基层加热专家

构成要素

在Thermic Edge,我们为自己处于真空加热行业的最前沿而感到自豪。我们提供完整的服务,我们定制的多功能系列为您提供任何应用所需的工具。

元素概述

为了满足我们客户的需求,Thermic Edge为高温加热器提供了一系列的电阻加热元件。这些元素可以从我们的标准设计中购买,或生产定制的设计,以满足您的具体要求。

如果你在选择方面需要任何帮助,或想讨论你的要求,请与我们联系,我们将很乐意提供帮助。

元素类型 群体 空气 惰性气体环境 腐蚀性的环境 高真空 超高真空
石墨元素 不适合 2100°C 2100°C 1600°C
SiC涂层元件 1500°C 1600°C 1500°C 1200°C
PG-PBN元素 500°C 1500°C 1300°C 1100°C

陶瓷外壳中的元件

Thermic Edge为每个元件提供了包括一个陶瓷绝缘外壳的选项,以便将元件置于其中。当集成到客户的系统中时,为电阻元件提供保护和电气隔离。当客户的工艺空间有限,或需要在元件上方和下方两个方向加热时,这一点特别有用。

外壳是根据元件制作的,由陶瓷制造,考虑到环境、真空度、最高温度和所需的斜率,适合客户的工艺。

石墨元素

元素类型群体空气惰性环境腐蚀性的环境高真空超高真空
石墨不适合2100°C2100°C1600°C

高密度石墨是真空加热元件的理想材料。

石墨元素是高度惰性的,随着温度的升高,材料的强度实际上也在增加。该材料的另一个特点是,它的膨胀系数低,并且由于持续的热循环而抗退化,因此,它在这方面有一个良好的寿命,并且升温速度相对较快。

这些元素是由高纯度的石墨块制成的,通过正确的材料选择,石墨可以被加工成一次性或小批量的详细形式。如果您在下面的库存项目或图片中找不到您的要求,请与我们联系,进一步讨论您的要求。设计可以是三维性质的,以生产管状加热器,或根据需要生产平面。

另外,我们也可以设计元素或根据现有的图纸工作。Thermic Edge可以提供碳化硅涂层元件或碳化钛涂层,以进一步提高这些元件的纯度并在空气中使用石墨。

碳化硅元素

元素类型群体空气惰性环境腐蚀性的环境高真空超高真空
SiC 涂层石墨1600°C1600°C1600°C1100°C

Thermic Edge已经开发了一系列标准的碳化硅涂层(SiC)石墨元件,为O2和腐蚀环境下的高温加热提供了低成本的解决方案。碳化硅涂层适用于高达1600℃的氧气环境和高达1000℃的高真空环境。Sic涂层与氢气和惰性气体环境完全兼容。

石墨元件的安装很简单,有两个M14的螺纹部分,允许主元件的应力释放。每个电源腿上都有一个M5内螺纹孔,可以通过环形端子或母线连接到客户的电源上。电气连接是在元件的底部对暴露的石墨进行的,它被保持在元件的热区之外,消除了电源连接和暴露的石墨之间发生反应的风险。

Thermic Edge也能够提供定制的SiC涂层元件,以适应现有系统。欲了解更多信息或讨论需求,请联系我们的销售团队,他们将能够协助确定一个合适的解决方案。

Thermic Edge提供一系列标准的PB/PBN加热器以及定制的尺寸/设计,以满足客户的要求。

碳化硅涂层石墨元素平

元素参考可利用性热区尺寸 (mm dia)尺寸 (mm)高度 (mm)连接点距离 (mm)屏蔽元件在1000℃时的估计功率(瓦)。
GS-FC-1.1订购25.4mm30.02.127.9200
GS-FC-2.1订购50.8毫米67.02.168.4900
GS-FC-3.1订购76.2mm95.02.192.51700
GS-FC-4.1订购101.6毫米134.43.1130.73500
GS-FC-5.1订购127.0mm150.23.1146.84200
GS-FC-6.1订购152.4mm166.03.1162.95100
GS-FC-7.1订购177.8毫米193.03.1176.26900
GS-FC-8.1订购203.2mm220.03.1189.49000

碳化硅涂层石墨元件组件

元素参考可利用性热区尺寸(mm dia)尺寸(毫米高度(毫米连接点距离 (mm)屏蔽元件在1000℃时的估计功率(瓦)。
GS-AC-1.1订购25.4mm30.037.527.9200
GS-AC-2.1股票50.8毫米67.037.568.4850
GS-AC-3.1股票76.2mm95.037.592.51700
GS-AC-4.1订购101.6毫米134.438.5130.73500
GS-AC-5.1订购127.0mm150.238.5146.84200
GS-AC-6.1股票152.4mm166.038.5162.95100
GS-AC-7.1订购177.8毫米193.038.5176.27000
GS-AC-8.1订购203.2mm220.038.518948800

 

pBN-PG-PBN元素

元素类型群体空气气体环境腐蚀性的环境高真空超高真空
PG PBN500°C1500°C1600°C1200°C

CVD PG/PBN加热器的最高工作温度可达1500c,升温速度非常快,质量低,对腐蚀性气体和液体的化学性质非常惰性,可以承受大多数熔融金属。这些加热器还具有抗热震性,机械耐用,并且具有非常高的功率密度,最高可达35瓦/平方厘米(225瓦/平方英寸)。分层的CVD热解结构也使PG/PBN元件在PBN基片一侧(与元件轨道相反的一侧)具有非常高的热均匀性。样品可以直接放在元件表面上。

适合在UHV、高真空或空气中使用(PBN至900C,暴露的PG电源垫至500C),适合沉积过程。

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