Experts en chauffage des substrats

Fours à vide

Chez Thermic Edge, nous sommes fiers d'être à l'avant-garde de l'industrie des fours à vide. Fournissant un service complet, nos gammes polyvalentes sur mesure vous donnent les outils nécessaires pour toute application.

Fours à vide pour le tungstène

Fours de laboratoire sous vide avec creuset en tungstène ou zones chaudes pour échantillons plats pour le traitement thermique, le traitement thermique, le recuit et le frittage sous vide dans des environnements sous vide, azote ou hydrogène.

Les fours sous vide de laboratoire Thermic Edge offrent une gamme de zones chaudes en tungstène pour répondre à une variété d'utilisations. Utilisant la même installation que les fours en graphite, la gamme de fours en tungstène a un vide ultime de 5×10 ̄²mBar tout en étant capable de fonctionner à la pression atmosphérique dans une atmosphère inerte.

Les fours à creuset en tungstène sont également disponibles avec des éléments de type maille en deux tailles :

  • Grand creuset Ø150 x 75mm
  • Creuset extra large Ø80 x 140mm

Caractéristiques

  • Températures jusqu'à 2600˚c
  • Pression de base <5×10 ̄²mBar
  • Séquence de purge automatique de la pompe pour éliminer l'oxygène résiduel
  • Taux de rampe ≈ 120˚c/min.
  • Traitement sous vide et sous pression atmosphérique
  • Ordinateur portable pour l'enregistrement complet des données et le contrôle du processus thermique programmable à plusieurs étapes.
  • Chambre de four à chargement par le haut
  • Four entièrement refroidi à l'eau, chambre et couvercle en acier inoxydable
  • Couvercle à commande électrique avec capteurs de verrouillage
  • Chauffage de creusets et de plaquettes / échantillons plats
  • Fonctionnement simple et sûr avec des verrouillages de protection complets, idéal pour les universités ou les opérateurs inexpérimentés.
  • Système entièrement verrouillé assurant la sécurité de l'utilisateur et du système.
  • Contrôle semi-automatique via l'écran tactile de l'IHM
  • Afficheur couleur combiné à une jauge Micro Pirani/piezo
  • Alimentations à découpage en courant continu légères (pas de transformateurs encombrants)
  • Alimentation en courant continu contrôlée par Eurotherm Nanodac
  • Haute performance et contrôle réactif
  • Régulation manuelle de la pression et du débit de gaz avec soupape de décharge automatique de la surpression.
  • Conception compacte, légèreté et faible encombrement, mais grandes zones chaudes.

Gamme standard

FOURS À CREUSET

Grand four de laboratoire sous vide à 2000°c avec four à creuset en zone chaude pour le tungstène, alimentation 5kW DC.
Zone chaude en tungstène - Ø150 x 75mm


Four sous vide de laboratoire extra large de 2000°c avec four à creuset de zone chaude en tungstène, alimentation DC de 20kW.
Zone chaude en graphite - Ø80 x 140mm

FURNACES WAFER

Zone chaude en tungstène 4", alimentation 5kW DC

Zone chaude en tungstène 6", alimentation en courant continu 10kW

Zone chaude en tungstène de 8", alimentation en courant continu de 15kW

Options supplémentaires

  • Pompe à haut vide à diffusion (vide ultime 5×10 ̄⁷mBar)
  • Turbo Pump (Ultimate Vacuum 5×10 ̄⁸mBar)
  • Options supplémentaires pour les gaz de traitement
  • Pyromètre - Changement automatique
  • Refroidisseur d'eau
  • Thermocouples de zone chaude

Zones chaudes

Les fours de laboratoire sous vide en tungstène sont disponibles pour le chauffage d'échantillons en creuset ou en plaquettes. Pour le chauffage d'échantillons de plaquettes, un élément plat simple est logé dans un corps en tungstène avec un écran thermique radial. Pour le chauffage des creusets, la zone chaude est chauffée à l'aide d'un élément en maille de tungstène avec un écran thermique constitué de feuilles de tungstène.

Opérations et fonctions du système

La gamme de fours sous vide de laboratoire de Thermic Edge offre une interface conviviale favorisant leur facilité d'utilisation grâce à un écran tactile HMI moderne qui permet de contrôler toutes les fonctions de pompage, de traitement des gaz et d'évacuation du four. Avec plusieurs écrans pour le fonctionnement, les affichages de verrouillage et les états des vannes.

L'IHM permet à l'utilisateur de contrôler la séquence de pompage automatique qui est conçue pour éliminer l'oxygène résiduel de la chambre et de l'interne, augmentant ainsi la durée de vie de la zone chaude et évitant le risque d'oxydation.

Deux entrées de gaz indépendantes sont également contrôlées par l'IHM montée sur le bras et leurs débits individuels sont ajustés manuellement en fonction des besoins de l'utilisateur. Les vitesses de pompage sont également réglées manuellement par une vanne Speedi montée à l'avant du four à vide.

La température et l'enregistrement des données sont contrôlés par un régulateur de température Eurotherm Nanodac PID / enregistreur de données qui peut être connecté à un PC distant pour l'analyse des données. Un logiciel est fourni pour permettre la programmation de cycles de traitement à plusieurs étapes, ce qui permet de répéter les tests et d'ajuster facilement les programmes.

La chambre à vide entièrement refroidie à l'eau et les traversées d'alimentation maintiennent l'extérieur de la chambre à température ambiante et empêchent toute surchauffe, ce qui permet des périodes de fonctionnement prolongées.

Exigences de service

Tous les fours à vide de laboratoire nécessitent une alimentation électrique triphasée, une alimentation et une évacuation d'eau réfrigérée, du gaz Argon pour la ventilation, une alimentation en gaz de traitement et une ligne d'échappement.

Spécifications

  • Puissance d'alimentation totale : 6kva, 415v 3 phase
  • Connexions d'eau : - Extrémités filetées ¾" BSPT à l'aller et au retour.
  • Débit min : 6 litres / min d'eau à température ambiante
  • Entrée du gaz de process : ¼ de ligne Swagelok avec vanne Swagelok VCR
  • Entrée de l'évent : ¼ de ligne Swagelok avec vanne Swagelok VCR.
  • Pour le système pneumatique (si installé) - air comprimé 60 - 80 psi. - 6mm push fit.
  • Alimentation en N2/ Ar pour la ventilation/le traitement - <40 psi - raccord ¼" Swagelok
  • Taille de l'orifice de pompage : 2.75" CF - adaptateur KF25
  • Hauteur du système (couvercle fermé) : 1140mm
  • Largeur du système : 1120mm
  • Profondeur du système : 720 mm (mesurée entre les boutons du rotamètre et les tuyaux d'alimentation en eau).
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