Expertos en calentamiento de sustratos

Etapas del calentador

En Thermic Edge, nos enorgullecemos de estar a la vanguardia de la industria de los hornos de vacío. Proporcionando un servicio completo, nuestras gamas versátiles a medida le proporcionan las herramientas necesarias para cualquier aplicación.

Resumen de las etapas del calentador

En Thermic Edge, ofrecemos una gama completa de calentadores de muestras de etapa caliente para todos los sistemas y aplicaciones de deposición. Los calentadores y las muestras pueden montarse en cualquier orientación y nuestra gama de manipuladores ofrece opciones rentables para la rotación de la muestra, la rotación del calentador, la transferencia de la muestra y el posicionamiento de la muestra/el calentador. 

Cada etapa viene con la potencia necesaria, el termopar y los pasajes de agua requeridos, por lo que todo lo que necesita hacer es conectar los servicios y está listo para usar. Thermic Edge también dispone de controladores de calentadores y fuentes de alimentación.

El equipo de diseño de Thermic Edge trabaja en estrecha colaboración con los clientes para proporcionar:

  • Proyectos gestionados profesionalmente de principio a fin
  • Soluciones rentables utilizando componentes y conjuntos estándar de Thermic Edge siempre que sea posible
  • Dibujos técnicos detallados y especificaciones escritas
  • Modelos CAD 3D
  • Una solución de calefacción que se suministra totalmente probada y lista para integrarse en su sistema
  • Manual con instrucciones de instalación y funcionamiento

Etapas del calentador estándar

MEDIO AMBIENTE

Se han desarrollado calentadores y etapas estándar para su uso en vacío, aire (o entornos ricos en O2) y ultra alto vacío (UHV).

Los pasamuros rotativos sellados de Viton® para aplicaciones de alto vacío permiten aplicaciones de alto par. Los pasamuros rotativos magnéticos y ferrofluídicos pueden utilizarse para proporcionar verdaderos sistemas UHV.

Los calentadores de sustrato y las etapas de Thermic Edge pueden modificarse para funcionar en atmósferas corrosivas. Por ejemplo, nuestras etapas de cabezal calefactor totalmente de grafito suministradas para la producción de células solares funcionan en una atmósfera agresiva de seleniuro de cobre, indio y galio (CIGS) durante 24 horas al día, 365 días al año.

CABEZA DEL CALENTADOR

Cualquiera de nuestros calentadores puede montarse en nuestras etapas. La versátil gama de calentadores cubre tamaños de oblea desde Ø50mm [Ø2"] hasta Ø152mm [Ø6"] y temperaturas de hasta 1600°C [2912°F].

Nuestros calentadores de botón han sido desarrollados para muestras de Ø25mm [Ø1"] y el SiC3 La gama de grafitos recubiertos se ha ampliado para incluir obleas de Ø200mm (Ø8").

Nuestros calefactores cuadrados y rectangulares también pueden montarse en escenarios.

ORIENTACIÓN

Las etapas pueden montarse en la cámara en cualquier orientación. Por lo general, se montan en la parte superior de la cámara (de modo que el calentador esté orientado hacia abajo) o en la parte inferior de la cámara (de modo que el calentador esté orientado hacia arriba).

Esto hace que funciones como la rotación y la transferencia de muestras sean más sencillas. A veces, el único puerto disponible se encuentra en el lateral de la cámara y, en este caso, podemos ofrecer soluciones como el montaje que se muestra a la derecha.

Normalmente, el cabezal del calentador es más pequeño que el diámetro del puerto disponible, sin embargo, es posible montar la platina en la cámara y acoplar el calentador a través de un puerto o puerta más grande.

Z-SHIFT

Nuestro manipulador lineal estándar se fabrica a partir de un par de bridas Conflat, conectadas por fuelles soldados en el borde.

Las yemas de aluminio ofrecen resistencia y estabilidad al tiempo que mantienen el peso del conjunto.
Su diseño, a diferencia de muchos otros, incluye dos barras guía que se sitúan a lo largo del conjunto de fuelles. Esto reduce el movimiento de flexión en la yema de la brida móvil y alivia el esfuerzo de torsión en el husillo cuando se aplica la carga, lo que permite que la brida móvil se mueva hacia la brida fija con un movimiento controlado y preciso, además de mantener el paralelismo entre las dos bridas y un desgaste mínimo en el husillo.
Nuestro manipulador lineal estándar está fabricado a partir de un par de bridas Conflat, conectadas por fuelles soldados en los bordes. Las yemas de aluminio ofrecen resistencia y estabilidad al tiempo que mantienen el peso del conjunto. Su diseño, a diferencia de muchos otros, incluye dos barras guía que se sitúan a lo largo del conjunto de fuelles. Esto reduce el movimiento de flexión en la brida móvil y alivia el esfuerzo de torsión en el husillo cuando se aplica la carga, permitiendo que la brida móvil se mueva hacia la brida fija con un movimiento controlado y preciso, además de mantener el paralelismo entre las dos bridas y el mínimo desgaste del husillo.

Todos los manipuladores lineales estándar manuales se instalan con una escala lineal digital métrica/imperial con una resolución de 100 µm. El diseño incluye soportes para codificadores digitales o interruptores de límite que pueden añadirse a petición.

