Expertos en calentamiento de sustratos

Hornos de vacío

En Thermic Edge, nos enorgullecemos de estar a la vanguardia de la industria de los hornos de vacío. Proporcionando un servicio completo, nuestras gamas versátiles a medida le proporcionan las herramientas necesarias para cualquier aplicación.

Hornos de vacío de grafito

Hornos de vacío de laboratorio de grafito con crisol de grafito o zonas calientes de muestras de obleas para el procesamiento térmico, el tratamiento térmico, el recocido y la sinterización al vacío.

Los hornos de vacío de laboratorio de Thermic Edge ofrecen una gama de zonas calientes de grafito que se adaptan a una gran variedad de usos. Nuestro horno de vacío medio estándar con tamaño de crisol de Ø102 x 51mm tiene una temperatura máxima de 2100˚c. También ofrecemos un tamaño alternativo de zona caliente media más profunda de Ø60,5 x 75 mm, un tamaño mayor de Ø 150 x 75 mm y un tamaño de zona caliente extra grande de Ø180 x 140 mm. También ofrecemos zonas calientes para obleas planas para tamaños de muestra de Ø 4", Ø 6" y Ø 8".

Los elementos cilíndricos de grafito son extremadamente eficientes y permiten rampas rápidas, son extremadamente estables y el uso de una zona caliente doble mejora la uniformidad de la temperatura una desviación de < +/- 1%.

Características

  • Temperaturas de hasta 2600˚c
  • Presión base <5×10 ̄²mBar
  • Secuencia de purga automática de la bomba para eliminar el oxígeno residual
  • Velocidad de rampa ≈ 120˚c/min
  • Procesamiento en vacío y presión atmosférica
  • PC portátil para el registro completo de datos y el control del proceso térmico programable en varios pasos
  • Cámara del horno de carga superior
  • Horno totalmente refrigerado por agua, cámara y tapa de acero inoxidable
  • Tapa de accionamiento eléctrico con sensores de enclavamiento
  • Calentamiento de crisoles y obleas / muestras planas
  • Funcionamiento sencillo y seguro con enclavamientos de protección total, ideal para Universidades u operadores sin experiencia
  • Sistema totalmente enclavado que proporciona seguridad tanto al usuario como al sistema
  • Control semiautomático mediante pantalla táctil HMI
  • Pantalla en color combinada Micro Pirani/piezo calibre
  • Fuentes de alimentación conmutadas de CC ligeras (sin transformadores voluminosos)
  • Fuente de alimentación de CC controlada a través de Eurotherm Nanodac
  • Alto rendimiento y control de respuesta
  • Regulación manual de la presión y el caudal de gas con válvula automática de liberación de sobrepresión
  • Diseño compacto, ligero y con poco espacio, pero con grandes zonas calientes

Gama estándar

HORNOS DE CRISOL

Horno de vacío de laboratorio medio de 2000°c con horno de crisol de zona caliente de grafito, 5kW DC PSU.
Zona caliente de grafito - Ø60,5 x 75mm O Ø102mm x 51mm


Horno de vacío de laboratorio grande de 2000°c con horno de crisol de zona caliente de grafito, 15kW DC PSU.
Zona caliente de grafito - Ø150 x 75mm


Horno de vacío de laboratorio extra grande de 2000°c con horno de crisol de zona caliente de grafito, 20kW DC PSU.
Zona caliente de grafito - Ø180 x 140mm

WAFER FURNACES

Zona caliente de grafito de Ø 4", fuente de alimentación de CC de 5kW

Zona caliente de grafito de Ø 6", fuente de alimentación de 10kW DC

Zona caliente de grafito de Ø 8", fuente de alimentación de CC de 15kW

Opciones adicionales

  • Bomba de alto vacío de difusión (vacío máximo 5×10 ̄⁷mBar)
  • Bomba turbo (Vacío máximo 5×10 ̄⁸mBar)
  • Opciones adicionales de gas de proceso
  • Pirómetro - Cambio automático
  • Enfriador de agua
  • Termopares de zona caliente

Zonas calientes de muestras de obleas

Para los ensayos de muestras de obleas, nuestros hornos de vacío de laboratorio utilizan un elemento CCC encerrado en una zona caliente de grafito para calentar tanto muestras individuales de gran diámetro como muestras más pequeñas mantenidas en una placa susceptible.

