Calentadores refrigerados por agua de alta temperatura y alta uniformidad

Expertos en calentamiento de sustratos

Calentadores de vacío

En Thermic Edge, nos enorgullecemos de estar a la vanguardia de la industria de los hornos de vacío. Proporcionando un servicio completo, nuestras gamas versátiles a medida le proporcionan las herramientas necesarias para cualquier aplicación.

Alta temperatura - Alta uniformidad - Calentadores refrigerados por agua

En esta página, encontrará información sobre nuestras soluciones de calefacción estándar que ofrecemos además de nuestras gamas de calefactores Versatile y Button. Entre ellas se encuentran:

Calentador de grafito o compuesto de carbono-carbono (CCC) inerte y compatible con el vacío a 1000°C
Calentador de sustrato cerámico de alta uniformidad de 1300°C con recubrimiento de grafito SiC3, compatible con el aire y el vacío
Calentador de cerámica inerte y compatible con el vacío a 1700°C (refrigerado por agua)
1900°C Todos los calentadores de grafito son inertes y compatibles con el vacío

Cualquiera de estos calentadores puede integrarse con nuestras etapas para proporcionar:

Oblea giratoria
Cambio Z
Sesgo de RF o DC hasta 1000W
Refrigeración por agua o gas

1000°c - sIc3 grafito recubierto o ccc (iNERT y vACUo)

CARACTERÍSTICAS

La temperatura de la placa superior es de 1000C, la temperatura del elemento es de aproximadamente 1200C.
Para uso en entornos de alto vacío, UHV, atmósfera inerte y O2.
Tamaños personalizados disponibles a petición.
Velocidades de rampa rápidas
El calentador incluye un blindaje térmico interno
La base del calentador está refrigerada por agua, lo que reduce la carga térmica en la cámara y en los equipos sensibles.
El calentador está provisto de un termopar con revestimiento cerámico de tipo K.
Se puede montar en un actuador lineal o rotativo o en cualquier orientación.
El calentador puede ser independiente o con brida.
Los servicios de agua, electricidad y termopar pueden salir por la parte trasera o lateral de la base del calentador.
El calentador de Ø1" encaja a través de la brida NW38CF completamente ensamblada (imagen central de arriba)

Folletos de productos

200.06-A - Cabezal calefactor de elementos CCC de 1000°C solamente

Haga clic para descargar nuestro folleto de productos para el calentador de elementos compuestos de carbono-carbono Thermic Edge 1000°C (sólo para el cabezal).

200.07-B - Calentador de elementos CCC de 1000°C con brida

Haga clic para descargar nuestro folleto de producto para el calentador de elemento compuesto de carbono-carbono Thermic Edge 1000°C (montaje con brida).

ESPECIFICACIONES

1000°C Elemento de SiC3 - Aire, O2, Inerte, HV, UHV Sólo cabezal calefactor

Número de pieza	ØA - Zona caliente	ØB - Diámetro exterior del calentador	C - Espesor del calentador	Montaje	*Voltaje máximo	*Máximo actual	*Potencia máxima
HTWM6-SiC-01	26mm (1")	36,6mm	52mm	Perno M6	6v	39a	234w
HTWM6-SiC-01.5	38,1 mm (1,5")	48,7mm	52mm	Perno M6	10v	39a	390w
HTWM6-SiC-02	50,8 mm (2")	61,4mm	52mm	Perno M6	15v	39a	585w

Elemento CCC de 1000°C - Sólo cabezal calefactor inerte, HV, UHV

*Número de pieza*	ØA - Zona caliente	ØB - Diámetro exterior del calentador	C - Espesor del calentador	Montaje	*Voltaje máximo	*Máximo actual	*Potencia máxima
HTWM6-CCC-01	26mm (1")	36,6mm	52mm	Perno M6	6v	39a	234w
HTWM6-CCC-01.5	38,1 mm (1,5")	48,7mm	52mm	Perno M6	10v	39a	390w
HTWM6-CCC-02	50,8 mm (2")	61,4mm	52mm	Perno M6	15v	39a	585w

*En vacío a 1000°C (temperatura del elemento)

Calentadores de sustrato de grafito revestido de SiC3 a 1300°C de alta uniformidad (inerte, aire, vacío)