El uso de cojinetes lineales de acero inoxidable de alta calidad (bajos coeficientes de fricción) y las guías Igus® garantizan el funcionamiento más suave junto con una mayor vida útil.

En los casos en que no se pueden utilizar los desplazamientos en Z estándar, Thermic Edge puede construir el desplazamiento en Z en la brida de la plataforma, como se muestra a la derecha. Este diseño incluye tres barras de guía, que lo hacen autosuficiente y, por lo tanto, no dependen del husillo para la rigidez (antidesviación/rotación).

Este diseño de plataforma móvil de gran tamaño puede alojar un solo fuelle de hasta ø93,0 mm (interno, a través de la perforación) o varios fuelles DN16-35/40CF (3 veces como máximo) para variar los pasos.

Los manipuladores lineales de este estilo pueden equiparse con diferentes codificadores posicionales y escalas bajo pedido. Pueden configurarse con bridas de montaje que van desde DN2022-350CF (Conflat) o ISO200-400K/F (ISO sujetado/atornillado) y carreras estándar de 50,100 o 250mm.

Si lo desea, nuestro equipo interno de diseño e ingeniería puede adaptar tamaños de brida más grandes y/o longitudes de carrera mayores (hasta 1.000 mm), así como configuraciones de alineación en X e inclinación de la brida superior, para satisfacer sus necesidades individuales.Los manipuladores lineales se instalan con una escala lineal digital métrica/imperial con una resolución de 100 µm. El diseño incluye soportes para codificadores digitales o interruptores de límite que pueden añadirse a petición.
El uso de cojinetes lineales de acero inoxidable de alta calidad (bajos coeficientes de fricción) y las guías Igus® garantizan el funcionamiento más suave junto con una mayor vida útil.
En los casos en que no se pueden utilizar los desplazamientos en Z estándar, Thermic Edge puede construir el desplazamiento en Z en la brida de la plataforma, como se muestra a la derecha. Este diseño incluye tres barras de guía, que lo hacen autosuficiente y, por lo tanto, no dependen del husillo para la rigidez (antidesviación/rotación).
Este diseño de plataforma móvil de gran tamaño puede alojar un solo fuelle de hasta ø93,0 mm (interno, a través de la perforación) o varios fuelles DN16-35/40CF (3 veces como máximo) para variar los pasos.
Los manipuladores lineales de este estilo pueden equiparse con diferentes codificadores posicionales y escalas bajo pedido. Pueden configurarse con bridas de montaje que van desde DN2022-350CF (Conflat) o ISO200-400K/F (ISO sujetado/atornillado) y carreras estándar de 50,100 o 250mm.
Si lo desea, nuestro equipo interno de diseño e ingeniería puede adaptar tamaños de brida más grandes y/o longitudes de carrera mayores (hasta 1.000 mm), así como configuraciones de alineación en X e inclinación de la brida superior, para satisfacer sus necesidades individuales.

ROTACIÓN

En Thermic Edge, ofrecemos soluciones para la rotación del cabezal del calentador y de la muestra. Esta puede ser accionada por motor (stepper o inverter) o manualmente (volante).

La rotación del cabezal calefactor alrededor del eje central está disponible para aplicar uniformemente el calor a una superficie. Fijando un brazo al eje central, es posible colocar la muestra calentada sobre múltiples fuentes de deposición sin necesidad de llevar el sistema a la atmósfera.

La etapa calentada entre diferentes por cuna o rotación del eje central. Si lo desea, podemos incorporar los motores y los controladores de temperatura preferidos por nuestros clientes. La etapa puede funcionar manualmente, o puede integrarse fácilmente en el control PLC de los sistemas.

Características:

  • Desplazamientos lineales estándar con un recorrido de hasta 250 mm (10")
  • Manual (volante) o motorizado
  • Rotación de la muestra a través del eje central o de la cuna exterior
  • Pasamuros rotativos sellados con Viton® para aplicaciones de alto vacío
  • Pasamuros magnéticos y ferrofluídicos para sistemas UHV
  • Juntas rotativas para calentadores refrigerados por agua/gas con cabezal giratorio
  • Soluciones de transferencia de muestras mediante motores de posicionamiento de alta precisión
  • Totalmente personalizable con soluciones completas a medida

Nuestros pasamuros rotativos / lineales constan de un eje central sellado con juntas de Viton®, soportado con cojinetes igus® y englobado en una robusta carcasa de acero inoxidable con bridas.

El perfil de las juntas de Viton garantiza la formación de un vacío seguro tanto para el movimiento rotativo como para el lineal con una compresión mínima, lo que las hace muy versátiles y fiables.

Todos los pasamuros se pueden configurar con lo siguiente.

  • asas/pomos para la manipulación manual
  • actuador neumático de rotación
  • (Stepper / Servo) Motor de rotación
  • Actuadores neumáticos, motorizados o magnéticos para la manipulación lineal

UHV - Magnético

HV - Los pasamuros rotativos sellados con Viton® de fluorocarbono para aplicaciones de alto vacío permiten aplicaciones de alto par.

¿Ferrofluídico?

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Para más información, póngase en contacto con nuestro equipo de ventas.

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