus avant. Les dessins peuvent être de nature 3D pour produire un élément chauffant tubulaire ou plat selon les besoins.

Nous pouvons également concevoir des éléments ou travailler à partir de dessins existants. Thermic Edge peut fournir des éléments revêtus de carbure de silicium ou de carbure de titane pour améliorer encore ces éléments en termes de pureté et d'utilisation du graphite dans l'air.

Éléments en carbure de silicium

Type d'élémentMasseAirEnvironnement inerteEnvironnement corrosifVide pousséUltra Haut Vide
Graphite revêtu de SiCFaible1600°C1600°COui1600°C1100°C

Thermic Edge a développé une gamme d'éléments standard en graphite revêtus de carbure de silicium (SiC) afin de fournir une solution à faible coût pour le chauffage à haute température dans des environnements corrosifs et à l'oxygène. Le revêtement SiC convient pour une utilisation dans des environnements d'oxygène jusqu'à 1600°C et dans le vide poussé jusqu'à 1000°C. Le revêtement Sic est entièrement compatible avec l'hydrogène et les environnements de gaz inerte.

Les éléments en graphite sont simples à monter, avec deux sections filetées M14, permettant de soulager l'élément principal. Un trou fileté femelle M5 est prévu sur chaque branche d'alimentation pour permettre la connexion à la source d'alimentation du client, via des bornes à anneau ou des barres omnibus. La connexion électrique est effectuée à la base de l'élément contre le graphite exposé, qui est maintenu en dehors de la zone chaude de l'élément, éliminant le risque d'une réaction entre la connexion électrique et le graphite exposé.

Thermic Edge est également en mesure de proposer des éléments personnalisés revêtus de SiC pour s'adapter aux systèmes existants. Pour plus d'informations ou pour discuter d'une exigence, veuillez contacter notre équipe de vente qui sera en mesure d'aider à identifier une solution appropriée.

Thermic Edge propose une gamme d'appareils de chauffage PB/PBN standard ainsi que des tailles/conceptions personnalisées pour répondre aux spécifications du client.

ÉLÉMENT PLAT EN GRAPHITE REVÊTU DE CARBURE DE SILICIUM

Élément RefDisponibilitéTailles des zones chaudes (mm dia)Taille (mm)Hauteur (mm)Distance du point de connexion (mm)Puissance estimée pour un élément blindé à 1000°C (Watts)
GS-FC-1.1Pour commander25,4 mm30.02.127.9200
GS-FC-2.1Pour commander50,8 mm67.02.168.4900
GS-FC-3.1Pour commander76,2 mm95.02.192.51700
GS-FC-4.1Pour commander101,6 mm134.43.1130.73500
GS-FC-5.1Pour commander127,0 mm150.23.1146.84200
GS-FC-6.1Pour commander152,4 mm166.03.1162.95100
GS-FC-7.1Pour commander177,8 mm193.03.1176.26900
GS-FC-8.1Pour commander203,2 mm220.03.1189.49000

ASSEMBLAGE D'ÉLÉMENTS EN GRAPHITE REVÊTUS DE CARBURE DE SILICIUM

Élément RefDisponibilitéDimensions de la zone chaude (mm dia)Taille (mm)Hauteur (mm)Distance du point de connexion (mm)Puissance estimée pour un élément blindé à 1000°C (Watts)
GS-AC-1.1Pour commander25,4 mm30.037.527.9200
GS-AC-2.1Stock50,8 mm67.037.568.4850
GS-AC-3.1Stock76,2 mm95.037.592.51700
GS-AC-4.1Pour commander101,6 mm134.438.5130.73500
GS-AC-5.1Pour commander127,0 mm150.238.5146.84200
GS-AC-6.1stock152,4 mm166.038.5162.95100
GS-AC-7.1Pour commander177,8 mm193.038.5176.27000
GS-AC-8.1Pour commander203,2 mm220.038.518948800

 

Éléments pBN-PG-PBN

Type d'élémentMasseAirEnvironnement gazeuxEnvironnement corrosifVide pousséUltravide
PG PBNFaible500°C1500°COui1600°C1200°C

Les appareils de chauffage CVD PG/PBN peuvent fonctionner jusqu'à une température maximale de 1500°C, avec des taux de rampe très rapides, une faible masse et sont chimiquement très inertes aux gaz et liquides corrosifs et peuvent résister à la plupart des métaux en fusion. Ces éléments chauffants sont également résistants aux chocs thermiques, mécaniquement durables et ont une densité de puissance très élevée, jusqu'à 35 watts/cm² (225 watts/in²). La structure pyrolytique CVD en couches confère également à l'élément PG/PBN une très grande uniformité thermique, du côté du substrat PBN (côté opposé à la piste de l'élément). Les échantillons peuvent être placés directement sur la surface de l'élément.

Convient à une utilisation dans l'UHV, le vide poussé ou l'air (PBN jusqu'à 900C, blocs d'alimentation PG exposés jusqu'à 500C) et convient au processus de dépôt.

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