Nuestros calentadores de alta temperatura resistentes al oxígeno que utilizan elementos sólidos de carburo de silicio (SiC) o grafito recubierto de SiC

CARACTERÍSTICAS

La temperatura de la placa superior es de 1300C, la temperatura del elemento es de aproximadamente 1500C.
Alta uniformidad de temperatura de <2% en la placa superior.
Velocidades de rampa rápidas, hasta 1300C por minuto (dependiendo de la fuente de alimentación utilizada)
1300°C Temperatura de la placa cerámica (1500°C de temperatura del elemento)
Puede ser empujado a 1600C por períodos cortos
Limitación de la temperatura de la placa superior a 1000°C en alto vacío
Uniformidad de temperatura ±1,0%
Termopar integrado (el tipo depende de la temperatura de uso y del entorno)
Probado con múltiples termopares y cámara de imagen térmica FLIR
Se puede montar en cualquier orientación
La muestra puede colocarse directamente en la placa superior de cerámica del calentador
Algunas muestras pueden colocarse directamente en el elemento
Medidas estándar de Ø1" a Ø8"
Para uso en alto vacío, atmósfera inerte y O2 / aire
Formas y tamaños personalizados disponibles a petición.
Refrigeración por agua de serie
Generalmente se monta en una brida de base con alimentación integrada, y pasamuros de refrigeración por agua, pero puede ser definido por el cliente

Folletos de productos

200.06-A - Cabezal calefactor de elementos CCC de 1000°C solamente

Haga clic para descargar nuestro folleto de productos para el calentador de elementos compuestos de carbono-carbono Thermic Edge 1000°C (sólo para el cabezal).

200.07-B - Calentador de elementos CCC de 1000°C con brida

Haga clic para descargar nuestro folleto de producto para el calentador de elemento compuesto de carbono-carbono Thermic Edge 1000°C (montaje con brida).

ESPECIFICACIONES

Número de pieza	Ø Tamaño de la oblea	ØA - Zona caliente	ØB - Diámetro exterior del calentador	C - Espesor del calentador	*Voltaje máximo	*Máximo actual	*Potencia máxima
HTSW-CCC-03	77mm (3")	90	149	42	60	25	1500
HTSW-CCC-04	102mm (4")	116	175	42	60	40	2400
HTSW-CCC-05	128mm (5")	141	200	42	60	60	3600
HTSW-CCC-06	153mm (6")	166	225	42	60	80	4800
HTSW-CCC-07	179mm (7")	192	251	42	60	110	6600
HTSW-CCC-08	204mm (8")	218	277	42	60	140	8400

*En vacío a 1200°C

Calentador de cerámica al vacío de 1700°C con sustrato de grafito recubierto de SiC3 o compuesto de carbono-carbono (CCC) Calentadores inertes y al vacío

Nuestros calefactores estándar más altos funcionan con una temperatura de placa superior de 1700°C. El tamaño del calentador puede aumentarse según las necesidades.

CARACTERÍSTICAS

1700°C Temperatura de la placa cerámica
Termopar tipo C integrado
Se puede montar en cualquier orientación
La versión de Ø1" mostrada está montada en la brida CF40 y encaja completamente montada a través de un puerto de Ø38mm
Pasamuros y cuerpo refrigerados por agua de serie
Calienta la placa superior a 1700°C en 3 minutos y requiere 530W para mantener la temperatura
La muestra puede colocarse directamente en la placa superior de cerámica del calentador
Medidas estándar de Ø1" a Ø6"
Para uso en alto vacío o en atmósfera inerte
Formas y tamaños personalizados disponibles a petición.
Generalmente se monta en una brida de base con alimentación integrada, y con conductos de refrigeración por agua, pero se puede hacer a medida

Folletos de productos

200.11-A - Calentador de 1700°C con elemento CCC y cuerpo refrigerado por agua

Haga clic para descargar nuestro folleto de productos para el calentador de elementos compuestos de carbono-carbono Thermic Edge 1000°C (sólo para el cabezal).

