基层加热专家

加热器级数

在Thermic Edge,我们为自己处于真空炉行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务,我们定制的多功能范围为您提供任何应用所需的工具。

加热器阶段概述

在Thermic Edge,我们为所有的沉积系统和应用提供完整的热台样品加热器。加热器和样品可以安装在任何方向,我们的机械手系列为样品旋转、加热器旋转、样品转移和样品/加热器定位提供了成本效益的选择。 

每个阶段都有必要的电源、热电偶和水的馈通,所以你所需要做的就是连接服务,它就可以使用了。加热器控制器和电源也可从Thermic Edge获得。

Thermic Edge的设计团队与客户紧密合作,提供。

  • 从开始到结束的专业管理项目
  • 尽可能使用标准的Thermic Edge部件和组件的成本效益解决方案
  • 详细的技术图纸和书面规格
  • 三维CAD模型
  • 提供经过全面测试并准备与您的系统集成的加热解决方案
  • 详细介绍安装和操作说明的手册

标准加热器阶段

环境

已经开发了用于真空、空气(或富氧环境)和超高真空(UHV)的标准加热器和平台。

用于高真空应用的Viton®密封旋转贯穿件允许高扭矩应用。磁性和铁流体旋转馈入件可用于提供真正的超高真空系统。

Thermic Edge基片加热器和平台可以被改变,以便在腐蚀性的环境中运行。例如,我们为太阳能电池生产提供的全石墨加热器头阶段在腐蚀性的铜铟镓硒(CIGS)环境中每天24小时,一年365天都在工作。

暖气片头

我们的任何加热器都可以安装在我们的平台上。多功能的加热器范围涵盖了从Ø50mm [Ø2"] 到Ø152mm [Ø6"] 的晶圆尺寸,温度高达1600°C [2912°F]。

我们的扣式加热器是为Ø25mm[Ø1"]的样品开发的,而SiC3 涂层石墨的范围已经扩大到包括Ø200mm (Ø8")晶圆。

我们的方形和长方形加热器也可以安装在舞台上。

方向

阶段可以安装到室在任何方向。通常情况下,它们被安装到室的顶部(使加热器朝下)或室的底部(使加热器朝上)。

这使得旋转和样品传输等功能更加直接。有时,唯一可用的端口在试验室的侧面,在这种情况下,我们可以提供解决方案,如右图所示的组件。

通常情况下,加热器头小于可用端口的孔径,但也有可能将平台安装在室中,并通过更大的端口或门连接加热器。

Z-SHIFT

我们的标准线性机械手是由一对Conflat法兰制造的,通过边缘焊接波纹管连接。

铝蛋提供了强度和稳定性,同时保持组件的轻盈。
它的设计,与其他许多设计不同,包括两个横跨波纹管组件的导杆。这减少了游动法兰的弯曲运动,减轻了负载时对导螺杆的扭曲压力,使游动法兰以可控的、精确的运动向固定法兰移动,并保持两个法兰之间的平行,使导螺杆的磨损最小。
所有手动标准,我们的标准线性机械手是由一对Conflat法兰,通过边缘焊接的波纹管连接而成。铝制波纹管提供了强度和稳定性,同时保持了组件的轻量化。它的设计,与其他许多产品不同,包括两个横跨波纹管组件的导杆。这减少了游动法兰的弯曲运动,减轻了负载时对导螺杆的扭曲压力,使游动法兰以可控的、精确的运动向固定法兰移动,并保持两个法兰之间的平行,使导螺杆的磨损最小。

所有手动标准线性机械手都安装了一个公制/英制数字线性刻度,分辨率为100微米。该设计包括数字编码器或限位开关的支架,可根据要求添加。

使用高质量的不锈钢直线轴承(低摩擦系数)和Igus®导轨确保了最流畅的操作和更长的使用寿命。

在不能使用标准Z字形移位的地方,Thermic Edge可以在舞台法兰上建立Z字形移位,如右图所示。这种设计包括三根导杆,使其能够自我支撑,因此不依赖导螺杆的刚性(防偏转/旋转)。

