加热器级数
在Thermic Edge，我们为自己处于真空炉行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务，我们定制的多功能范围为您提供任何应用所需的工具。
Thermic Edge为所有沉积系统的应用提供样品传输的解决方案。我们与客户紧密合作，将我们的样品加热器平台与他们的装载系统相结合。平台可以是顶部或底部安装的，有手动或自动样品装载/晶圆传输。
这种大型游动平台设计可容纳单个波纹管尺寸达ø93.0mm（内部，通孔）或多个DN16-35/40CF波纹管（最多3个），用于不同的馈通。
这种类型的线性机械手可以根据要求安装不同的位置编码器和刻度。它们可以配置的安装法兰范围为DN2022-350CF（孔板）或ISO200-400K/F（ISO夹紧/螺栓），标准行程为50、100或250mm。
根据要求，我们的内部设计和工程团队可以适应更大的法兰尺寸和/或增加的冲程长度（高达1000毫米），以及顶部法兰的X形对准和倾斜配置，以满足您的个性化需求。
见我们的 加热器级数 关于样品转移的更多信息，请参见手册。
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