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Étapes du chauffage
Chez Thermic Edge, nous sommes fiers d'être à l'avant-garde de l'industrie des fours à vide. Fournissant un service complet, nos gammes polyvalentes sur mesure vous donnent les outils nécessaires pour toute application.
Chez Thermic Edge, nous proposons une gamme complète d'appareils de chauffage d'échantillons en phase chaude pour tous les systèmes et applications de dépôt. Les éléments chauffants et les échantillons peuvent être montés dans n'importe quelle orientation et notre gamme de manipulateurs offre des options rentables pour la rotation des échantillons, la rotation des éléments chauffants, le transfert des échantillons et le positionnement des échantillons et des éléments chauffants.
Chaque étage est livré avec l'alimentation, le thermocouple et les traversées d'eau nécessaires, de sorte que tout ce que vous avez à faire est de connecter les services et il est prêt à être utilisé. Les contrôleurs de chauffage et les alimentations sont également disponibles auprès de Thermic Edge.
L'équipe de conception de Thermic Edge travaille en étroite collaboration avec les clients pour leur fournir :
Les réchauffeurs et les étages standard ont été développés pour être utilisés dans le vide, l'air (ou les environnements riches en O2) et l'ultravide (UHV).
Les traversées rotatives étanches Viton® pour les applications à vide poussé permettent des applications à couple élevé. Les traversées rotatives magnétiques et ferrofluidiques peuvent être utilisées pour fournir de véritables systèmes UHV.
Les réchauffeurs de substrat et les étages de Thermic Edge peuvent être modifiés pour fonctionner dans des atmosphères corrosives. Par exemple, nos étages de tête de chauffage entièrement en graphite fournis pour la production de cellules solaires fonctionnent dans une atmosphère agressive de séléniure de cuivre, d'indium et de gallium (CIGS) 24 heures sur 24, 365 jours par an.
Tous nos appareils de chauffage peuvent être montés sur nos plateaux. La gamme polyvalente de réchauffeurs couvre des tailles de plaquettes allant de Ø50mm [Ø2"] à Ø152mm [Ø6"] et des températures allant jusqu'à 1600°C [2912°F].
Nos chauffe-boutons ont été développés pour des échantillons de Ø25mm [Ø1"] et le SiC3 La gamme de graphite revêtu a été élargie pour inclure des plaquettes de Ø200mm (Ø8").
Nos chauffages carrés et rectangulaires peuvent également être montés sur des scènes.
Les étages peuvent être montés dans la chambre dans n'importe quelle orientation. En général, ils sont montés dans la partie supérieure de la chambre (de sorte que l'élément chauffant soit orienté vers le bas) ou dans la partie inférieure de la chambre (de sorte que l'élément chauffant soit orienté vers le haut).
Cela rend les fonctions telles que la rotation et le transfert d'échantillons plus simples. Parfois, le seul port disponible se trouve sur le côté de la chambre. Dans ce cas, nous pouvons fournir des solutions telles que l'assemblage illustré à droite.
En général, la tête de l'élément chauffant est plus petite que le diamètre de l'orifice disponible, mais il est possible de monter la platine sur la chambre et de fixer l'élément chauffant par un orifice ou une porte plus large.
Notre manipulateur linéaire standard est fabriqué à partir d'une paire de brides Conflat, reliées par des soufflets à bords soudés.
Les jaunes d'œuf en aluminium offrent force et stabilité tout en maintenant la légèreté de l'ensemble.
Sa conception, contrairement à beaucoup d'autres, comprend deux barres de guidage qui chevauchent l'ensemble du soufflet. Cela réduit le mouvement de flexion sur le jaune de la bride mobile et allège la contrainte de torsion sur la vis-mère lorsqu'une charge est appliquée, ce qui permet à la bride mobile de se déplacer vers la bride fixe dans un mouvement contrôlé et précis, tout en maintenant le parallélisme entre les deux brides et une usure minimale de la vis-mère.
Entièrement manuel et standard, notre manipulateur linéaire standard est fabriqué à partir d'une paire de brides Conflat, reliées par des soufflets à bords soudés. Les jaunes d'aluminium offrent force et stabilité tout en gardant l'ensemble léger. Sa conception, contrairement à beaucoup d'autres, comprend deux barres de guidage qui chevauchent le soufflet. Cela permet de réduire le mouvement de flexion sur le manchon de la bride mobile et d'alléger la contrainte de torsion sur la vis-mère lorsqu'une charge est appliquée, ce qui permet à la bride mobile de se déplacer vers la bride fixe dans un mouvement contrôlé et précis, tout en maintenant le parallélisme entre les deux brides et une usure minimale de la vis-mère.
Tous les manipulateurs linéaires standard manuels sont équipés d'une échelle linéaire numérique métrique/impériale avec une résolution de 100 µm. La conception inclut des supports pour des encodeurs numériques ou des interrupteurs de fin de course qui peuvent être ajoutés sur demande.
