Standard-Stufen | Thermic Edge Europe GmBH

Experten für Substratheizung

Heizungsstufen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Standard-Heizstufen

Thermic Edge bietet ein komplettes Sortiment an Heizelementen für Proben für alle Beschichtungssysteme an. Heizelemente und Proben können in jeder beliebigen Ausrichtung montiert werden. Unser Sortiment an Manipulatoren bietet kostengünstige Optionen für die Probenrotation, die Heizelementrotation, den Probentransfer und die Proben-/Heizelementpositionierung.

Diese große, verfahrbare Plattform kann eine einzelne Balggröße bis zu ø93,0 mm (interne, durchgehende Bohrung) oder mehrere Faltenbälge DN16-35/40CF (max. 3x) für unterschiedliche Durchführungen aufnehmen.

Linearmanipulatoren dieser Bauart können auf Wunsch mit unterschiedlichen Wegmesssystemen und Maßstäben ausgestattet werden. Sie können mit Montageflanschen von DN2022-350CF (Conflat) oder ISO200-400K/F (ISO geklemmt/geschraubt) und Standardhüben von entweder 50, 100 oder 250 mm konfiguriert werden.

Auf Anfrage kann unser hauseigenes Konstruktions- und Ingenieurteam größere Flanschgrößen und/oder größere Hublängen (bis zu 1000 mm) sowie eine X-Ausrichtung des oberen Flansches und Kippkonfigurationen entsprechend Ihren individuellen Anforderungen realisieren.

Merkmale

Standard-Linearverschiebungen mit Verfahrwegen bis zu 250 mm (10"). Längere Verfahrwege sind als Sonderanfertigung erhältlich.
Probenrotation durch zentrale Welle oder äußere Wiege.
Probenvorspannung (RF oder DC) bis zu 1000W.
Wasserkühlung zum Schutz von Durchführungen und / oder zur Reduzierung der Wärmebelastung der Kammer.
Konfigurationen für Hochvakuum, UHV, Sauerstoff, Luft und korrosive Umgebungen.
Temperaturen bis zu 1800°C als Standard (höhere Temperaturen sind auf Anfrage realisierbar).
Wird mit einem geeigneten internen Thermoelement zur Messung der Regeltemperatur geliefert.
Vakuum- und luftseitige Kabelbaugruppen im Lieferumfang enthalten .
Gebaut und getestet in Großbritannien.

Spezifikationen

Standard-Merkmale	SMF01	SMF02	SMF03	SMF04	SMF05	SMF06
Maximale Betriebstemperatur	1000	1000	1000	1800	1800	1200
Rotierender Kopf	Nein	Nein	Nein	Nein	Ja	Nein
Rotierende Welle Probenhalterung	Ja	Ja	Ja	Ja	Nein	Ja
Rotierender Cradle-Probenhalter	Nein	Nein	Nein	Nein	Nein	Ja
Zentralschacht	Ja	Ja	Ja	Ja	Ja	Ja
Motor - riemengetrieben	Ja	Ja	Nein	Nein	Ja	Ja
Motor - Direktantrieb	Nein	Nein	Ja	Ja	Nein	Nein
Leistungsdurchführungen	Ja	Nein	Ja	Optional	Nein	Nein
T/C-Durchführung	Ja	Nein	Ja	Optional	Nein	Nein

Optionale Merkmale

Optionale Merkmale	SMF01	SMF02	SMF03	SMF04	SMF05	SMF06
Wasserkühlung - Basis	Ja	Nein	Ja	Ja	Ja	Ja
Wasserkühlung - Hitzeschild	Ja	Ja	Ja	Ja	Ja	Ja
Wasserdurchführung	Ja	Nein	Ja	Ja	Nein	Nein
RF / DC Vorspannung	Ja	Ja	Nein	Ja	Ja	Ja
Z-Shift für den Probentransfer	Ja	Ja	Ja	Ja	Nein	Ja
Z-Shift zum Bewegen des Heizkopfes	Ja	Ja	Ja	Ja	Ja	Ja
Z-Shift zum Verschieben des Probenhalters	Ja	Ja	Ja	Ja	Ja	Ja
Lineare Bewegung für Pin Lift	Nein	Nein	Nein	Ja	Nein	Nein

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