Experts en chauffage des substrats

Réchauffeurs sous vide

Chez Thermic Edge, nous sommes fiers d'être à l'avant-garde de l'industrie des fours à vide. Fournissant un service complet, nos gammes polyvalentes sur mesure vous donnent les outils nécessaires pour toute application.

Aperçu des appareils de chauffage sous vide

Chez Thermic Edge, nous fournissons à la recherche et à l'industrie des réchauffeurs de plaquettes, des réchauffeurs sous vide et des réchauffeurs d'échantillons rentables et très uniformes pour le dépôt de couches minces et le traitement d'échantillons. Nos réchauffeurs d'échantillons peuvent être fournis avec des dispositifs de retenue ou des clips pour maintenir une gamme de tranches de semi-conducteurs ou d'échantillons.

Tous les appareils de chauffage sont soumis à des tests complets. Nos capacités d'essai internes comprennent la vérification des fuites d'hélium, des essais de température complète à l'aide d'un système d'essai sous vide et des essais d'uniformité à l'aide d'une caméra thermique FLIR. Thermic Edge est certifié ISO 9001.

L'équipe de conception de Thermic Edge travaille en étroite collaboration avec les clients pour leur fournir :

  • Des projets gérés par des professionnels du début à la fin
  • Des solutions rentables utilisant, dans la mesure du possible, des composants et des assemblages standard de Thermic Edge.
  • Dessins techniques détaillés et spécifications écrites
  • Modèles CAO 3D
  • Une solution de chauffage fournie entièrement testée et prête à être intégrée à votre système.
  • Manuel détaillant les instructions d'installation et d'utilisation
schéma de câblage de l'appareil de chauffage sous vide
réchauffeur de plaquettes
chauffage de plaquettes chauffantes chauffage d'échantillons monté sur bride
exemple de schéma de chauffage

Chauffages polyvalents

800°C - 1600°C [ O2, Inert, HV, UHV ].

Chauffages polyvalents

800°C - 1600°C [O2, inerte, HV, UHV].

Réchauffeurs Nickel-Chrome

800°C - 1000°C [ Air, Inertes, HV ].

Réchauffeurs Nickel-Chrome

800°C - 1000°C [ Air, Inertes, HV ].

Chauffe-bouton

800°C - 1400°C [ Air, HV, UHV ].

Chauffe-bouton

800°C - 1400°C [ Air, HV, UHV ].

Réchauffeurs de lampes halogènes

900°C [ Air, Inerte, Vide ].

Réchauffeurs de lampes halogènes

800°C - 1000°C [ Air, Inertes, HV ].

Tous les appareils de chauffage en céramique

800°C - 1600°C [ Air, HV, UHV ].

Tous les appareils de chauffage en céramique

800°C - 1600°C [Air, HV, UHV].

Haute température, haute uniformité, refroidissement par eau

1000°C - 1700°C [ Air, Inerte, HV, ]

Haute température, haute uniformité, refroidissement par eau

1000°C - 1700°C [ Air, Inerte, HV, ]

Réchauffeurs PG-PBN

800°C - 1400°C [ Air, HV, UHV ].

Réchauffeurs PG-PBN

800°C - 1400°C [ Air, HV, UHV ].