ESPECIFICACIONES

1700°C - Inerte, HV, UHV - Cabeza de calentador refrigerada por agua

Número de pieza	ØA - Zona caliente	ØB - Diámetro exterior del calentador	C - Espesor del calentador	Montaje	Tensión máxima	Máximo actual	Potencia máxima
HTWM6-CCC-01	26mm (1")	36,6mm	52mm	Perno M6	17 voltios	33 amperios	561 Watts
HTWM6-CCC-01.5	38,1 mm (1,5")	48,7mm	52mm	Perno M6	40 voltios	30 amperios	1200 Vatios
HTWM6-CCC-02	50,8 mm (2")	61,4mm	52mm	Perno M6	60 voltios	35 amperios	2100 Vatios

*En vacío a 1900°C (temperatura del elemento)

1700°C - Inerte, HV, UHV - Cabeza de calentador refrigerada por agua

Número de pieza	Ø Tamaño de la oblea	ØA - Zona caliente	ØB - Diámetro exterior del calentador	C - Espesor del calentador	Tensión máxima	Máximo actual	Potencia máxima
HTSW-CCC-03	77mm (3")	90	149	42	60	25	1500
HTSW-CCC-04	102mm (4")	116	175	42	60	40	2400
HTSW-CCC-05	128mm (5")	141	200	42	60	60	3600
HTSW-CCC-06	153mm (6")	166	225	42	60	80	4800
HTSW-CCC-07	179mm (7")	192	251	42	60	110	6600
HTSW-CCC-08	204mm (8")	218	277	42	60	140	8400

*En vacío a 1200°C

Calentador refrigerado o no refrigerado con placa superior de grafito o cerámica y elemento CCC

El avanzado elemento compuesto de carbono-carbono y los grados de cerámica técnica y grafito de alta conductividad térmica permiten alcanzar temperaturas de placa superior de hasta 1900°C con una tasa de rampa muy rápida.

CARACTERÍSTICAS

1700°C Temperatura de la placa cerámica
Termopar tipo C integrado
Se puede montar en cualquier orientación
La versión de Ø1" mostrada está montada en la brida CF40 y encaja completamente montada a través de un puerto de Ø38mm
Pasamuros y cuerpo refrigerados por agua de serie
Calienta la placa superior a 1700°C en 3 minutos y requiere 530W para mantener la temperatura
La muestra puede colocarse directamente en la placa superior de cerámica del calentador
Medidas estándar de Ø1" a Ø6"
Para uso en alto vacío o en atmósfera inerte
Formas y tamaños personalizados disponibles a petición.
Generalmente se monta en una brida de base con alimentación integrada, y con conductos de refrigeración por agua, pero se puede hacer a medida

Todos los calefactores se suministran con cables de alimentación y termopares internos y se pueden suministrar con fuentes de alimentación y controladores.

Expertos en calentamiento de sustratos

Alta temperatura - Alta uniformidad - Calentadores refrigerados por agua

1000°c - sIc3 grafito recubierto o ccc (iNERT y vACUo)

CARACTERÍSTICAS

Folletos de productos

200.06-A - Cabezal calefactor de elementos CCC de 1000°C solamente

200.07-B - Calentador de elementos CCC de 1000°C con brida

ESPECIFICACIONES

1000°C Elemento de SiC3 - Aire, O2, Inerte, HV, UHV Sólo cabezal calefactor

Elemento CCC de 1000°C - Sólo cabezal calefactor inerte, HV, UHV

Calentadores de sustrato de grafito revestido de SiC3 a 1300°C de alta uniformidad (inerte, aire, vacío)

CARACTERÍSTICAS

Folletos de productos

200.06-A - Cabezal calefactor de elementos CCC de 1000°C solamente

200.07-B - Calentador de elementos CCC de 1000°C con brida

ESPECIFICACIONES

Calentador de cerámica al vacío de 1700°C con sustrato de grafito recubierto de SiC3 o compuesto de carbono-carbono (CCC) Calentadores inertes y al vacío

CARACTERÍSTICAS

Folletos de productos

200.11-A - Calentador de 1700°C con elemento CCC y cuerpo refrigerado por agua

ESPECIFICACIONES

1700°C - Inerte, HV, UHV - Cabeza de calentador refrigerada por agua

1700°C - Inerte, HV, UHV - Cabeza de calentador refrigerada por agua

Calentador refrigerado o no refrigerado con placa superior de grafito o cerámica y elemento CCC

CARACTERÍSTICAS

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