基层加热专家

真空炉

在Thermic Edge,我们为自己处于真空炉行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务,我们定制的多功能范围为您提供任何应用所需的工具。

台式真空炉

2000˚c台式真空炉为较小的样品尺寸加热提供了高性能、高成本效益的解决方案。我们的标准台式真空炉可将样品晶圆或坩埚加热到2000˚c。我们还提供一个3000˚c的版本作为特殊选择。

Thermic Edge提供一系列台式炉,用于较小的实验室,在极端高纯度和清洁的环境中进行小样品测试、热加工、真空烧结和热处理。

Benchtop提供了一个占地面积小、重量轻的装置,通过HMI触摸屏显示器进行简单的一键式控制,集成了电源、旋转泵和手动流量控制。温度控制和数据记录是通过欧热Nanodac控制器进行的,可选择远程PC控制和数据分析。

特点

  • 温度最高可达2000˚c
  • 斜率≈100˚c/min
  • 基础压力<5×10 ²mBar
  • 自动泵的清洗程序,以清除残留的氧气
  • 斜率≈60˚c/min(用更大的电源可更快)。
  • 在真空和常压下加工
  • 顶部装载炉膛
  • 全水冷炉,不锈钢炉膛和盖子
  • 带联锁传感器的电驱动盖子
  • 坩埚和晶圆/平面样品加热
  • 操作简单、安全,具有全面的保护联锁功能,是大学或没有经验的操作员的理想选择。
  • 完全联锁的系统为用户和系统提供安全保障
  • 通过HMI触摸屏进行半自动控制
  • 重量轻的直流开关电源(没有笨重的变压器
  • 通过Eurotherm Nanodac控制的直流电源
  • 高性能和反应灵敏的控制
  • 带有自动超压释放阀的手动压力和气体流速调节装置
  • 设计紧凑,重量轻,占地面积小
    选择

标准范围

炉灶

2000˚c石墨坩埚炉 1.5kW直流电源 - Ø20 x 30mm, Ø30 x 40mm, Ø40 x 50mm

3000˚c石墨坩埚炉 6kW直流电源 - Ø20 x 30mm, Ø30 x 40mm, Ø40 x 50mm

3000˚c TiCᶾ坩埚炉 6kW直流电源 - Ø20 x 30mm, Ø30 x 40mm, Ø40 x 50mm

瓦夫炉

2000˚c 石墨晶片炉 1.5kW DC PSU - 1", 2" & 3"

2000˚c钨晶炉1.5kW直流电源 - 1", 2" & 3"

附加选项

  • 涡轮泵(终极真空5×10 ⁸mBar)
  • 额外的工艺气体选项
  • 3000˚c的TiC涂层石墨热区
  • 笔记本电脑用于完整的数据记录和多步骤可编程的热过程控制
  • 高温计 - 自动转换
  • 冷水机
  • 热区热电偶
  • 氧气兼容至1400c,具有SiC涂层的石墨热区和氧化铝绝缘层

气体处理

台式炉在其工艺气体选项中提供了灵活性,使用供气盒可以连接多种气体,并且只向炉子后部供应一种气体。炉膛有单一的气体供应到热区,带有手动流量控制,但使用气体供应箱,用户可以在加热过程中切换不同的工艺气体,所有这些都由HMI触摸屏控制。

服务要求

所有台式实验室真空炉都需要电源、冷冻水供应和排放、用于通风的氩气、工艺气体供应和排气管。

规格

  • 总供电功率:2.0kva,220v单相13A
  • 水的连接。- ¾"BSPT螺纹端,用于流动和返回。
  • 最小流量:6升/分钟的水 @ 环境温度
  • 工艺气体入口:¼个带VCR世伟洛克阀的世伟洛克管道
  • 排放口:1/4世伟洛克管线,带VCR世伟洛克阀门。
  • 对于气动装置(如果安装)--60 - 80 psi.压缩空气--6毫米推入式。
  • 用于通风/处理的N2/Ar供应 - <40 psi - ¼" Swagelok接头
  • 抽水口尺寸:2.75" CF - KF25适配器
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