Chauffages sur mesure

Constructions sur mesure

Chauffages sur mesure

Constructions sur mesure

Réchauffeurs sous vide de substrats

Caractéristiques

  • Les chauffe-échantillons standard à contact direct sont disponibles pour des tailles d'échantillons allant d'un pouce (25,4 mm) à six pouces (152,4 mm) de zones chaudes. Des tailles plus importantes sont disponibles sous forme de modèles spéciaux.
  • Lampes chauffantes sont fournis pour les applications de chauffage par rayonnement
  • Configurations pour le vide poussé, l'UHV, l'oxygène, l'air et les environnements corrosifs.
  • Les matériaux standard des éléments sont Inconel, nickel chrome (NiCr), composite carbone-carbone (CCC), pure carbure de silicium (SiC3) Graphite revêtu par CVD et tungstène
  • Températures jusqu'à 1600°C en standard (des températures plus élevées peuvent être atteintes sur demande).
  • Montée en puissance rapide et efficace
  • Fourni avec un thermocouple interne approprié pour mesurer la température de contrôle.
  • Pose libre, montage sur goujon ou montage sur bride
  • Des éléments de base aux systèmes complets
  • Bonne uniformité de la zone de chauffe de l'échantillon en standard (<±2%). Plage d'uniformité très élevée (<±1%)
  • Refroidissement par eau disponible pour minimiser la charge thermique de la chambre
  • Des tailles plus grandes et des formes différentes sont disponibles sur demande
  • Entièrement personnalisable, des solutions complètes sur mesure sont disponibles.
  • Possibilité de montage sur scène lorsque la rotation, le décalage en Z et la polarisation RF ou DC sont nécessaires.
  • Assemblage des câbles côté air et côté vide inclus.
  • Construit et testé au Royaume-Uni

Engagés dans la qualité

Tous les appareils de chauffage sont soumis à des tests complets. Nos capacités de test en interne comprennent la vérification des fuites d'hélium, des tests de température complète à l'aide d'un système de test sous vide et des tests d'uniformité à l'aide d'une caméra thermique FLIR. Thermic Edge est certifié ISO 9001:2015.

Étapes de chauffage de l'échantillon

Thermic Edge offre une gamme complète de chauffage d'échantillons. scènes chaudes pour toutes les applications de systèmes de dépôt de couches minces. Les éléments chauffants et les échantillons peuvent être montés dans n'importe quelle orientation et la gamme de manipulateurs Thermic Edge offre des options rentables pour la rotation des échantillons, la rotation des éléments chauffants, le transfert des échantillons et le positionnement des échantillons/éléments chauffants.

Les étages de chauffage d'échantillons peuvent être proposés avec une polarisation de l'échantillon (RF ou DC) jusqu'à 1000W et complets avec un contrôleur de température et une alimentation électrique. Pour les réchauffeurs et les étages avec polarisation RF, un blindage complet et un filtrage des lignes d'alimentation/thermocouple peuvent être fournis. Les réchauffeurs refroidis par eau peuvent être fournis avec des refroidisseurs.

Sur mesure

Thermic Edge est spécialisé dans la fourniture de solutions sur mesure pour les applications de chauffage qui ne peuvent être réalisées à l'aide d'appareils de chauffage et d'étages standard. L'équipe de conception de Thermic Edge travaille en étroite collaboration avec les clients pour fournir :

  • Des projets gérés par des professionnels
  • Des solutions rentables utilisant, dans la mesure du possible, des composants et des assemblages standard de Thermic Edge.
  • Dessins techniques détaillés et spécifications écrites
  • Modèles CAO 3D (si nécessaire)
  • Une solution de chauffage fournie entièrement testée et prête à être intégrée à votre système.

Manuel détaillant les instructions d'installation, de spécification et d'utilisation.

Contrôleur de température

Utilisation d'un contrôleur de températureLe chauffage du substrat peut être personnalisé pour préparer des films minces pour les systèmes de dépôt chimique en phase vapeur, en fonction des spécifications requises.

Informations complémentaires

Contactez notre équipe technico-commerciale dès aujourd'hui si vous avez besoin d'aide ou d'une taille de chauffage supérieure.

Les options supplémentaires incluent, mais ne sont pas limitées à :

  • Refroidissement par eau pour minimiser la charge thermique de la chambre et des autres équipements.
  • Clips, masques ou supports de porte-échantillons
  • Montage de la bride ou de l'étage de chauffage (pour la rotation et le transfert de l'échantillon)
  • Biais d'échantillon (DC ou RF jusqu'à 1000W)
  • Alimentation électrique
  • Contrôleur de température
  • Éléments de rechange
  • Deuxième thermocouple

DOWNLOADABLES

204.03-A - A4 - Aperçu des éléments

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