Experts en chauffage des substrats

Étapes du chauffage

Chez Thermic Edge, nous sommes fiers d'être à l'avant-garde de l'industrie des fours à vide. Fournissant un service complet, nos gammes polyvalentes sur mesure vous donnent les outils nécessaires pour toute application.

Étages de chauffage standard

Thermic Edge propose une gamme complète d'appareils de chauffage d'échantillons en phase chaude pour toutes les applications de systèmes de dépôt. Les éléments chauffants et les échantillons peuvent être montés dans n'importe quelle orientation et notre gamme de manipulateurs offre des options rentables pour la rotation des échantillons, la rotation des éléments chauffants, le transfert des échantillons et le positionnement des échantillons et des éléments chauffants.

Cette grande plate-forme mobile peut accueillir un seul soufflet d'une taille allant jusqu'à ø93,0 mm (alésage interne, traversant) ou plusieurs soufflets DN16-35/40CF (3x max) pour des traversées différentes.

Les manipulateurs linéaires de ce style peuvent être équipés de codeurs de position et d'échelles variables sur demande. Ils peuvent être configurés avec des brides de montage allant de DN2022-350CF (Conflat) ou ISO200-400K/F (ISO clampé/boulonné) et des courses standard de 50, 100 ou 250 mm.

Sur demande, notre équipe interne de conception et d'ingénierie peut s'adapter à des brides de plus grande taille et/ou à des longueurs de course plus importantes (jusqu'à 1000 mm), ainsi qu'à des configurations d'alignement en X et d'inclinaison de la bride supérieure, afin de répondre à vos besoins particuliers.

Caractéristiques

  • Déplacements linéaires standard avec une course jusqu'à 250 mm (10"). Des courses plus longues sont disponibles sur demande.
  • Rotation de l'échantillon par l'arbre central ou le berceau extérieur.
  • Polarisation d'échantillons (RF ou DC) jusqu'à 1000W.
  • Refroidissement par eau pour protéger les traversées et / ou réduire la charge thermique sur la chambre.
  • Configurations pour le vide poussé, l'UHV, l'oxygène, l'air et les environnements corrosifs.
  • Températures jusqu'à 1800°C en standard (des températures plus élevées peuvent être atteintes sur demande).
  • Fourni avec un thermocouple interne approprié pour mesurer la température de contrôle.
  • Les assemblages de câbles côté air et côté vide sont inclus.
  • Construit et testé au Royaume-Uni.

Spécifications

Caractéristiques standardSMF01SMF02SMF03SMF04SMF05SMF06
Température de fonctionnement maximale100010001000180018001200
Tête rotativeNonNonNonNonOuiNon
Arbre rotatif support d'échantillonOuiOuiOuiOuiNonOui
Support d'échantillon à berceau rotatifNonNonNonNonNonOui
Arbre centralOuiOuiOuiOuiOuiOui
Moteur - entraînement par courroieOuiOuiNonNonOuiOui
Moteur - Entraînement directNonNonOuiOuiNonNon
Passages de puissanceOuiNonOuiEn optionNonNon
Traversée T/COuiNonOuiEn optionNonNon

Caractéristiques optionnelles

Caractéristiques optionnellesSMF01SMF02SMF03SMF04SMF05SMF06
Refroidissement par eau - BaseOuiNonOuiOuiOuiOui
Refroidissement par eau - HeatshieldOuiOuiOuiOuiOuiOui
Traversée d'eauOuiNonOuiOuiNonNon
Bias RF / DCOuiOuiNonOuiOuiOui
Z-Shift pour le transfert de l'échantillonOuiOuiOuiOuiNonOui
Z shift pour déplacer la tête de chauffeOuiOuiOuiOuiOuiOui
Z shift pour déplacer le porte-échantillonOuiOuiOuiOuiOuiOui
Mouvement linéaire pour le levage des goupillesNonNonNonOuiNonNon
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