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Experts en chauffage des substrats

Réchauffeurs sous vide

Chez Thermic Edge, nous sommes fiers d'être à l'avant-garde de l'industrie des fours à vide. Fournissant un service complet, nos gammes polyvalentes sur mesure vous donnent les outils nécessaires pour toute application.

Haute température - Haute uniformité - Réchauffeurs refroidis par eau

Sur cette page, vous trouverez des informations sur les solutions de chauffage standard que nous proposons en plus de nos gammes de chauffages Versatile et Button. Ces solutions comprennent :

  • Réchauffeur en graphite ou en composite carbone-carbone (CCC) de 1000°C, inerte et compatible avec le vide, en céramique surmoulée
  • Chauffe-substrat en graphite inerte, compatible avec l'air et le vide, à 1300°C, à haute uniformité, revêtu de SiC3 et recouvert de céramique
  • 1700°C CCC inerte et compatible avec le vide chauffage céramique surmonté (refroidi à l'eau)
  • 1900°C Tous les chauffages en graphite sont inertes et compatibles avec le vide.

N'importe lequel de ces chauffages peut être intégré à nos scènes pour fournir :

  • Plaquette rotative
  • Déplacement en Z
  • Biais RF ou DC jusqu'à 1000W
  • Refroidissement par eau ou par gaz

1000°c - sIc3 GRAPHITE COUVERT OU ccc (iNERT & vACUUM)

FEATURES

  • La température de la plaque supérieure est de 1000C, celle de l'élément d'environ 1200C.
  • Pour une utilisation dans les environnements à vide poussé, UHV, atmosphère inerte et O2.
  • Des tailles personnalisées sont disponibles sur demande.
  • Taux de montée en puissance rapides
  • L'élément chauffant comprend un blindage thermique interne
  • La base de l'élément chauffant est refroidie par eau, ce qui réduit la charge thermique sur la chambre et les équipements sensibles.
  • L'appareil est équipé d'un thermocouple de type K à gaine céramique.
  • Peut être monté sur un actionneur linéaire ou rotatif ou dans n'importe quelle orientation.
  • L'appareil de chauffage peut être autonome ou monté sur une bride.
  • Les raccordements d'eau, d'électricité et de thermocouple peuvent sortir à l'arrière ou sur le côté de la base de l'appareil.
  • L'élément chauffant Ø1" passe à travers la bride NW38CF entièrement assemblée (photo du milieu ci-dessus).

Brochures sur les produits

200.06-A - Tête de chauffe de l'élément CCC 1000°C seulement

Cliquez pour télécharger notre brochure sur le Thermic Edge 1000°C Carbon-Carbon Composite Element Heater (Head only).

200.07-B - 1000°C CCC Element Heater montage par bride

Cliquez pour télécharger notre brochure sur le Thermic Edge 1000°C Carbon-Carbon Composite Element Heater (Flange mount).

SPÉCIFICATIONS

1000°C Elément SiC3 - Air, O2, Inerte, HV, UHV Tête de chauffe uniquement
RéférenceØA - Zone chaudeØB - diamètre extérieur de l'appareil de chauffageC - Épaisseur de l'élément chauffantMontage*Tension maximale*Maximum actuel*Puissance maximale
HTWM6-SiC-0126mm (1")36,6 mm52mmGoujon M66v39a234w
HTWM6-SiC-01.538,1 mm (1,5")48,7 mm52mmGoujon M610v39a390w
HTWM6-SiC-0250,8 mm (2")61,4 mm52mmGoujon M615v39a585w
1000°C Élément CCC - Inerte, HV, UHV Tête de chauffe uniquement
RéférenceØA - Zone chaudeØB - diamètre extérieur de l'appareil de chauffageC - Épaisseur de l'élément chauffantMontage*Tension maximale*Maximum actuel*Puissance maximale
HTWM6-CCC-0126mm (1")36,6 mm52mmGoujon M66v39a234w
HTWM6-CCC-01.538,1 mm (1,5")48,7 mm52mmGoujon M610v39a390w
HTWM6-CCC-0250,8 mm (2")61,4 mm52mmGoujon M615v39a585w

*Dans le vide à 1000°C (température de l'élément)

1300°C Chauffage de substrats en graphite revêtus de SiC3 à haute uniformité (inerte, air, vide)

Nos appareils de chauffage résistants à l'oxygène à haute température utilisent des éléments solides en carbure de silicium (SiC) ou en graphite revêtu de SiC.

FEATURES

  • La température de la plaque supérieure est de 1300C, celle de l'élément d'environ 1500C.
  • Haute uniformité de température de <2% sur la plaque supérieure.
  • Taux de rampe rapides, jusqu'à 1300C par minute (selon l'alimentation utilisée)
  • 1300°C Température de la plaque supérieure de la céramique (1500°C température de l'élément)
  • Peut être poussé à 1600C pour de courtes périodes
  • Température de la plaque supérieure limitée à 1000°C sous vide poussé
  • Uniformité de la température ±1,0%
  • Thermocouple intégré (le type dépend de la température d'utilisation et de l'environnement)
  • Testé avec plusieurs thermocouples et une caméra thermique FLIR
  • Peut être monté dans n'importe quelle orientation
  • L'échantillon peut être placé directement sur la plaque supérieure en céramique de l'appareil de chauffage.
  • Certains échantillons peuvent être placés directement sur l'élément
  • Tailles standard de Ø1" à Ø8".
  • Pour une utilisation sous vide poussé, en atmosphère inerte et O2 / air
  • Formes et tailles personnalisées disponibles sur demande
  • Refroidissement par eau en standard
  • Généralement monté sur une bride de base avec des traversées intégrées pour l'alimentation et le refroidissement par eau, mais peut être défini par le client.