Los hornos para muestras de obleas tienen un tamaño de muestra de 4" a 8" de diámetro, con la opción de doble zona en 8".

Horno de vacío de alta temperatura

El horno de laboratorio 3000˚c ocupa el mismo espacio que el horno estándar pero incorpora algunos cambios.

  • Toda la zona caliente de grafito.
  • Por encima de 2100˚c se requiere el procesamiento en un entorno inerte a presión atmosférica.
  • Se necesitan fuentes de alimentación de mayor tamaño sin dejar de encajar en un marco estándar.
  • Uso del pirómetro para la medición de alta temperatura con cambio automático

Operaciones y funciones del sistema

La gama de hornos de vacío de laboratorio de Thermic Edge ofrece una interfaz fácil de usar que promueve su facilidad de uso a través de una moderna pantalla táctil HMI que permite el control de todas las funciones de bombeo, procesamiento de gas y ventilación del horno. Con múltiples pantallas de funcionamiento, pantallas de enclavamiento y mimetización con los estados de las válvulas.

La HMI permite al usuario controlar la secuencia automatizada de bombeo hacia abajo, que está diseñada para eliminar el oxígeno residual de la cámara y el interno aumentando la vida de la zona caliente y evitando la posibilidad de que se produzca la oxidación.

También se controlan dos entradas de gas independientes a través de la HMI montada en el brazo con sus caudales individuales ajustados manualmente, mediante válvulas de aguja, a las necesidades del usuario. Las velocidades de bombeo también se regulan manualmente a través de una válvula Speedi de vacío montada en la parte delantera del horno de vacío, lo que permite controlar manualmente la presión de la cámara y los caudales de gas.

La temperatura y el registro de datos se controlan a través de un controlador de temperatura / registrador de datos Eurotherm Nanodac PID que puede conectarse a un PC remoto para el análisis de datos. Se proporciona un software que permite programar ciclos de proceso de varios pasos, lo que facilita la repetición de las pruebas y el ajuste de los programas.

La cámara de vacío totalmente refrigerada por agua y los conductos de alimentación mantienen el exterior de la cámara a temperatura ambiente y evitan el sobrecalentamiento, lo que permite prolongar los periodos de funcionamiento.

Requisitos del servicio

Todos los hornos de vacío de laboratorio requieren un suministro eléctrico, suministro de agua fría y drenaje, gas argón para la ventilación, suministros de gas de proceso y línea de escape.

Especificaciones

  • Potencia total de suministro : 6kva, 415v 3 fases
  • Conexiones de agua: - Extremos roscados de ¾" BSPT tanto para el flujo como para el retorno.
  • Caudal mínimo: 6 litros / min de agua a temperatura ambiente
  • Entrada de gas de proceso: ¼ de línea Swagelok con válvula VCR Swagelok
  • Entrada de aire: ¼ de línea Swagelok con válvula VCR Swagelok.
  • Para la neumática (si está instalada) - aire comprimido de 60 - 80 psi. - ajuste a presión de 6 mm.
  • Suministro de N2/ Ar para ventilación/procesamiento - <40 psi - Racor Swagelok de ¼"
  • Tamaño del puerto de bombeo: 2,75" CF - adaptador KF25
  • Altura del sistema (tapa cerrada): 1140mm
  • Anchura del sistema: 1120 mm
  • Profundidad del sistema: 720 mm (medido desde los pomos del rotámetro hasta las tuberías de suministro de agua
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Contacto

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