Experten für Substratheizung

Heizungsstufen

Wir bei Thermic Edge sind stolz darauf, an der Vorfront der Vakuum-Ofenindustrie zu stehen.Unsere maßgeschneiderten, vielfältigen Produktreihen bieten einen vollständigen Service und bieten die notwendigen Produkte für jede Anwendung.

Lineare Bewegung und Rotation

Thermic Edge hat ein komplettes Sortiment an standardmäßigen linearen Manipulatoren und Drehdurchführungen entwickelt, mit denen die meisten Anforderungen an Probenheizertische erfüllt werden können, was eine kostengünstige Lösung darstellt. Sie können für die Probenrotation, die Heizungsrotation, den Probentransfer und die Positionierung der Probe / Heizung zur Quelle verwendet werden.

Bei Bedarf binden wir gerne die Motoren und bevorzugten Temperaturregler unserer Kunden ein. Der Versteller kann manuell betrieben oder einfach in die SPS-Steuerung der Anlagen integriert werden.

Diese große, verfahrbare Plattform kann eine einzelne Balggröße bis zu ø93,0 mm (interne, durchgehende Bohrung) oder mehrere Faltenbälge DN16-35/40CF (max. 3x) für unterschiedliche Durchführungen aufnehmen.

Linearmanipulatoren dieser Bauart können auf Wunsch mit unterschiedlichen Wegmesssystemen und Maßstäben ausgestattet werden. Sie können mit Montageflanschen von DN2022-350CF (Conflat) oder ISO200-400K/F (ISO geklemmt/geschraubt) und Standardhüben von entweder 50, 100 oder 250 mm konfiguriert werden.

Auf Anfrage kann unser hauseigenes Konstruktions- und Ingenieurteam größere Flanschgrößen und/oder größere Hublängen (bis zu 1000 mm) sowie eine X-Ausrichtung des oberen Flansches und Kippkonfigurationen entsprechend Ihren individuellen Anforderungen realisieren.

Merkmale

  • Standard-Linearverschiebungen mit Verfahrwegen bis zu 250 mm (10")
  • Manuell (Handrad) oder motorbetrieben
  • Probenrotation durch zentrale Welle oder äußere Wiege
  • Kosteneffiziente Viton®-gedichtete Drehdurchführungen für Hochvakuumanwendungen
  • Magnetische und ferrofluidische Drehdurchführungen für UHV-Systeme
  • Drehdurchführungen für wasser- / gasgekühlte Heizgeräte mit rotierendem Heizkopf
  • Probentransferlösungen mit hochpräzisen Positioniermotoren
  • Vollständig anpassbar mit kompletten, maßgeschneiderten Lösungen
  • Gebaut und getestet in Großbritannien

Unser Standard-Linearmanipulator wird aus einem Paar Conflat-Flanschen hergestellt, die durch kantengeschweißte Bälge verbunden sind. Die Faltenbälge aus Aluminium bieten Festigkeit und Stabilität, während die Baugruppe leicht bleibt. Im Gegensatz zu vielen anderen ist die Konstruktion mit zwei Führungsschienen ausgestattet, die den Faltenbalg überspannen. Dadurch wird die Biegebewegung des beweglichen Flansches reduziert und die Verdrehung der Leitspindel bei Belastung vermindert, so dass sich der bewegliche Flansch in einer kontrollierten, präzisen Bewegung auf den festen Flansch zubewegen kann und die Parallelität zwischen den beiden Flanschen sowie der minimale Verschleiß der Leitspindel erhalten bleiben.

Alle manuellen Standard-Linearmanipulatoren sind mit einem metrischen/imperialen digitalen Linearmaßstab mit 100 µm Auflösung ausgestattet. Die Konstruktion umfasst Halterungen für digitale Encoder oder Endschalter, die auf Anfrage hinzugefügt werden können.

Die Verwendung von hochwertigen Edelstahl-Linearlagern (niedrige Reibwerte) und Igus® -Führungen sorgen für höchste Laufruhe bei gleichzeitig langer Lebensdauer.

Wenn Standard-Z-Verschiebungen nicht verwendet werden können, kann Thermic Edge die Z-Verschiebung wie rechts dargestellt an den Tischflansch anbauen. Diese Konstruktion umfasst drei Führungsschienen, die sie selbsttragend machen und daher nicht auf die Leitspindel für die Steifigkeit angewiesen sind (Anti-Durchbiegung/Drehung).

 

Durchführungskonfiguration

Unser Drehdurchführungen / Lineardurchführungen bestehen aus einer mit Viton® -Dichtungen abgedichteten Zentralwelle, die mit Igus® -Lagern abgestützt und von einem robusten Edelstahl-Flanschgehäuse umschlossen ist.
Das Profil der Viton-Dichtungen sorgt dafür, dass bei minimaler Kompression ein sicheres Vakuum sowohl für Dreh- als auch für Linearbewegungen entsteht, was sie sehr vielseitig und zuverlässig macht.

Alle Durchführungen können wie folgt konfiguriert werden;

  • Griffe/Knöpfe für die manuelle Manipulation
  • Pneumatischer Drehantrieb für Rotation
  • (Schritt- / Servo-) Motor für Rotation
  • Pneumatische, motorische oder magnetische Aktoren für lineare Manipulation
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Kontakt

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