Brochures sur les produits

200.06-A - Tête de chauffe de l'élément CCC 1000°C seulement

Cliquez pour télécharger notre brochure sur le Thermic Edge 1000°C Carbon-Carbon Composite Element Heater (Head only).

200.07-B - 1000°C CCC Element Heater montage par bride

Cliquez pour télécharger notre brochure sur le Thermic Edge 1000°C Carbon-Carbon Composite Element Heater (Flange mount).

SPÉCIFICATIONS

RéférenceØ Taille de la plaquetteØA - Zone chaudeØB - diamètre extérieur de l'appareil de chauffageC - Épaisseur de l'élément chauffant*Tension maximale*Maximum actuel*Puissance maximale
HTSW-CCC-0377mm (3")901494260251500
HTSW-CCC-04102mm (4")1161754260402400
HTSW-CCC-05128mm (5")1412004260603600
HTSW-CCC-06153mm (6")1662254260804800
HTSW-CCC-07179mm (7")19225142601106600
HTSW-CCC-08204 mm (8")21827742601408400

*Sous vide à 1200°C



1700°C Chauffage sous vide avec un substrat en graphite recouvert de SiC3 ou en composite carbone-carbone (CCC) Chauffage inerte et sous vide

Nos appareils de chauffage standard les plus performants fonctionnent avec une température de plaque supérieure de 1700°C. La taille de l'appareil peut être augmentée selon les besoins. 

FEATURES

  • 1700°C Température de la plaque supérieure en céramique
  • Thermocouple de type C intégré
  • Peut être monté dans n'importe quelle orientation
  • La version Ø1" présentée est montée sur une bride CF40 et s'adapte entièrement à un orifice Ø38mm.
  • Traversées et corps refroidis par eau en standard
  • Chauffe la plaque supérieure à 1700°C en 3 minutes et nécessite 530W pour maintenir la température.
  • L'échantillon peut être placé directement sur la plaque supérieure en céramique de l'appareil de chauffage.
  • Tailles standard de Ø1" à Ø6".
  • Pour une utilisation sous vide poussé ou en atmosphère inerte
  • Formes et tailles personnalisées disponibles sur demande
  • Habituellement monté sur une bride de base avec des traversées intégrées pour l'alimentation et le refroidissement par eau, mais peut être personnalisé.

Brochures sur les produits

200.11-A - Réchauffeur de 1700°C avec élément CCC et corps refroidi par eau

Cliquez pour télécharger notre brochure sur le Thermic Edge 1000°C Carbon-Carbon Composite Element Heater (Head only).

SPÉCIFICATIONS

1700°C - Inerte, HV, UHV - Tête de chauffe refroidie par eau
RéférenceØA - Zone chaudeØB - diamètre extérieur de l'appareil de chauffageC - Épaisseur de l'élément chauffantMontageVoltage MaxCourant MaxPuissance maximale
HTWM6-CCC-0126mm (1")36,6 mm52mmGoujon M617 volts33 ampères561 Watts
HTWM6-CCC-01.538,1 mm (1,5")48,7 mm52mmGoujon M640 volts30 ampères1200 Watts
HTWM6-CCC-0250,8 mm (2")61,4 mm52mmGoujon M660 volts35 ampères2100 Watts

*Sous vide à 1900°C (température de l'élément)

1700°C - Inerte, HV, UHV - Tête de chauffe refroidie par eau
RéférenceØ Taille de la plaquetteØA - Zone chaudeØB - diamètre extérieur de l'appareil de chauffageC - Épaisseur de l'élément chauffantVoltage MaxCourant MaxPuissance maximale
HTSW-CCC-0377mm (3")901494260251500
HTSW-CCC-04102mm (4")1161754260402400
HTSW-CCC-05128mm (5")1412004260603600
HTSW-CCC-06153mm (6")1662254260804800
HTSW-CCC-07179mm (7")19225142601106600
HTSW-CCC-08204 mm (8")21827742601408400

*Sous vide à 1200°C

Réchauffeur refroidi ou non refroidi tout graphite avec plaque supérieure en graphite ou en céramique et élément CCC

Un élément composite carbone-carbone avancé et des qualités de céramique technique et de graphite à haute conductivité thermique permettent d'atteindre des températures de plaque supérieure allant jusqu'à 1900°C avec une vitesse de rampe très rapide.

FEATURES

  • 1700°C Température de la plaque supérieure en céramique
  • Thermocouple de type C intégré
  • Peut être monté dans n'importe quelle orientation
  • La version Ø1" présentée est montée sur une bride CF40 et s'adapte entièrement à un orifice Ø38mm.
  • Traversées et corps refroidis par eau en standard
  • Chauffe la plaque supérieure à 1700°C en 3 minutes et nécessite 530W pour maintenir la température.
  • L'échantillon peut être placé directement sur la plaque supérieure en céramique de l'appareil de chauffage.
  • Tailles standard de Ø1" à Ø6".
  • Pour une utilisation sous vide poussé ou en atmosphère inerte
  • Formes et tailles personnalisées disponibles sur demande
  • Habituellement monté sur une bride de base avec des traversées intégrées pour l'alimentation et le refroidissement par eau, mais peut être personnalisé.

Tous les appareils de chauffage sont fournis avec des câbles d'alimentation et des thermocouples internes et peuvent être fournis avec des alimentations et des contrôleurs.

Notre mission

Chez Thermic Edge, nous sommes fiers d'être à l'avant-garde de l'industrie des technologies de chauffage sous vide. Nous fournissons un service complet, nos gammes sur mesure et polyvalentes vous donnent les outils nécessaires pour toute application inerte, HV ou UHV.

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