这种大型游动平台设计可容纳单个波纹管尺寸达ø93.0mm(内部,通孔)或多个DN16-35/40CF波纹管(最多3个),用于不同的馈通。

这种类型的线性机械手可以根据要求安装不同的位置编码器和刻度。它们可以配置的安装法兰范围为DN2022-350CF(孔板)或ISO200-400K/F(ISO夹紧/螺栓),标准行程为50、100或250mm。

根据要求,我们的内部设计和工程团队可以适应更大的法兰尺寸和/或增加的行程长度(高达1000毫米),以及顶部法兰的X-对准和倾斜配置,以满足您的个性化需求。该设计包括数字编码器或限位开关的安装,可根据要求添加。
使用高质量的不锈钢直线轴承(低摩擦系数)和Igus®导轨确保了最流畅的操作和更长的使用寿命。
在不能使用标准Z字形移位的地方,Thermic Edge可以在舞台法兰上建立Z字形移位,如右图所示。这种设计包括三根导杆,使其能够自我支撑,因此不依赖导螺杆的刚性(防偏转/旋转)。
这种大型游动平台设计可容纳单个波纹管尺寸达ø93.0mm(内部,通孔)或多个DN16-35/40CF波纹管(最多3个),用于不同的馈通。
这种类型的线性机械手可以根据要求安装不同的位置编码器和刻度。它们可以配置的安装法兰范围为DN2022-350CF(孔板)或ISO200-400K/F(ISO夹紧/螺栓),标准行程为50、100或250mm。
根据要求,我们的内部设计和工程团队可以适应更大的法兰尺寸和/或增加的冲程长度(高达1000毫米),以及顶部法兰的X形对准和倾斜配置,以满足您的个性化需求。

转动

在Thermic Edge,我们提供加热器头和样品旋转的解决方案。这可以是电机(步进或变频器)或手动(手轮)驱动。

加热器头可以围绕中心轴旋转,以便将热量均匀地施加到一个表面。通过将手臂固定在中心轴上,有可能将被加热的样品定位在多个沉积源上,而不需要将系统升到大气中。

通过摇篮或中心轴旋转的不同加热阶段。如果需要的话,我们会很乐意将客户的电机和首选的温度控制器纳入其中。该平台可以手动运行,也可以很容易地集成到系统的PLC控制中。

特点。

  • 标准线性移位,行程达250毫米(10英寸)。
  • 手动(手轮)或电机驱动
  • 样品通过中心轴或外摇篮旋转
  • 用于高真空应用的具有成本效益的Viton®密封旋转馈入件
  • 用于超高压系统的磁性和铁基流体旋转式馈通装置
  • 用于水/气冷式加热器的旋转接头,带有旋转加热器头
  • 使用高精度定位电机的样品传输解决方案
  • 完全可定制,可提供完整的定制解决方案

我们的旋转/线性馈入件包括一个用Viton®密封圈密封的中心轴,用Igus®轴承支撑,并包含在一个坚固的不锈钢法兰式外壳中。

氟橡胶密封圈的外形确保在旋转和线性运动中形成安全的真空,并将压缩量降到最低,使其具有高度的通用性和可靠性。

所有的馈入件都可以通过以下方式进行配置。

  • 用于手动操作的手柄/旋钮
  • 用于旋转的气动旋转推杆
  • (步进/伺服)马达用于旋转
  • 用于线性操作的气动、电动或电磁执行器

特高压 - 磁性

HV - 用于高真空应用的碳氟化合物Viton®密封旋转馈入件允许高扭矩应用。

铁液态的?

zh_CN简体中文

联系我们

请联系我们下面的销售团队,了解更多信息。

本网站使用cookies以确保你获得最佳体验。请参阅我们的隐私政策以了解更多信息。