Experts en chauffage des substrats

Réchauffeurs sous vide

Chez Thermic Edge, nous sommes fiers d'être à l'avant-garde de l'industrie des fours à vide. Fournissant un service complet, nos gammes polyvalentes sur mesure vous donnent les outils nécessaires pour toute application.

Chauffages polyvalents

Chez Thermic Edge, nous avons développé une gamme de réchauffeurs d'échantillons rentables qui peuvent être facilement personnalisés avec des options supplémentaires, telles que le refroidissement par eau, la rotation des échantillons et diverses options de montage des échantillons.

Le chauffage Thermic Edge Versatile est également très performant, avec une densité de puissance élevée (permettant des temps de montée en puissance très rapides), avec un corps de masse faible (réduisant les temps de refroidissement) et une grande uniformité thermique sur toute la zone chaude.

Nos réchauffeurs d'échantillons sont fabriqués à partir de différents matériaux de corps et d'éléments pour s'adapter à une large gamme d'applications et de températures, et sont disponibles en standard dans des diamètres de deux à six pouces.

Caractéristiques

  • Tailles standard des zones chaudes allant de Ø2" (51 mm) à Ø6" (152 mm)
  • Configurations pour le vide poussé, l'UHV et l'air (compatible avec l'oxygène)
  • Les matériaux standard des éléments sont Inconel, composite carbone-carbone (CCC), pure carbure de silicium (SiC3) Graphite revêtu par CVD et tungstène
  • Montée en puissance rapide et efficace
  • Fourni avec un thermocouple interne approprié pour mesurer et contrôler la température (lecteurs et contrôleurs de température également disponibles).
  • Pose libre ou montage sur bride

 

  • Peut fonctionner dans n'importe quelle orientation
  • Zone de chauffage de l'échantillon très uniforme en standard (<2%)
  • Refroidissement par eau disponible pour minimiser la charge thermique de la chambre
  • Entièrement personnalisable, des solutions complètes sur mesure sont disponibles.
  • Possibilité de montage sur scène lorsque la rotation, le décalage en Z et/ou la polarisation RF ou DC sont nécessaires.
  • Assemblages de câbles sous vide inclus
  • Construit et testé au Royaume-Uni

Personnalisez votre chauffage

Contactez notre équipe de vente technique dès aujourd'hui si vous avez besoin d'aide ou d'un appareil de plus grande taille. Les options supplémentaires incluent, mais ne sont pas limitées à :

  • Refroidissement par eau pour minimiser la charge thermique de la chambre et des autres équipements.
  • Clips, masques ou dispositifs de retenue pour porte-échantillons
  • Montage de la bride ou de l'étage de chauffage (pour la rotation et le transfert de l'échantillon)
  • Biais d'échantillon (DC ou RF jusqu'à 1000W)
  • Deuxième thermocouple
  • Alimentation électrique
  • Contrôleur de température
  • Éléments de rechange

La plaque d'échantillon tourne au-dessus de l'élément statique. Dans cet exemple, des clips sont utilisés pour fixer les substrats.

Thermic Edge fournit des plaques avec des ouvertures pour accueillir et masquer les échantillons si nécessaire.

Les appareils de chauffage peuvent être utilisés avec l'élément exposé, et dans certains cas, les échantillons peuvent être placés directement sur les éléments.

Spécifications

Température de la plaque supérieure en céramique de 800°C avec un élément en Inconel. Pour utilisation dans un environnement à vide poussé, O2, N2, H2 ou air.
Pièce n°.Zone chaude ØD.O. (environ)Plaque supérieure en céramiqueType TC
VH-2-800-IN-O22″100 mmABN1000K
VH-3-800-IN-O23″125 mmABN1000K
VH-4-800-IN-O24″160 mmABN1000K
VH-6-800-IN-O26″190 mmABN1000K
Température de la plaque supérieure céramique de 1000°C avec graphite et SiC3 Élément revêtu par CVD. Pour une utilisation sous vide poussé, dans un environnement O2, N2, H2 ou dans l'air.
Pièce n°.Zone chaude ØD.O. (environ)Plaque supérieure en céramiqueType TC
VH-2-1000-CCC-HV2″100 mmABN1000K
VH-3-1000-CCC-HV3″125 mmABN1000K
VH-4-1000-CCC-HV4″160 mmABN1000K
VH-6-1000-CCC-HV6″190 mmABN1000K
 
Température de la plaque supérieure en céramique de 1000°C avec élément CCC. Pour utilisation sous vide poussé, N2 ou atmosphère inerte.
Pièce n°.Zone chaude ØD.O. (environ)Plaque supérieure en céramiqueType TC
VH-2-1000-GS-O22″100 mmABN1000K
VH-3-1000-GS-O23″125 mmABN1000K
VH-4-1000-GS-O24″160 mmABN1000K
VH-6-1000-GS-O26″190 mmABN1000K
Température de la plaque supérieure en céramique de 1600°C avec élément CCC. Pour utilisation sous vide poussé, N2 ou atmosphère inerte.
Pièce n°.Zone chaude ØD.O. (environ)Plaque supérieure en céramiqueType TC
VH-2-1600-CCC-HV2″100 mmPBNC
VH-3-1600-CCC-HV3″125 mmPBNC
VH-4-1600-CCC-HV4″160 mmPBNC
VH-6-1600-CCC-HV6″190 mmPBNC
 
Température de la plaque supérieure en céramique de 1600°C avec élément en tungstène. Pour utilisation sous vide poussé, N2, H2 ou atmosphère inerte. Bon pour UHV avec plaque supérieure enlevée
Pièce n°.Zone chaude ØD.O. (environ)Plaque supérieure en céramiqueType TC
VH-2-1600-TU-UHV2″100 mmPBNC
VH-3-1600-TU-UHV3″125 mmPBNC
VH-4-1600-TU-UHV4″160 mmPBNC
VH-6-1600-TU-UHV6″190 mmPBNC

Téléchargements de dessins

VH-X-800-IN-O2

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VH-X-1000-GS-O2

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VH-X-1000-CCC-HV

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VH-X-1600-CCC-O2

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VH-X-1600-TU-UHV

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Brochure sur la gamme de produits

200.15-F - A3 - Gamme d'appareils de chauffage polyvalents Thermic Edge

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