真空炉
在Thermic Edge,我们为自己处于真空炉行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务,我们定制的多功能范围为您提供任何应用所需的工具。
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我们所有的真空炉都是可定制的,使我们能够满足客户的需求和他们的确切要求。我们可以通过调整标准尺寸的热区来实现,包括双热区或满足容纳特定尺寸样品的要求。我们还可以通过增加端口来定制水冷室,以允许额外的热区热电偶、内部坩埚热电偶、残余气体分析仪(RGA)、高温计等形式的额外数据分析。
标准的实验室真空炉配备了一个Edwards RV8真空泵,允许系统在良好的条件下抽到5×10 ²mBar的粗真空。
对于需要更高真空度的系统,我们有以下两种选择。
我们的标准实验室真空炉向炉膛提供两种气体供应,允许使用进入炉膛顶部的排放气体,以及直接进入热区的加工气体。两种气体的流量都由安装在炉膛前面的流量计手动控制,通常氩气用于抽空程序和排气,而其他气体可用于加工。我们的台式炉使用单一的气体输入到热区,既作为排放气体又作为工艺气体,其流量也是手动控制的。
为了向实验室真空炉的 "工艺气体 "管线和台式炉上的单一气体供应提供各种气体,我们提供了一个气体供应箱,它允许连接多种气体,并且只向炉子的后部供应一种气体。供气箱仍然使用每个炉子上的手动流量控制,允许用户在加热过程中切换不同的工艺气体,所有这些都由HMI触摸屏控制。
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