L'utilisation de roulements linéaires en acier inoxydable de haute qualité (faibles coefficients de friction) et de guides Igus® garantit un fonctionnement des plus fluides et une durée de vie plus longue.
Lorsque les décalages en Z standard ne peuvent pas être utilisés, Thermic Edge peut construire le décalage en Z sur la bride de la scène, comme illustré à droite. Cette conception comprend trois barres de guidage, ce qui la rend autoportante et ne dépend donc pas de la vis-mère pour la rigidité (anti-déflexion/rotation).
Cette grande plate-forme mobile peut accueillir un seul soufflet d'une taille allant jusqu'à ø93,0 mm (alésage interne, traversant) ou plusieurs soufflets DN16-35/40CF (3x max) pour des traversées différentes.
Les manipulateurs linéaires de ce style peuvent être équipés de codeurs de position et d'échelles variables sur demande. Ils peuvent être configurés avec des brides de montage allant de DN2022-350CF (Conflat) ou ISO200-400K/F (ISO clampé/boulonné) et des courses standard de 50, 100 ou 250 mm.
Sur demande, notre équipe interne de conception et d'ingénierie peut s'adapter à des tailles de brides plus grandes et/ou à des longueurs de course accrues (jusqu'à 1000 mm), ainsi qu'à des configurations d'alignement en X et d'inclinaison de la bride supérieure, pour répondre à vos besoins individuels.Les manipulateurs linéaires sont installés avec une échelle linéaire numérique métrique/impériale avec une résolution de 100 µm. La conception inclut des supports pour des encodeurs numériques ou des interrupteurs de fin de course qui peuvent être ajoutés sur demande.
L'utilisation de roulements linéaires en acier inoxydable de haute qualité (faibles coefficients de friction) et de guides Igus® garantit un fonctionnement des plus fluides et une durée de vie plus longue.
Lorsque les décalages en Z standard ne peuvent pas être utilisés, Thermic Edge peut construire le décalage en Z sur la bride de la scène, comme illustré à droite. Cette conception comprend trois barres de guidage, ce qui la rend autoportante et ne dépend donc pas de la vis-mère pour la rigidité (anti-déflexion/rotation).
Cette grande plate-forme mobile peut accueillir un seul soufflet d'une taille allant jusqu'à ø93,0 mm (alésage interne, traversant) ou plusieurs soufflets DN16-35/40CF (3x max) pour des traversées différentes.
Les manipulateurs linéaires de ce style peuvent être équipés de codeurs de position et d'échelles variables sur demande. Ils peuvent être configurés avec des brides de montage allant de DN2022-350CF (Conflat) ou ISO200-400K/F (ISO clampé/boulonné) et des courses standard de 50, 100 ou 250 mm.
Sur demande, notre équipe interne de conception et d'ingénierie peut s'adapter à des brides de plus grande taille et/ou à des longueurs de course plus importantes (jusqu'à 1000 mm), ainsi qu'à des configurations d'alignement en X et d'inclinaison de la bride supérieure, afin de répondre à vos besoins particuliers.
Chez Thermic Edge, nous proposons des solutions pour la rotation de la tête de chauffe et de l'échantillon. Il peut s'agir d'un entraînement par moteur (pas à pas ou inverseur) ou manuel (volant).
La rotation de la tête de chauffe autour de l'axe central permet d'appliquer uniformément la chaleur sur une surface. En fixant un bras à l'axe central, il est possible de positionner l'échantillon chauffé sur plusieurs sources de dépôt sans avoir besoin de mettre le système à l'atmosphère.
L'étage chauffé entre différents par berceau ou par rotation de l'arbre central. Si nécessaire, nous incorporons volontiers les moteurs et les régulateurs de température préférés de nos clients. L'étage peut fonctionner manuellement ou être facilement intégré dans le contrôle PLC du système.
Nos traversées rotatives/linéaires comprennent un arbre central étanche avec des joints Viton®, supporté par des roulements Igus® et englobé dans un boîtier robuste à bride en acier inoxydable.
Le profil des joints en Viton garantit un vide sûr pour les mouvements rotatifs et linéaires avec une compression minimale, ce qui les rend à la fois très polyvalents et fiables.
Toutes les traversées peuvent être configurées avec les éléments suivants.
UHV - Magnétique
HV - traversées rotatives étanches au fluorocarbone Viton® pour les applications à vide élevé permettant des applications à couple élevé.
Ferrofluidique ?
Chez Thermic Edge, nous sommes fiers d'être à l'avant-garde de l'industrie des technologies de chauffage sous vide. Nous fournissons un service complet, nos gammes sur mesure et polyvalentes vous donnent les outils nécessaires pour toute application inerte, HV ou UHV.
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