Experts en chauffage des substrats

Étapes du chauffage

Chez Thermic Edge, nous sommes fiers d'être à l'avant-garde de l'industrie des fours à vide. Fournissant un service complet, nos gammes polyvalentes sur mesure vous donnent les outils nécessaires pour toute application.

Biais de l'échantillon

Thermic Edge fournit des étages chauffants avec une polarisation d'échantillon RF jusqu'à 1000W et une polarisation d'échantillon DC jusqu'à 1000W pour la préparation d'échantillons et pour améliorer la qualité et la pureté des films minces.
Lorsque l'option de polarisation RF ou DC est requise, Thermic Edge fournit également un câblage et un filtrage RF blindé côté piste.

L'option de polarisation est disponible avec toutes nos autres options de platines qui comprennent : la rotation de l'échantillon, l'inclinaison, le décalage en Z, le refroidissement et le transfert automatique ou manuel de l'échantillon.

La connexion se fait généralement avec un connecteur coaxial de type N ou 7/16.

Le chauffage et la platine sont entièrement blindés en interne pour éviter que les plasmas indésirables ne s'éloignent de l'échantillon.

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